• 제목/요약/키워드: 자기성장

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Hall 소자용 InAs 박막성장

  • 김성만;임재영;이철로;노삼규;신장규;권영수;유연희;김영진
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.94-94
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    • 1999

  • 반도체 Hall 효과를 이용하여 자계를 검출하여 이를 전압신호로 출력하는 자기센서로는 주로 GaAs, InSb, InAs 등의 박막이 사용되고 있다. 자기센서의 응용분야가 최근에는 직류전류의 무접촉 검출, 자동차의 무접촉 회전 검출, 산업용 기계의 제어용 무접촉 위치검출 분야로 확대되고 있어 그 수요가 급증하고 있다. 이중 Hall 소자의 응용분야중 많은 활용이 기대되고 있는 자동차용 무접촉 센서는 -4$0^{\circ}C$~15$0^{\circ}C$의 온도범위에서 안정하게 작동하여야 하므로 온도 안정성이 매우 중요하다. 그러나 Hall 소자 시장의 80%를 점유하고 있는 InSb Hall 소자는 온도가 올라감에 따라 저항이 급격히 낮아지는 성질을 가지고 있으므로 10$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서 사용하는 것이 불가능하다. 한편 InAs(에너지갭~0.18eV)는 InSb보다 에너지 갭이 크므로 고온에서도 작동이 가능하고 자계변화에 따른 출력의 직진성이 매우 좋다는 장점을 가지고 있다. 이러한 InAs Hall 소자를 실현하기 위해서 가장 중요한 것이 고품위의 InAs의 박막 성장기술이다. InAs 박막을 성장하기 위해서 사용되고 있는 기판은 GaAs이다. 그러나 GaAs 기판과 InAs 박막 사이에는 약 7% 정도의 격자부정합이 존재하기 때문에 높은 이동도를 가지는 고품위 박막을 성장시키기가 매우 어렵다. 이에 본 연구에서는 분자선에피택시 방법을 이용하여 GaAs 기판위에 고품위의 InAs 박막을 성장하는 기술을 연구하였으며, 성장된 InAs 박막의 특성을 DCX 및 Hall effect 등으로 조사하였다. InAs 박막 성장시 기판은 <0-1-1> 방향으로 2$^{\circ}$ off 된 GaAs(100)를 사용하였다. InAs 박막성장시 기판온도는 48$0^{\circ}C$로 하고 GaAs buffer 두께는 2000$\AA$로 하여 As flux 및 Si doping 농도등을 변화시켰다. 그 결과 Si doping 농도 2.21$\times$1017/am에서 10,952cm2/V.s의 이동도를 얻었다.

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유방암예방 자원봉사활동에 참여한 유방암 생존자들의 자기효능감, 우울 및 외상 후 성장의 변화 (Changes of Self-efficacy, Depression, and Posttraumatic Growth in Survivors with Breast Cancer Participating Breast Cancer Prevention Volunteering)

  • 이명선;차지은;유영미
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.256-266
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    • 2014

  • 본 연구는 유방암예방 자원봉사활동을 통한 유방암 생존자들의 자기효능감, 우울, 및 외상 후 성장의 장기적 효과를 탐색하기 위해 실시되었다. 본 예비연구는 종단적 방법을 이용하였으며 참여자는 유방암예방교육프로그램에 참여한 유방함 생존자 14명이었다. 자료는 2013년 2월부터 8월까지 수집되었으며 자가보고식 설문지를 이용하여 유방암 자가관리에 대한 자기효능감, 우울, 및 외상 후 성장을 교육 전(T0), 교육 후 1개월(T1), 교육 후 3개월(T2), 교육 후 6개월(T3)에 각각 측정하였다. 효과분석을 위해 일반화 추정 방정식을 사용하였다. 자기효능감 점수는 T0과 비교했을 때 T1(${\chi}^2$=5.56, p=.018),T3(${\chi}^2$=4.56,p=.033)시점에 유의하게 증가하였다. 6개월 동안 우울은 일반인에 비해 낮은 수준으로 큰 변화가 없었고 외상 후 성장은 비교적 높은 점수가 유지되었다. 이러한 결과는 유방암 생존자들의 유방암예방 자원봉사활동이 자기효능감을 향상시키고 심리적 안녕을 유지하는데 효과적일 수 있음을 시사한다. 유방암 생존자의 유방암예방 자원봉사활동은 일반인 뿐 아니라 참여한 유방암 경험자들에게도 유용한 교육프로그램임을 보여주었다.

  • https://doi.org/10.5392/JKCA.2014.14.04.256 인용 PDF KSCI