• 제목/요약/키워드: 유틸리티장비

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TFT-LCD 생산공장 내 유틸리티 가동으로 인한 정밀장비 과도진동 현상 및 평가 (An analysis and assessment of transient vibration phenomenon for precision equipment due to adjacent utility operation in TFT-LCD Fab)

  • 백재호;이홍기;손성완;전종균
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.993-999
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    • 2007
  • 반도체나 TFT-LCD등을 생산하는 정밀산업 공장구조물에는 진동에 민감한 수많은 정밀장비(검사 및 생산용 장비)가 청정실(Clean Room)에 설치되어 운용된다. 정밀장비는 정상운용을 위하여 주변에 각종 유틸리티 설비가 설치된다. 이러한 수많은 유틸리티 설비들과 그 밖의 많은 장비들로 인하여 공장 내 청정실에는 각종 수 많은 소음/진동원들이 산재해 있다. 이러한 소음/진동원으로 인하여 청정실 내에는 소음/진동의 환경을 저하시킨다. 이에, 본 연구에서는 정밀장비 주변에 설치 된 유틸리티의 가동으로 인하여 발생하는 진동으로 인하여 간헐적으로 정밀장비에 영향을 미치는 과도진동의 현상을 확인하고, 과도진동 현상에 대하여 정밀장비에서 제시한 진동허용규제치와 비교/평가하고, 진동허용규제치의 유효성에 대하여 확인하였다.

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해양플랜트 소형 유틸리티장비의 FEED 검증 프로세스에 대한 연구 (A Study of FEED Verification process of Small Utility Equipment in Offshore plant)

  • 한성종;박범
    • 플랜트 저널
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    • 제13권2호
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    • pp.39-45
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    • 2017
  • 본 논문은 시스템엔지니어링기법을 이용하여 해양플랜트 산업의 소형 유틸리티 장비의 입찰단계에서 사용가능한 FEED 검증 수행모델에 대한 연구이다. 현재 국내 해양플랜트 기자재산업계는 해양플랜트에 진출하면서 프로젝트 수행에 따른 재정적 위험에 직면한 상태이며, 그 주요한 원인으로 기자재업체의 발주처(COMPANY 또는 EPC: Engineering, Procurement and Construction) 로부터 제공받은 FEED 결과물에 대한 검증능력부족으로 조사되었다. 이에 요구사항 분석, 기능, 성능분석 및 물리적아키텍처 구축프로세스를 순차적으로 적용하는 시스템 엔지니어링 기법을 간략화 한 FEED 설계 검증방법을 제안하고 이를 소형 유틸리티 장비(Air Compressor)를 대상으로 기존의 경험에 의존한 검증방법과 개발한 FEED 검증 모델을 적용한 결과를 비교함으로써 개발된 모델의 사용적정성을 검증하였다.

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반도체 제조라인의 냉수 시스템 효율성 증대에 관한 연구

  • 김기운;김광선;곽승기;박만호
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
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    • pp.253-258
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    • 2004
  • 21C 정보화시대를 맞이하여 반도체 산업이 급속하게 발전함에 따라 컴퓨터를 활용한 효율성이 높은 유틸리티 관리 시스템(New Utility Management System) 기술이 중요시되는 추세이다. 본 연구에서는 유틸리티 관리시스템의 한 부분인 냉수 시스템에 대해 정상상태 유동해석을 통하여 각 구성 요소에서의 유량 및 압력, 온도를 제공할 수 있는 컴퓨터해석시스템을 구현하였다. 효율성 증대를 위해 펌프 위치에 따른 시스템 변화를 파악하여 시스템에 영향을 크게 미칠 수 있는 펌프 즉, 가동하면 효율적인 펌프를 결정하였으며 최적의 리턴라인(Return Line) 위치를 설계하였다. 이 결과는 운전 및 관리의 효율성 증대와 에너지 절감을 위하여 매우 유익한 활용이 가능하다.

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Offshore Oil & Gas산업에서의 장비 국제표준화 추진에 관한 접근방법 및 추진 사례 (Approach and case study on promotion of international standardization of equipment in offshore oil & gas industry)

  • 한성종;서영균;정정열;박범
    • 플랜트 저널
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    • 제16권1호
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    • pp.28-33
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    • 2020
  • 본 연구는 Offshore Oil & Gas 산업에서의 장비 및 벌크자재 국제표준화 추진에 대한 접근방법에 대한 연구로 국제표준화를 위한 요구사항을 분석하고 표준화 장비의 우선순위 선정 및 1단계 표준화 결과를 설명한다. 현재 국제적으로 진행되고 있는 표준화활동은 크게 3개의 활동들로 구분할 수 있으며 첫째로 국내 대형 조선3사가 주도하여 진행하는 벌크자재 국제표준화활동, 둘째로 IOGP의 주도하에 진행되는 JIP33 장비표준화 활동 및 마지막으로 선급을 중심으로 이루어지는 UEJIP 장비표준화활동으로 구분될 수 있다. 본 연구는 Offshore Oil & Gas산업에서 적용되는 각종 국제표준을 분류하고 이를 기반으로 하여 진행되고 있는 선급 주도의 장비 표준화 활동 및 실제 프로젝트의 적용사례를 소개한다.

TFT-LCD 생산공장의 유틸리티 진동으로 인한 공장 구조물과 정밀장비로의 영향성 (A Study on the of influence to precision equipment by utility vibration of TFT-LCD fab)

  • 박해동;임정빈;류국현;백재호
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.886-892
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    • 2006
  • 반도체 및 TFT-LCD등을 생산하는 공장 구조물에는 C/R이 있으며, 여기에는 외부 진동에 엄격한 특성을 갖고 있는 각종 수 많은 정밀장비가 설치되어 있다. 더구나, 이러한 정밀장비등의 정상운용을 위하여 각종 UT(유틸리티)등이 병행하여 C/R내 산재해 설치되어 있다. 이러한 UT는 정밀장비와 각종 배관들로 연결되어 설치되어 있다. 또한 C/R의 항온/항습등을 유지하기 위하여 공조등 부대 유틸리티도 또한 설치되어 있으며, 이러한 각종 유틸리티는 진동은 유발하는 진동원이 되며, 여기서 발생하는 진동은 C/R의 진동환경을 열악하게 만들 수 있다. 이에, 본 연구에서는 TFT-LCD 생산 공장에서 UT와 배관등에서 발생하는 진동이 공장 구조물(격자보)와 공진현상을 일으켜 인접하여 설치 된 정밀장비에 악영향을 끼치고 있음을 현장 진동 측정과 구조물 동적 해석을 통하여 확인하였고, 제안한 저감대책을 수행 후 진동 영향성의 감소됨을 확인하였다.

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반도체 제조라인의 냉각 시스템 효율성 증대에 관한 연구

  • 김기운;김광선;곽승기;박만호
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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    • pp.35-41
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    • 2003
  • 반도체 제조라인의 유틸리티 분야에 국내 기술이 도입되고 이에 따른 관리시스템 구축의 중요성이 부각되고 있으며 유틸리티 시스템의 한 부분인 냉각 시스템의 효율성 증대에 관심을 보이고 있다. 본 연구에서 펌프의 효율 계산 프로그램을 NUMS(New Utility Management System)에 반영하고 현재 가동중인 시스템인 NUMS와 같은 조건 하에서 정상상태 유동해석을 통하여 각 구성 요소에서의 유량 및 압력을 제공할 수 있는 시스템을 구현 하였고 NUMS와 압력비교를 하였다. 또한 효율성 증대를 위해 적절한 By-pass 밸브의 개도와 펌프 1대를 줄일 수 있는 결과를 얻었다. 이 결과는 차후 운전 및 관리의 효율성 증대와 에너지 절감을 위한 자료로 이용하고자 한다.

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핸드폰 기반 지니 서비스 (Mobile phone­based Jini Service)

  • 오길원;정갑주
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2003년도 가을 학술발표논문집 Vol.30 No.2 (3)
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    • pp.661-663
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    • 2003
  • 주변에 존재하는 임의의 다양한 소형기기 기반 서비스(예, 각 지역의 유틸리티 장비 서비스)들을 동적으로 발견하고, 이들간 상호 서비스 호출이 동적인 분산컴퓨팅 환경을 퍼베이시브 컴퓨팅 환경이라 한다. 지니는 이러한 퍼베이시브 컴퓨팅 환경의 효과적 구축을 위한 미들웨어이다. 그러나 지니 미들웨어의 높은 H/W 및 S/W 요구사항 때문에 많은 소형기기에서는 지원이 되지 않아, 퍼베이시브 컴퓨팅 환경에서 광범위한 활용이 되지 않고 있다. 본 논문에서는 제한된 H/W 용량과 S/W 기능을 갖고 있는 소형기기 상에서 범용적 지니 지원방법 (지니 Surrogate 아키텍쳐)를 논의하고, 대표적 인터넷 소형기기인 핸드폰 상에서 지니 서비스 구현 방법을 제안한다.

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반도체공정의 Tubing내 잔여가스제거 지적결정시스템

  • 임사환;허용정;최성주;이종락
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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    • pp.115-119
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    • 2006
  • 21C 정보화시대를 맞이하여 반도체 산업이 급속하게 발전함에 따라 컴퓨터를 활용만 효율성이 높은 유틸리티 관리 시스템(New Utility Management System) 기술이 중요시 되는 추세이다. 본 연구에서는 반도체 공정의 가스 케비넷 또는 BSGS(Bulk Specity Gases System) 등에 사용되는 실린더 등의 교체 후 Tubing 등에 남아있는 잔여가스를 효과적으로 제거하기 위한 잔여가스제거 지적결정시스템을 구현하였다. 이를 통하여 각 공정에 필요한 독성가스의 종류에 따른 퍼지가스의 종류 및 횟수를 결정하였으며, 이 결과는 운전 및 관리의 효율성 증대와 에너지 절감을 위하여 매우 유익하게 활용될 것이다.

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TFT-LCD 생산공장 내 유틸리티 가동으로 인한 정밀장비 과도진동 현상 및 평가 (An Analysis and Assessment of Transient Vibration Phenomenon for Precision Equipment Due to Adjacent Utility Operation in TFT-LCD Fab)

  • 백재호;이홍기;손성완;전종균
    • 한국소음진동공학회논문집
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    • 제17권8호
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    • pp.726-735
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    • 2007
  • Inside the factory buildings of aprecision industry (which produces semiconductors or TFT-LCD), thousands of vibration-sensitive precision equipments operate in the clean rooms. Various utility equipments that are installed around them for proper operation cause various sources of noise and of vibration to exist inside the clean rooms and thus deteriorate the noise and the vibration environment within. In this study, we check if the existing transient vibration phenomenon is caused by the vibrations that arise from operating the utility installed near these equipments; compare and evaluate the vibration criteria of precision equipments regarding the transient vibration phenomenon; and check the efficiency of these criteria.

아크 발생에 따른 고장 및 화재를 보호하기 위한 직류 아크 Generator 개발 (Development of DC Arc Generator to protect against Malfunctions and Fires caused by Arcing)

  • 윤용호
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제21권6호
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    • pp.123-128
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    • 2021
  • 직류 배전시스템의 보급이 증가됨에 따라 이에 따른 고장 발생 및 화재 사고도 증가하고 있고 특히 스마트 그리드의 구성 요소인 ESS 화재 사고, 직류 시스템인 태양광 발전 시스템의 화재 사고는 신재생에너지의 보급이 급격하게 증가하고 동시에 사용 연수 10년 이상의 노후 시설이 많아짐에 따라, 시스템 구성 요소 간의 전기적인 접속의 문제들로 발생하고 있다. 이로 인해 유발된 빛과 열을 방출하여 직접적인 화재의 원인이 될 수 있는 아크가 화재의 한 원인으로 지적되고 있다. 따라서 이러한 아크 결함의 문제는 기존의 과전류차단기와 누전차단기로는 아크사고를 사전에 차단할 수 없는 실정이며 대규모 유틸리티 시스템뿐만 아니라 소규모 주거 시스템에서도 인간의 안전에 중대한 위협이 될 수 있기에 아크사고에 대한 대책이 필요하다. 본 논문에서는 국제표준화에 만족하는 시험장비 개발과 아크 발생에 따른 고장 및 화재를 보호하기 위한 직류 아크 Generator를 개발 하고자 한다.