Design of Electrostatic Bonding Equipment for Large Area and the Effect of Contamination Particle on the Si-glass Electrostatic Bonding (대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 Glass 접합에 미치는 불순물의 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.6 no.1
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- pp.3-11
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- 1996