• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.08a
• /
• pp.82.1-82.1
• /
• 2013

SPOES(Self Plasma Optical Emission Spectroscopy)는 반도체 및 LCD 제조 장비의 Foreline에 장착되는 센서로써, Foreline에 흐르는 Gas를 이온화시켜 이때 발생되는 빛을 분광시켜 공정의 상태 및 장비의 상태등을 종합적으로 점검할 수 있는 센서입니다. SPOES의 최대 장점은 공정 장비에 영향을 주기 않으면서 공정을 진단할 수 있고, 장비의 메인챔버에서 플라즈마 방전이 발생하지 않는 RPS (Remote Plasma System)등에 적용이 가능하며, 설치 및 분해이동과 운용이 용이한 장점이 있습니다. 하지만, SPOES는 오염성 가스 및 물질에 의한 오염에 취약한 단점이 있습니다. 예컨대, 플라즈마 방전에 의한 부산물들이 SPOES의 내부에 있는 윈도우의 렌즈에 부착되어 감도를 저하시켜, SEOES의 수명을 단축시킵니다. 또한 오염 물질이 SPOES 내부의 방전 CHAMBER에 증착되어 플라즈마 방전 효울을 저하시켜 센서의 효율을 저하시킵니다. 예를들면, 장비의 공정 챔버에서 배출되는 탄소와 같은 비금속성 오염물질과 텅스텐과 같은 금속성 오염물질이 SPOES의 방전 CHAMBER 내벽과 윈도우에 증착되어 오염을 유발합니다. 오염이 진행된 SPOES는 방전 CHAMBER의 오염으로 CHAMBER의 유전율을 변화시켜, 플라즈마 방전 효율의 저하를 가져오고, 윈도우의 오염은 빛의 투과율을 저하시켜, OES 신호의 감도를 저하시켜, SPOES 감도를 저하시키는 요인으로 작용합니다. 이러한 문제를 해결하기위한 방법으로 능동형 오염 방지 기술을 채용 하였습니다. 능동형 오염 방지 기법은 SPEOS의 방전 챔버에서 플라즈마 방전시 발생하는 진공의 밀도차를 이용하는 기술과 방전 챔버와 연결된 BYPASS LINE에 의해 발생되는 오염물질 자체 배기 시스템, 그리고 고밀도 플라즈마 방전을 일으키는 멀티 RF 기술 및 고밀도 방전을 일으키는 챔버 구조로 구성 되어 있습니다. 능동형 오염 방지 기법으로 반도체 공정에서 6개월 이상의 LIFETIME을 확보 할 수 있고, 고밀도 플라즈마로 인한 UV~NIR 영역의 감도 향상등을 확보 할 수 있습니다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.327.1-327.1
• /
• 2016

모바일 기기의 폭발적 증가세로 인해 플래시 메모리의 수요가 증가하고 있다. 낸드 플래시 메모리는 적은 전력 소모량과 높은 전기적 효율 때문에 많은 많은 연구가 이루어지고 있다. 반면에 stress-induced leakage current, positive-charge-assisted tunneling, thermally-assisted tunneling 등의 문제로 신뢰성이 저하되는 문제가 발생한다. 프로그램/이레이즈 동작이 반복되면 소자에서 발생하는 에러의 발생비율이 늘어나 신뢰성이 저하되게 된다. 비록 신뢰성 저하 메커니즘에 대한 연구가 많이 이루어졌으나, 워드라인 스트레스에 의한 프로그램 특성 저하에 대한 구체적인 연구가 진행되지 않았다. 본 연구에서는 플래시 메모리의 워드라인 스트레스로 인한 전기적 특성 감소 현상을 보기 위해, 플로팅 게이트의 두께를 변화시키면서, electron density와 depletion region 의 변화를 관찰하였다. 낸드 플래시 메모리의 전기적 특성을 멀티 오리엔테이션 모델을 포함한 3차원 TCAD 시뮬레이션을 이용하여 계산하였다. 프로그램/이레이즈 동작이 증가함에 따라, 플로팅 게이트에 공핍영역이 생기고, 블로킹 옥사이드와 게이트 사이에 의도하지 않은 트랩이 생기게 된다. 이로 인해 프로그램/이레이즈 동작이 증가함에 따라, 플로팅 게이트의 electron density가 감소하는 경향을 보았다. 이 연구 결과는 낸드 플래시 메모리 소자에서 신뢰성을 향상시키고 프로그램 특성을 증진시키는데 도움이 된다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
• /
• 1998.05b
• /
• pp.427-432
• /
• 1998

중수속의 삼중수소 제거 공정인 액상 촉매 교환 반응에서 중수의 촉매 표면 응축에 의한 성능 저하가 큰 문제의 하나로서 성능 저하를 감소시키기 위한 여러 가지 형태의 촉매탑이 고안 되었다. 본 연구에서는 membrane을 사용하여 중수와 촉매를 분리시킴으로써 촉매 성능 저하를 감소시킬 수 있는 촉매탑의 설계를 시도하였다. 세 가지 촉매탑이 고안되었는데 sheet type의 membrane을 사용한 multilayered type 과 double spiral type, hollow fiber membrane을 사용한 hollow fiber cartridge type 등이다. multilayered type은 구조가 단순하여 scale-up이 용이하고 double spiral type은 다른 type보다 유로의 blocking 문제가 작고 hollow fiber cartridge type은 최대의 비표면적을 가질 수 있다.

• Proceedings of the Korean Society for Bio-Environment Control Conference
• /
• 2003.04a
• /
• pp.6-14
• /
• 2003

북한의 식량 상황이 악화된 근본적인 원인은 생산 주체에 대한 인센티브 부족, 농업환경을 보면 경작지 면적이 전체 20% 정도로 낮고, 무상기일이 135-180일로 짧으며, 토양의 비옥도 저하, 삼림파괴로 인한 토양 유실증가, 가뭄, 홍수, 태풍과 같은 자연 재해가 계속되고 있다. 농업 구조적인 요인들로는 농업에 투입되는 에너지 부족(연료, 비료, 농약, 전기 등), 농업 기계화율 정도가 높았으나 노후화에 따른 예비 부품 부족으로 인한 활용률의 저하, 양질의 종자확보 부족, 갖추고 있는 관개 시설의 노후화로 인한 관개시설 활용과 관수 효율의 저하, 농산물 수확 후 수송과 저장 과정에서 손실증가 등을 들수 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society for Food Science of Animal Resources Conference
• /
• 2004.10a
• /
• pp.367-370
• /
• 2004

본 연구는 콜레스테롤을 제거한 우유에 미세캡슐 키토올리고당을 첨가한 랫트 사료의 섭취량에 따른 체중 증가량, 총 콜레스테롤의 함량과 중성지질, HDL-cholesterol의 함량 변화를 연구하였다. 이 미세캡슐 키토올리고당을 SD 랫트에 매일 섭취시킨 결과HDL-cholesterol의 증가가 높게 나타났다. 본 실험에서, 혈중콜레스테롤 저하 기능이 있는HDL-cholesterol 수치가 증가하는 결과를 나타내므로 혈중 콜레스테롤 저하 기능성 우유로서의 기능이 있다고 사료된다.

• Proceedings of the KWS Conference
• /
• 2009.11a
• /
• pp.58-58
• /
• 2009

선박의 선체부분인 선수, 선미 등을 이루고 있는 곡형 외판의 제작은 강판을 원하는 형상으로 성형하기 위하여 벤딩롤러 및 유압프레스를 이용한 냉간가공과 산소-프로판가스 화염을 적용한 선상가열, 삼각가열을 이용한 열간가공으로 크게 구분할 수 있다. 선상가열을 이용한 곡면가공의 원리는 가열토치를 이용하여 강판을 가열하면 가열부는 팽창하게 되고 냉각시에는 수축하게 된다. 이 때 두께방향으로의 소성변형으로 인한 수축량의 차이로 인해 굽혀지게 된다. 최근에는 선박이 고기능 및 대형화로 인해 3차원 곡형 외판 형상이 복잡해지고, 강도를 향상시키기 위하여 합금원소(C, Nb, V, Ti)를 첨가하거나 열처리(노말라이징)를 이용한 고장력강재인 중후판의 적용이 증가하고 있다. 이러한 고강도강재를 선상가열공정으로 제작한 곡형 외판재는 가열, 냉각의 열사이클로 인해 취화되어 인성이 저하 될 수 있다. 본 연구에서는 Normalizing 열처리재인 490MPa급 강재를 이용하여, 현장에서 작업자의 미숙련으로 인해 발생 할 수 있는 최대의 가혹한 조건과 재질에 큰 영향을 미치지 않는 범위를 선정하여 선상가열시의 가열, 냉각조건에 따른 강재의 재질특성을 조사하고자 한다. 이를 위해 가열시 가열부위의 정확한 온도 측정에 역점을 두었으며, 각각 다른 선상가열 조건에 따른 시편을 제작하기 위하여 선상가열 실험장치를 제작하였다. 선상가열 실험 결과 최고가열온도 $1300^{\circ}C,\;950^{\circ}C$에서 수냉 조건인 경우 급격한 인성저하 현상이 발생하며 비록 공냉이라 하더라도 결정립 조대화로 인성 저하가 발생하였다. $800^{\circ}C$가열 후 수냉개시온도를 $700^{\circ}C$이하로 수냉한 경우에는 인성 저하 현상이 개선되고 있음을 알 수 있다.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
• /
• v.17 no.3
• /
• pp.260-267
• /
• 1992

In this paper, the performance of frequency hopped(FH) M-ary frequency shift keyed(MFSK)system is analyzed with the fading channel and the multione famming. In general, the performance degradation of FH/MFSK system is due to the Rayleigh fading and the multitone jamming environment. In order to improve the system performance. the time diversity is used. When the time diversity is applied to the Rayleigh fading and the mulitone jamming, we get around 18dB and 19dB improvements. respectively. And when it is applied to both the Rayleigh fading and the multitone jamming, we get around 4 dB improvement.

• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
• /
• 2003.10a
• /
• pp.124-129
• /
• 2003

현대의 산업계에서 많은 기기들은 민감한 전자부품들을 사용하고 있다. 이들 기기들은 전압의 변동에 민감하게 반응하여 오동작을 일으킬 수 있으며, 이로 인해 산업현장의 안전에 영향을 미치는 주요 요인이 되기도 한다. 특히 순시적인 전압 강하를 허용하지 않는 중요한 부하기기의 사용이 급증하고 있다. 따라서 순시전압저하(instantaneous voltage sag)는 전기의 신뢰성과 안전성에 위협을 주는 요인이다.(중략)

• Journal of the Korean Geotechnical Society
• /
• v.17 no.1
• /
• pp.15-24
• /
• 2001

흙필터는 일반적으로 침식이나 파이핑으로부터 지반 구조물을 보호하기 위하여 사용된다. 세립자들이 유동하여 필터에 퇴적하는 폐색현상이 발생하는 경우, 간극수압이 증가하고 이로 인해 지반구조물의 불안정을 유발시키게 된다. 미세입자의 유동에 의한 폐색현상은 옹벽의 뒤채움재에 설치한 필터, 흙댐의 저부에 설치된 필터, 그리고 터널의 라이닝 뒤에 설치한 필터 등에서 발생할 수 있다. 폐색현상은 필터의 투수능을 저하시켜 배수능력에 상당한 위험을 초래할 수 있다. 본 연구에서는 필터의 폐색으로 인한 투수능 저하 정도를 실험을 통해 관찰하고 이론적인 모델을 통해 정량화 시키고자 하였다. 일정한 농도의 현탁액이 필터로 유입되는 분리형 실험과 현장상태를 모사하는 흙-필터 시스템의 결합형 실험을 통해 투수능의 저하현상이 압력 제어조건과 유량 제어조건에서 관찰되었고, 서로 비교 분석되었다. 미세입자가 통과하는 필터의 간극을 모세관으로 가정한 후 모세관에서 유체의 흐름 원리를 이용하여 물리적인 폐색에 의해 발생하는 투수능 저하현상을 이론적인 모델로 구성하였다. 일반적으로 투수능은 1/10 수준으로 감소되었으며, 분리형 실험에 의한 결과와 이론적인 모델의 결과는 잘 일치하였다. 또한, 결합형 실험결과와 분리형 실험결과가 비교적 잘 일치하여 투수능 저하예측은 분리형 실험이나 이론적 모델에 의하여 가능하리라 판단되었다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
• /
• 2001.04a
• /
• pp.301-303
• /
• 2001

Mobile IP를 기반으로 하는 무선 네트워크의 개념이 확장됨에 따라 Mobile IP의 중요성이 더욱 부각되고 있다. 하지만 Mobile IP에서 수행되는 핸드오프는 심각한 성능 저하를 초래하고 있으며, 이를 해결하려는 연구도 많이 진행되어 왔다. 그러나 기존의 연구들은 데이터 링크 계층의 특성을 전혀 고려하고 있지 않고 있기 때문에 핸드오프에 의한 문제들을 궁극적으로 해결하지는 못하고 있다. 본 논문은 데이터 링크 계층에서 수행되는 로밍 정보를 이용하여 Mobile IP가 핸드오프를 신속하게 처리하는 기법을 제시하고 이를 사용하여 성능 저하를 크게 막을 수 있음을 보인다.