• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.280-281
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• 2012

차세대 디스플레이에서 3차원 감성 터치 또는 플렉시블 기판 등에 사용되고 있는 ITO(Tin-doped Indium Oxide) 박막은 고 해상도 및 소자 효율 향상을 위해 전 가시광 영역에서 높은 투과율이 요구되고 있다. 일반적으로 ITO 박막은 두께 감소에 따라 빛의 두께 산란 없이 전 가시광 영역에서 높은 투과율을 가지는 반면, 두께가 감소할수록 박막 성장 시 비정질 기판의 영향을 크게 받아 박막 결정성 감소와 더불어 전기전도성이 감소되는 경향을 보인다. 특히, 매우 얇은 두께에서의 ITO 박막 물성은 초기 박막 핵 생성 및 성장과 증착 공정 중에 발생하는 고 에너지 입자(산소 음이온, 반사 중성 아르곤 등)의 박막 손상에 대한 영향을 크게 받을 뿐만 아니라 ITO 박막 내의 SnO2 도핑함량에도 매우 의존한다. 따라서, 매우 얇은 두께에서 높은 투과율과 뛰어난 전기전도성을 동시에 가지는 고품질 ITO 초박막 제조를 위해서는 박막 초기 핵 성장 제어기술 및 SnO2 함량에 따른 ITO 초박막의 전기적, 광학적 거동에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 다양한 SnO2 함량에서 고품질의 ITO 초박막을 DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 박막 증착 중에 발생하는 고에너지 입자의 기판충격으로 인한 박막손상을 최소화하여 증착된 박막의 전기적, 광학적 특성 및 미세구조를 관찰하였다. 그리고 전체파워에서 RF/(RF+DC) 비율을 제어하여 증착한 ITO 초박막의 물성을 최적화 하였으며, 상온 및 결정화 온도 이상에서 다양한 SnO2 함량을 가진 ITO 박막을 두께(150 nm, 25 nm)에서 각각 증착하여 전기적, 광학적 거동 및 XRD를 통한 박막의 미세구조 변화를 비교 분석하였다. 그리고 증착된 모든 ITO 초박막에서 가시광 투과율은 빛의 두께 산란 없는 높은 투과율(>85 %) 을 보이는 것을 확인 할 수 있었다. 증착된 ITO 박막의 전기적 특성 및 미세구조는 RF/(DC+RF)비율 50%에서 최적임을 확인하였다. 이는 RF/(DC+RF) 비율 증가에 따른 캐소드 전압 최적화로 박막의 초기 핵 성장 과정에서 기판상의 고에너지 입자로 인한 박막 손상의 감소 및 리스퍼터 되는 산소량을 최적화 시키고, 이는 박막의 결정성 향상으로 이어져, 박막내의 결함 밀도 감소 및 SnO2 고용 효율을 증가시켜 전기전도성 향상에 기인하였다고 판단된다. 또한, 증착된 ITO 초박막은 SnO2 함량 변화에 따라 박막의 결정성 및 전기적 특성에서 미세한 변화를 보였다. 이러한 ITO 박막의 물성변화는 박막 두께 감소에 따른 결정성 감소와 함께 SnO2의 고용 한계 변화로 인한 것으로 판단된다. 또한, RF/(DC+RF) 비율의 증가에 따른 ITO 초박막의 전기적, 광학적 및 미세구조는 Vp-Vf의 변화와 관련하여 설명되어 진다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.14 no.12
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• pp.6610-6617
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• 2013

This study examined the current and future Indoor Air Quality (IAQ) control device markets and analyzed the recent studies on indoor air pollutantr emoval to develop a new technology for fine dust control. Currently, the mechanical filter technique occupies the bulk of the IAQ control market but the electronic technique is emerging as an alternative to control fine dust efficiently. Among the gaseous VOCs and fine dust particles contaminating the indoor air quality, fine dust particles are more problematic because they threaten human health by penetrating deep into the body and producing secondary contaminants by chemical reaction with VOCs. The electronic IAQ control device using dielectrophoretic and electrostatic forces is a good option for public spaces where many people pass, and at the same time, it needs to consider temperature, humidity, and the particle properties of specific areas to highlight the control efficiency. Electronic-related technology is expected to be used widely in many public/private spaces wherever a dust-free environment is required.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.8 no.4
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• pp.605-611
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• 1998

A computer experimental model for analyzing the microstructures and properties of vibratory deposited power compacts was developed. The effects of some significant variables such as amplitude, frequency, cycle, etc. on the change of diffraction patterns and packing densities of the deposited powder compacts were examined. In addition, the condition of phase transition from non-crystalline phase to crystalline one was determined. Data obtained from the present method quite well fitted the empirical correlations for real experimental data. In conclusion, the present model is so useful to investigate the densification and ordering of vibratory compaction.

• Journal of the Korean Geotechnical Society
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• v.17 no.1
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• pp.15-24
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• 2001

흙필터는 일반적으로 침식이나 파이핑으로부터 지반 구조물을 보호하기 위하여 사용된다. 세립자들이 유동하여 필터에 퇴적하는 폐색현상이 발생하는 경우, 간극수압이 증가하고 이로 인해 지반구조물의 불안정을 유발시키게 된다. 미세입자의 유동에 의한 폐색현상은 옹벽의 뒤채움재에 설치한 필터, 흙댐의 저부에 설치된 필터, 그리고 터널의 라이닝 뒤에 설치한 필터 등에서 발생할 수 있다. 폐색현상은 필터의 투수능을 저하시켜 배수능력에 상당한 위험을 초래할 수 있다. 본 연구에서는 필터의 폐색으로 인한 투수능 저하 정도를 실험을 통해 관찰하고 이론적인 모델을 통해 정량화 시키고자 하였다. 일정한 농도의 현탁액이 필터로 유입되는 분리형 실험과 현장상태를 모사하는 흙-필터 시스템의 결합형 실험을 통해 투수능의 저하현상이 압력 제어조건과 유량 제어조건에서 관찰되었고, 서로 비교 분석되었다. 미세입자가 통과하는 필터의 간극을 모세관으로 가정한 후 모세관에서 유체의 흐름 원리를 이용하여 물리적인 폐색에 의해 발생하는 투수능 저하현상을 이론적인 모델로 구성하였다. 일반적으로 투수능은 1/10 수준으로 감소되었으며, 분리형 실험에 의한 결과와 이론적인 모델의 결과는 잘 일치하였다. 또한, 결합형 실험결과와 분리형 실험결과가 비교적 잘 일치하여 투수능 저하예측은 분리형 실험이나 이론적 모델에 의하여 가능하리라 판단되었다.

• Journal of ILASS-Korea
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• v.12 no.2
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• pp.86-93
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• 2007

There is a growing interest to develop an eco-friendly air cleaner with high performance through a remanufacturing process. Two kinds of polyurethane filter media, a coarse (Filter-A) and a fine filter media (Filer-B), are used in this study to protect a vehicle engine from airborne particles. In order to improve the collection performance of the filters (Filter-A, Filter-B), an oil coating technology on the filter surface was introduced. As a result, inertial force is a dominant collection mechanism for a dry filter media, so that collection efficiency increases with increasing filtration velocity. However, intra-structure change of an oil-coated filter media influences on the collection mechanism, which shows a non-linear collection efficiency curve in terms of filtration velocity. The result shows that the developed filter media are eco-friendly and effective to protect a vehicle engine from airborne particles especially at low filtration velocity.

• Particle and aerosol research
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• v.19 no.4
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• pp.145-154
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• 2023

Granular bed filters are widely used to remove particulate matter in flue gas and are filled with various shapes of packing material. The packing material plays an important role in determining the overall collection performance, such as pressure drop and collection efficiency. The pressure drop of a granular bed filter has been calculated using the Ergun equation, while the collection efficiency has been predicted using the log-penetration equation based on the single sphere theory. However, a prediction equation of collection efficiency for a granular bed filter filled with non-spherical packing materials has not been suggested yet. Therefore, in this study, three different shapes of packing materials (sphere, cylinder, and irregular) were prepared to propose a prediction equation. The pressure drop and collection efficiency in a granular bed filter filled with each shape of packing material were measured experimentally and compared with theoretically predicted values. We found that experimentally measured pressure drops matched well with values theoretically predicted using the Ergun equation considering the shape factor. However, experimental collection efficiencies were higher than theoretical ones predicted by the log-penetration equation using the single sphere theory. We modified the log-penetration equation by employing a shape factor and found a good relationship between experimental and theoretical collection efficiencies.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.59 no.2
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• pp.239-246
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• 2021

Characteristics of hydrodynamics and heat absorption by gas in a directly-irradiated fluidized bed particle receiver (50 mm-ID X 150 mm high) of SiC particles have been determined. Solid holdups of SiC particles show almost constant values with increasing gas velocity. Fine SiC particles (SiC II; dp=52 ㎛, ρs=2992 kg/㎥) showed low values of relative standard deviation of pressure drop across bed but high solids holdups in the freeboard region compared to coarse SiC particles (SiC I; dp=123 ㎛, ρs=3015 kg/㎥). The SiC II exhibited higher values of temperature difference normalized by irradiance due to the effect of additional solar heat absorption and heat transfer to the gas by the particles entrained in the freeboard region in addition to the efficient thermal diffusion of the solar heat received at bed surface. Heat absorption rate and efficiency increased with increasing the gas velocity and fluidization number. The SiC II showed maximum heat absorption rate of 17.8 W and thermal efficiency of 14.8%, which are about 33% higher than those of SiC I within the experimental gas velocity range.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.25 no.4
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• pp.111-116
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• 2015

Practical difficulty in the HDDR (hydrogenation - disproportionation - desorption - recombination) processing of Nd-Fe-B-type alloy is a poor reproducibility of coercivity of the HDDR-treated material. In an attempt to improve the reproducibility of coercivity of the HDDR-treated $Nd_{12.5}Fe_{80.6}B_{6.4}Ga_{0.3}Nb_{0.2}$ alloy, the hydrogen decrepitation was carefully controlled so as to induce more extensive micro-cracks in the particle. Prior to the hydrogenation and disproportionation reaction of HDDR processing, an additional hydrogen degassing was carried out at an elevated temperature of $600^{\circ}C$ under vacuum for the previously hydrogen decrepitated particle. During the additional hydrogen degassing the lattice of hydrogen absorbed $Nd_2Fe_{14}B$ phase was further shrunken, hence more microcracks were introduced in the particle due to its brittle nature. Particles with more micro-cracks had more homogeneous hydrogen absorption and desorption reaction during the HDDR-treatment. The improved reproducibility of coercivity of the HDDR-treated material was attributed to the improved homogeneity of the HDDR reactions due to the presence of more micro-cracks.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2010.05a
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• Microbiology and Biotechnology Letters
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• v.14 no.5
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• pp.407-413
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• 1986

In an agitated bead reaction system, the enzymatic saccharification of uncooked starch was substantially enhanced. The enhancement mechanism was investigated front the view of the structural aspect of starch. The mechanical impact caused by the movement of the attrition-milling media resulted neither the destruction of microcrystalline structure nor the fragmentation of starch granule. instead, the most distinct phenomenon was the swelling of starch granule up to about 2.5 times, and the swelling mechanism was not similar with that caused by cooking. However, in the case of the enzyme addition in the attrition coupled reaction system, the swollen starch was easily fragmented into the large number of small particles by the synergistic action of the enzyme and milling-media. The exposed surface area of the fragmented particles plays the major role in enhancing the saccharification. The saccharification rate was quite different depending on the source of starch, the reason was discussed in terms of the granular structure of uncooked starches.