A Study of Optimum Growth Rate on Large Scale Ingot CCz (Continuous Czochralski) Growth Process for Increasing a Productivity (생산성 증대를 위한 대구경 잉곳 연속 성장 초크랄스키 공정 최적 속도 연구)
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- Korean Chemical Engineering Research
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- v.54 no.6
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- pp.775-780
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- 2016