• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.05c
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• pp.240-244
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• 2003

후막 리소그라피 기술은 기판 위에 감광성 페이스트를 도포한 후 자외선과 패턴마스크를 사용하는 광식각(photolithography) 방법을 이용하여 세부 패턴을 형성시키는 기술이다, 이 기술은 후막기술로서는 높은 해상도인 선폭 $30{\mu}m$ 이하의 미세도선을 구현할 수 있어, 후막기술을 이용한 고주파 모듈의 제조에 있어서 새로운 대안으로 주목받고 있다. 본 연구에서는 알루미나 기판 상에 수십 ${\mu}m$ 이하의 마이크로 비아를 가지는 유전체 층을 형성시킬 수 있는 저온소결용 감광성 유전체 페이스트를 개발하였다. 저온소결용 유전체 파우더와 폴리머, 모노머, 광개시제 등의 양을 조절하여 마이크로 비아를 형성할 수 있는 최적 페이스트 조성을 연구하였으며, 노광량 및 현상시간과 같은 공정변수가 마이크로 비아의 해상도에 미치는 영향을 평가하였다. 알루미나 기판에 전면 프린팅 한 후 건조, 노광, 현상, 소성 과정을 거쳐 소결전 $37{\mu}m$, 소결후 $49{\mu}m$의 해상도를 가지는 마이크로 비아를 형성할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.121-121
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• 2017

본 연구는 비전도성 폴리머 표면을 개질하여 감광성 금속을 유전체 표면에 흡착시키고, 감광성 금속의 광화학 반응을 이용하여 귀금속 촉매를 비전도성 폴리머 표면에 선택적으로 흡착시켜 무전해 Cu 도금을 수행하여 금속패턴을 형성하였다. 기능성 유연 필름은 일반적으로 투명한 플라스틱 고분자 기판을 기반으로 전기 전자, 에너지, 자동차, 포장, 의료 등 다양한 분야에서 폭넓게 활용 되고 있으며, 본 연구에서는 습식 도금 공정을 이용하여 폴리이미드 필름상에 $10{\mu}m$ 이하의 미세패턴을 형성하기 위한 공정을 개발하고자 하였다. 비전도성 폴리머 표면에 무전해 도금을 위해서 우선 폴리머 필름의 표면을 개질하는 공정이 필요하다. 이에 KOH 또는 NaOH 알카리 용액을 이용하여 표면을 개질하였으며 개질된 표면에 감광성 금속이온의 흡착시키기 위한 감광성 금속이온은 주석을 사용하였으며, 주석 용액의 안정성 및 퍼짐성 향상을 위해 감광성 금속 용액의 제조 및 특성을 관찰하였으며, 감광성 금속화합물이 흡착된 비전도성 유전체 표면을 포토마스크를 이용하여 특정 부위, 즉 표면에 금속패턴 층을 형성하고자 하는 곳은 포토마스크를 이용하여 광원을 차단하고 그 외 부분은 주 파장이 365nm와 405nm 광원을 조사하여 선택적으로 감광성 금속화합물의 산화반응을 유도하는 광조사 공정을 수행하였다. 광원이 조사되지 않은 부분에 귀금속 등의 촉매 입자를 치환 흡착시켜 금속 패턴이 형성될 수 있는 표면을 형성하였다. 위의 활성화 공정이후에 활성화 처리된 표면을 세척하는 수세 공정을 거친 후 무전해 도금공정에 바로 적용할 경우 미세한 귀금속 입자가 패턴이 아닌 부분 즉 자외선(UV) 조사된 부분에도 남아있어 도금시 번짐 현상이 발생한다. 이에 본 연구에서는 활성화 처리 후 약 알칼리 용액에 카르복실산을 혼합하여 잔존하는 귀금속 입자를 제거한 후 무전해 Cu 도금액을 이용하여 $10{\mu}m$ 이하의 Cu 금속 패턴을 형성하였다.

• Laser Solutions
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• v.17 no.3
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• pp.19-23
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• 2014

To directly engrave circuit-line patterns as wide as $6{\mu}m$ in a buildup film to be used as an IC substrate, we applied a projection ablation technique in which an 8 inch dielectric ($ZrO_2/SiO_2$) mask, a DPSS 355nm laser instead of an excimer laser, a ${\pi}$-shaper and a galvo scanner are used. With the ${\pi}$-shaper and a square aperture, the Gaussian beam from the laser is shaped into a square flap-top beam. The galvo scanner before the $f-{\theta}$ lens moves the flat-top beam ($115{\mu}m{\times}105{\mu}m$) across the 8 inch dielectric mask whose patterned area is $120mm{\times}120mm$. Based on the results of the previous research by the authors, the projection ratio was set at 3:1. Experiments showed that the average width and depth of the engraved patterns are $5.41{\mu}m$ and $7.30{\mu}m$, respectively.

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 2003.04a
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• pp.74-78
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• 2003

Multi-channel images of 11-MUA and 11-MUOH self-assembled monolayers were obtained by using two-dimensional surface plasmon resonance (SPR) absorption. Patterning process was simplified by exploiting direct photo-oxidation of thiol bonding (photolysis) instead of conventional photolithography. Sharper images were resolved by using a white light source in combination with a narrow bandpass filter in the visible region, minimizing the diffraction patterns on the images. The line profile calibration of the image contrast caused by different resonance conditions at each points on the sensor surface (at a fixed incident angle) enables us to discriminate the monolayer thickness in sub-nanometer scale. Furthermore, there is no signal degradation such as photo bleaching or quenching which are common in the detection methods based on the fluorescence.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.24 no.5
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• pp.224-230
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• 2013

Laser Lift-Off (LLO) is a process that removes a GaN or AIN thin layer from a sapphire wafer to manufacture vertical-type LEDs. It consists of a light source, an attenuator, a mask, a projection lens and a beam homogenizer. In this paper, we design an attenuator and a projection lens. We use the 'ZEMAX' optical design software for analysis of depth of focus and for a projection lens design which makes $7{\times}7mm^2$ beam size by projecting a beam on a wafer. Using the 'LightTools' lighting design software, we analyze the size and uniformity of the beam projected by the projection lens on the wafer. The performance analysis found that the size of the square-shaped beam is $6.97{\times}6.96mm^2$, with 91.8 % uniformity and ${\pm}30{\mu}m$ focus depth. In addition, this study performs dielectric coating using the 'Essential Macleod' to increase the transmittance of an attenuator. As a result, for 23 layers of thin films, the transmittance total has 10-96% at angle of incidence $45-60^{\circ}$ in S-polarization.

• Journal of the korean veterinary medical association
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• v.44 no.9
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• pp.803-818
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• 2008

동물의 결핵은 Mycobacterium bovis의 감염에 의한 만성 소모성 질병이며 인수공통전염병이다. 동물로부터 사람으로의 결핵 전염은 생유 섭취하던 시대에 상당히 많이 보고되었다. 우유의 살균처리와 소에서 피내진단에 의한 양성우 살처분 및 보상금 지급 정책을 전개하면서 M. bovis의 사람전염은 급격히 감소하였다. 소 결핵은 우리나라에서 연간 0.15% 내외의 발생을 보이고 있으며, 발생의 주원인으로는 외부입식소, 인근발생농장, 과거발생농장의 사후관리소홀 등이다. 사람 결핵의 주원인균인 M. tuberculosis와 M. bovis는 유전체가 99.9% 유사하며, M. bovis를 M. tuberculosis의 아종으로 분류하기도 한다. 두 세균은 M. tuberculosis complex에 속하며, M. tuberculosis와 M. bovis이외에도 M. africanum, M. canettii, M. microti, M. pinnipedii 등이 있다. M. bovis는 M. tuberculosis complex중에서 가장 넓은 숙주범위를 가진다. M. bovis의 대표적인 숙주는 종이름에도 나타나 있듯이 소이다. 소결핵 전파원으로서는 M. bovis에 감염된 소가 가장 중요하다. 소 이외에도 면양, 산양, 말, 돼지, 사슴, 엘크, 영양 (antelope, kudus, elands, sitatungas, oryxes, addaxes), 개, 고양이, 흰족제비 (ferrets), 낙타, 여우, 밍크, 오소리, 쥐, 영장류, 라마, 맥 (tapirs), 코끼리, 코뿔소 (rhinoceroses), 주머니쥐, 땅다람쥐 (ground squirrels), 수달 (otters), 물개, 산토끼 (hares), 두더쥐 (moles), 너구리 (raccoons), 코요테, 사자, 호랑이, 표범, 살쾡이 (lynx) 등에 감염될 수 있으나, 대부분 종결숙주 (spillover host)로 가축의 결핵방제가 유지되고 있는 국가에서는 야생동물 결핵의 가축 전염이 문제시되고 있다. M. bovis는 주로 호흡기와 소화기를 통하여 감염되며, 결핵결절이 형성되는 부위를 관찰하면 감염경로를 추정할 수 있다. 결핵에 감염되면, 초기에는 뚜렷한 임상증상을 보이지 않으나, 아침, 추운 날씨, 또는 운동 중에 심한 기침을 하며, 호흡곤란을 일으킬 수 있다. 결핵은 감염되어도 대부분 무증상이기 때문에 피내진단, 결핵결절 병리소견, 원인균 분리 등에 의해 진단하여야 한다. 감염된 결핵균은 탐식세포에 탐식되어 특징적인 육아종성 결절 병변으로 진행된다. 현재 결핵은 피내진단과 결핵결절 병리소견 등에 의해 판정하고 있다. 최신 진단법으로는 피내진단을 대체할 수 있는 인터페론 감마 검사법과 우군의 결핵 스크리닝과 말기 결핵 검사에 우수한 항체진단법이 개발되어 있다. 그러나, 소 결핵 근절을 위해서는 일관성있는 진단법과 진단기준을 적용하는 것이 중요한 성공요인중 하나이다. 소결핵 청정국인 호주와 캐나다에서는 피내진단과 도축장 결절검사를 결핵 양성우 색출방법의 근간으로 삼고 있으며, 소결핵 근절의 최종단계에 이르러서는 특이적인 검사법을 적용하였지만, 근절목적상 민감성이 높은 피내진단법을 사용하였다. 이와 더불어, 피내진단 양성우의 부검소견과 원인균 분리를 통해 결핵을 확진하여 출처농장의 역추적 검사를 통하여 결핵 양성소를 제거하였다. 한편, 결핵의 농장간 및 지역간 전파방지를 위해 결핵 청정농장과 결핵 오염농장, 결핵 청정지역과 결핵 오염지역 구분을 통하여 결핵 오염농장과 결핵 오염지역으로부터 결핵 청정농장과 결핵 청정지역으로의 이동전 결핵 검진을 통해 개체 이동에 따른 결핵 전파를 근본적으로 차단하는 시스템을 엄격히 적용한 것이 주요한 성공 요인중 하나였다. 호주 결핵 근절정책 성공요인을 요약하면, 일관성 있는 결핵진단법 적용, 양성우 출처농장의 철저한 역추적 검사, 개체 이동전 결핵 음성증명 확인, 농가단체의 경제적 및 방역상 적극적인 지원 및 협조 결핵의 지속적인 모니터 링과 현장요구에 부응하는 방제신기술의 지속적인 연구개발 등을 들 수 있다. 최근 들어 국내 동물 결핵은 소, 특히, 한우의 결핵발생이 증가하고 있으며, 사슴 결핵발생도 증가하고 있다. 농장간 및 지역간에 결핵 감수성 가축, 특히, 소와 사슴의 거래가 아주 복잡하게 이루어지고 있는 현실을 고려할 때, 결핵전파의 주원인인 결핵감염 소나 사슴의 농장내 반입을 철저히 차단해야 할 것이다. 이때, 개체 검사는 물론이고, 출처농장에 대한 결핵 음성을 확인한 후 입식하여야 할 것이며, 입식 후에도 60일정도 격리사육하면서 피내진단등 결핵검진 후 음성인 경우에만 합사하여야 할 것이다. M. bovis는 사람을 비롯한 거의 모든 온혈동물에서 결핵을 일으킬 수 있기 때문에, 결핵 감염소로 판정된 농장 종사자는 각 시도 보건소의 협조를 받아 결핵검진을 받도록 해야 한다. 농장 가축에 접촉할 수 있는 야생동물의 접촉을 차단하여야 하며, 특히, 농장 사료의 야생동물에 의한 오염을 방지할 수 있는 사료창고관리를 철저히 해야 한다. 결핵 감염소를 다룰 때는 분비물 또는 가검물에 의해 감염될 수 있기 때문에 개인방역장비 - 방역복, 마스크, 비닐장갑, 비닐장화 - 를 착용한 상태에서 다루어야 한다. 특히, 결핵 감염소를 매몰 또는 소각하는 과정에서 결핵 감염소의 배설물 및 분비물 처리를 철저히 하여야 한다. 모든 작업을 마친 후에는 개인방역장비, 매몰 또는 소각에 사용하였던 장비 등을 청소 및 소독하고 필요시 소각 또는 매몰하여야 하며, 개인감염위험과 타인 감염위험을 방지하기 위해 노출부위를 세척하여야 한다.