• 한국정밀공학회지
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• 제23권2호
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• pp.43-50
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• 2006

Recently, with rapid development of semiconductor and flat panel display, the manufacturing equipments are required to have large travel range, high productivity, and high accuracy. In this paper, an ultra precision decoupled dual servo (DDS) system is proposed to meet these requirements. And a control scheme for the DDS is studied. The proposed DDS consists of a $XY{\Theta}$ fine stage for handling work-pieces precisely and a XY coarse stage for large travel range. The fine stage consists of four voice coil motors (VCM) and air bearing guides. The coarse stage consists of linear motors and air bearing guides. The DDS is mechanically decoupled between coarse stage and fine stage. Therefore, both stages must be controlled independently and the performance of the DDS is mainly determined by the fine stage. For high performance tracking, the controller of fine stage consists of time delay control (TDC) and perturbation observer while the controller of coarse stage is TDC alone. With these individual controllers, two kinds of dual-servo control strategies are suggested: master-slave type and parallel type. By simulations and experiments, the performances of two dual-servo control strategies are compared.

• 융합신호처리학회논문지
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• 제8권3호
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• pp.222-226
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• 2007

본 연구에서는 응답의 과도영역에서 특징점의 각 영역과 $e-{\Delta}e$ 위상평면을 이용하여 이중 퍼지룰을 구성하였다. 구성된 퍼지 제어룰은 기본 퍼지제어 룰에 비해 상승시간, 지연시간, 최대오브슈트 등을 줄일 수 있었으며 퍼지 룰의 제안방법은 $e-{\Delta}e$ 위상평면에서 하나의 퍼지룰은 과도영역에서 정상상태오차를 일으키고 다른 퍼지 제어 룰은 정상상태오차를 감소시키고 수렴영역에서 빠르게 수렴하도록 교대로 사용한다. 또한 $e-{\Delta}e$ 위상평면에서의 두 개의 퍼지 룰은 플랜트의 응답 특성에 따라 교체시기를 결정한다. DSP 프로세서를 사용하는 유압서보 모터 제어시스템을 통한 실험의 결과로서 제안된 이중 퍼지 제어 룰은 기본 퍼지 제어 룰에 비해 빠른 상승시간, 정정시간등 양호한 응답을 얻을 수 있음을 확인하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 합동 추계학술대회 논문집 정보 및 제어부문
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• pp.249-252
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• 2002

For a precise position control with the resolution of a micrometer, a dual servo system is constructed using a linear motor and a piezoelectric actuator. The switching mode dual servo algorithm is implemented on a DSP board in which A/D and D/A converters are also mounted. It is shown by the experimental results that the precise position control is performed within a few micrometer of position error by using the dual servo system.

• 한국소음진동공학회논문집
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• 제13권12호
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• pp.965-971
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• 2003

고밀도, 고정밀의 정보저장기를 실현하기 위해서 높은 서보대역이 요구되고 있다 이러한 요구조건을 만족시키기 위해서 이단구동시스템이 도입되었다. 이 시스템은 기존의 VCM을 조동구동기로, 추가적인 밀리엑츄에이터를 미동구동기로 사용하는 것이다. 이를 위해 우리는 압전형 밀리엑츄에이터를 서스펜션 부에 설계하였다 이러한 시스템의 제어를 위하여 PQ 제어 방법을 도입하였으며, 이 방식은 이중입력/단일출력 시스템을 두개의 단일 입출력 시스템으로 단순화시키는 것이다. 이 논문은 PQ 제어 방식을 적용시켜 설계하고. 설계된 제어기의 성능 평가로써 기존의 HDD의 PES을 받아서 외란제어 능력을 평가하는 것이다.

• 한국식품과학회지
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• 제44권3호
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• pp.287-292
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• 2012

홍화씨기름의 과산화물값과 공액이중산값은 빛의 존재와 상관없이 산화시간과 산화온도가 증가함에 따라 증가했으나, 동일한 온도에서는 빛의 존재 하에서 높은 과산화물값과 공액이중산값을 보여 빛은 홍화씨기름의 산화를 촉진시켰다. 빛은 홍화씨기름 산화 및 토코페롤 분해 속도의 온도의존성을 감소시켰으며, 따라서 산화온도는 광산화에서보다는 자동산화에서 더욱 중요한 인자로 작용했다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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• pp.249-254
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• 1993

In order to respond to the increasing demands of ultraprecision positioning mechanism in the field of precision engineering, more accurate stages are needed whose positioning uncertainty should be in the unprecedented level of nanometers, while maintaining a long travek range. For this application, most conventional stage mechanisms are found not suitable, so the concept of dual servo, which uses two different servos, is one of the new design and control strategies being extensively investigated these days, This paper presents a fine motion mechanism as a part of research on the dual servo control. The stage is made of a single structure of elastic flexure, whose xy .theta. motions are induced in the form of elastic deformation activated by three piezoelectric actuators. Experimental results show that the translational and rotational motions of the stage can be controlled with resolutions of 5 nm and 0.1 arcsec, respectively.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회A
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• pp.1115-1119
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• 2007

Five control methods (Speed Control, PID Gain Scheduling, Loop Time Control, Simple PID, Switching Control) have been applied to the control of an Inline Co-axial valve by the simulation of AMESim. The simulation results have shown that the speed control method is the most stable and the fastest way to reach to the set point in the simulation of the flow control. Moreover, It has been found that the five control methods have the almost same characteristics in the power consumption, the counter electromotive force, and the motor angular velocity. According to the analysis results, the fast and stable control characteristics of the speed control method is the most suitable for the flow control using a inline co-axial valve with a DC(BLCD) motor.

• 전력전자학회논문지
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• 제7권6호
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• pp.524-530
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• 2002

일상 생활에서 반사적인 자세 조절은 정전기관, 시각, 고유수용체 등의 감수체에 의한 구심성 신호가 정전 신경핵에 전달되어 안구운동이나 골격근의 수축을 유발하여 이루어진다. 자세조절기능의 부조화는 오심, 구토, 현기증 등을 초래하여 삶의 의욕을 상실하게 만든다. 본 연구의 목적은 정전기관의 반규관과 이석기관을 선별적으로 자극하기 위한 탈수직축 회전자극 시스템과 수평, 수직, 3D 환경에서 시각자극을 할 수 있는 시운동자극시스템을 개발하여 인간의 자세조절 기능을 평가 하는데 있다. 탈수직축 회전자극 시스템은 편안한 의자와 DC 서보모터로 구동되는 기울임 테이블로 구성되고 PMSM에 의해 제어된다. 그리고 속도 궤환 루프와 위치 궤환 루프를 포함하는 이중 피드백 루프가 서보 제어되는 회전자극시스템에 적용된다. HMD를 이용하여 수평, 수직, 3D 시각자극패턴을 구현 하였고 OKN 자극을 위한 무선시스템과 전기안진 기록계를 이용하여 안구운동을 기록하였다. 이득, 위상, 대칭성은 정전 자극과 시각 자극에 의해 유발되는 안구운동의 분석으로부터 얻어진다.

• 수산해양기술연구
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• 제31권2호
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• pp.190-198
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• 1995

전원을 단락시킴이 없는 SCR이중 브리지 트리거 방식을 고안하여, 정역전이 가능한 SCR 서보증폭기로 구성하여 본 결과 다음과 같은 결론을 내릴 수 있었다. I. 출력전압의 부호를 변경시킬 때 현재의 전언부호가 반전될 때까지 도통 상태를 유지시키다가, 전원부호가 반전된 이후 적절한 SCR을 도통 시킴으로서 크리거 실패가 없게 되어, 전원을 단락시키지 않게 되고 SCR의 소손을 막을 수 있었다. II. -에서 약 30Hz 부근까지는 60Hz의 전원으로서 원하는 출력을 표현할 수 있었는데, 이는 대형 직류 전동기의 동특성을 충분히 확보할 수 있는 값이다. III. 유도성 부하의 경우라도 이미 도통된 SCR을 통하여 유동성부하L에 저장될 수 있는 에너지의 총량은 전원의 반주기 시간과 전원이 파고치값 한계내이므로, 다음 반주기동안 부호만 반전된 전원 전압과 동일한 반주기의 시간이 존재하므로, 에너지 보존의 법칙에 의해 반드시 다음 반주기 안에 현재도통된 SCR은 소호되게 되므로 트리거실패는 존재하지 않는다.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권12호
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• pp.163-170
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• 2002

The quality of a precision product, in general, relies on the accuracy and precision of its manufacturing and inspection process. In many cases, the level of precision in the manufacturing and inspection system is also dependent on the positioning capability of tool with respect to the work piece in the process. Recently the positioning accuracy level has reached to the level of submicron and long range of motion is required. For example, for 1 GDARM lithography, 20nm accuracy and 300mm stroke needs. This paper refers to the lithography stage especially to fine stage. In this study, for long stroke and high accuracy, the dual servo system is proposed. For the coarse actuator, LDM (Linear DC Motor) is used and for fine one VCM is used. In this study, we propose the new structure of VCM for the fine actuator. It is 3 axis precision positioning stage for an aligner system. After we perform the optimal design of the stage to obtain the maximum force, which is related to the acceleration of the stage to accomplish throughput of product. And we controlled this fine stage with TDC. So we obtained 50nm resolution. So later more works will be done to obtain better accuracy.