• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.560-560
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• 2013

플라즈마 내의 전자 에너지 분포는 방전 특성 및 전자 가열 메커니즘에 대한 정보를 줄 수 있을 뿐만 아니라, 소자 생산 공정에서 공정 조건 제어 및 소자 품질 향상에 중요한 역할을 하는 변수이다. 그에 따라서, 반도체공정에서 널리 쓰이는 유도 결합 플라즈마 또는 용량성 결합 플라즈마 장치의 외부 변수에 따른 전자 에너지 분포 변화에 대한 연구가 많이 진행되어왔다. 본 연구에서는, 극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마 구조에서 낮은 압력의 아르곤과 산소 기체 방전에 대하여 전자 에너지 분포를 측정하였다. 극판 전압만이 인가되었을 경우에는 두 개의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정하였으나, 소량의 안테나 전력을 인가할 경우 하나의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정할 수 있었다. 이러한 분포함수의 급격한 변화는 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장의 혼재에 따른 전자 가열 효과이며, 극판에서의 전압, 전류 그리고 위상 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.222-222
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• 2011

용량성 결합 플라즈마는 반도체 및 디스플레이 공정에서 널리 쓰이기 때문에 그 방전 특성에 관한 연구는 매우 중요하다. 하지만 대부분의 연구는 상대적으로 유사한 면적을 갖는 전극 구조에서 주로 진행되어 왔다. 따라서 본 연구는 두 전극의 면적 차이가 매우 큰 비대칭 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서 방전 특성을 측정하였으며, 전력 소비 모드 전이와 플라즈마 밀도와의 상관관계에 관한 연구를 진행하였다. 인가 전력 또는 방전 전류가 증가함에 따라서 플라즈마에 전달된 전력은 초기에는 선형적으로 증가하다가 점차적으로 급격히 증가하였으며, 방전 저항은 감소하다가 증가하는 형태의 전이를 보였다. 전달 전력과 방전 저항의 변화는 용량성 결합 플라즈마에서 초기에는 대부분의 전력이 플라즈마 내의 전자에 의해 소비되다가 점차 쉬스 내의 이온의 가속 에너지로 소비되는 전력 소비 모드 전이에 의한 것이며, 이로 인해 플라즈마 밀도는 처음에는 큰 폭으로 증가하다가 그 증가 폭이 줄어들었다. 이러한 방전 특성에 관한 연구는 다양한 아르곤 압력 범위에서 인가 전력을 증가시킴에 따라서 실험하였으며, 스퍼터, 에칭 등 산업용 플라즈마 공정에서 최적의 방전 조건 형성을 위해 큰 도움이 되리라 예상된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.138-138
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• 2010

이중 주파수를 이용한 고주파 용량성 결합 플라즈마 장치는 반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 널리 사용되는 장치 형태이며 일반적으로 이온 플라즈마 주파수보다 높은 주파수의 고주파 전력과 이온 플라즈마 주파수보다 낮은 주파수의 저주파 전력을 인가하여 플라즈마 발생 밀도 및 입사 이온 에너지를 독립적으로 조절할 수 있다. 용량성 결합 플라즈마 장치에서는 전극의 쉬스 임피던스가 비선형적으로 변화함에 따라 전극의 전압, 전류 및 플라즈마 전위는 수많은 고조파를 포함하게 되며, 이중 주파수가 인가된 경우 이러한 고주파와 저주파 신호의 고조파가 상호 변조된 형태로 나타나게 된다. 본 연구에서는 주파수에 따른 이온의 거동 특성 차이를 이용하여 변조된 형태의 Lieberman의 비균일 RF쉬스 모델을 가정한 고주파 쉬스를 단순한 저주파 쉬스로 모사하였다. 단순화된 저주파 쉬스 임피던스를 이용한 회로 모델을 구성하여 100MHz와 2MHz RF전력을 사용하는 용량성 결합 플라즈마 장치에서 측정된 전극 전압, 전류 및 플라즈마 전위 신호의 위상차 및 고조파 발생 특성을 분석하였다.

• Membrane Journal
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• v.8 no.1
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• pp.50-58
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• 1998

Protein affinity membranes were prepared via coating of chitosan gel on the porous flat and hollow-fiber polysulfone membranes, followed by the immobilization of the reactive dye (Cibacron Blue 3GA) to the chitosan gel. Maximum protein binding capacity of these affinity membranes was about 70 $\mu{g/cm}^2$. Using the affinity flat membrane module, the elution chromatography of human serum albumin (HSA) was performed to determine the optimum condition of eluent buffer. The optimum condition of eluent was the universal buffer solution of 0.06 M concentration containing 1 M KCl at pH 10. For the frontal chromatography of HSA using the flat module, the dynamic protein binding capacity was rapidly decreased from the equilibrium values with increasing flow rate and HSA concentration of the loading solution. However, in the case of hollow-fiber module, the dynamic binding capacity was maintained an equilibrium value without depending on the operating conditions. These results showed that the hollow-fiber module was more effective than the flat module as an affinity chromatography column.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.558-558
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• 2013

유도 결합 플라즈마는 반도체 및 디스플레이 플라즈마 공정에서 널리 사용되고 있으며, 이때 대표적인 플라즈마 변수인, 플라즈마 밀도, 전자 온도 그리고 그들의 공간 균일도는 공정결과 및 소자 품질에 직접적인 영향을 준다. 하지만, 기존의 통상적인 유도 결합 플라즈마에서의 안테나 구조는 용량성 결합에 의한 이온 에너지 손실, 불 균일한 플라즈마 밀도 분포 그리고 높은 안테나 전압을 야기한다. 이러한 한계를 극복하기 위하여 SMP, 다중 전력 인가 대칭형 안테나를 고안하여 플라즈마 밀도의 공간 균일도 개선하였다. 구조적으로 두 개의 안테나가 수평면 상에 일정한 간격으로 중첩되며, 전기적으로 다중 전력을 인가하여 안테나 임피던스를 낮추고 안테나 전압을 방위각상 균등 배분하여 용량성 결합 문제를 저감함으로서 플라즈마의 회전방향 균일도를 개선할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.585-585
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• 2013

유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방전 구조와 고밀도 플라즈마 생성에 유리하기 때문에 산업 플라즈마 공정 장비로 널리 사용되고 있으며, 안테나에 의한 전력 전달 특성 및 방전 특성이 공정 결과에 큰 영향을 주게 된다. 이러한 유도 결합 플라즈마는 변압기 모델을 통하여 전력 전달 특성을 해석할 수 있으며, 안테나의 감은 수가 증가할수록 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 플라즈마 밀도 상승이 기대된다. 반면에, 안테나 양단 또는 챔버 벽면과의 원치 않는 용량성 결합에 의하여, 실제로 안테나 감은 수가 증가함에 따라서 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 방전 특성이 향상되지 않을 수도 있다. 본 연구는 이러한 안테나 감은 수 효과에 의한 전력 전달 효율 및 플라즈마 변수 변화에 대한 내용을 다루고 있으며, 플라즈마 변수 진단을 통하여 방전 특성을 연구하였다. 용량성결합을 최소화하기 위하여, 평형 전력 안테나를 사용하여 실험을 진행하였으며, 평형 전력이 인가되지 않은 안테나 구조에서의 안테나 감은 수에 따른 방전 특성과 결과를 비교하였다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2018.07a
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• pp.78-80
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• 2018

본 논문은 용량성 결합 플라즈마 응용 시스템을 위한 전류형 토폴로지 기반의 전력 변환장치 구조를 제안한다. 제안된 시스템은 독립적으로 제어된 두 개의 고 정밀 펄스 전류를 부하로 출력하는 병렬 연결된 전류형 전력 변환장치로 구성된다. 전체 회로 토폴로지는 네 가지 세부 부분; 바이어스 전류 발생기, 바이어스 전류 모듈레이터, 슬롭 전류 발생기, 슬롭 전류 모듈레이터로 구성되어 있다. 제안된 시스템은 빠른 과도 특성을 위해 1200V/90A급 SiC MOSFET 스위치를 사용하였다. 제안된 전력 변환장치는 4.5kV의 출력전압, 40A급 출력전류와 100ns급 전류 상승/하강 특성을 충족시키도록 설계되었다. 본 연구는 펄스 전류형 전력 변환회로를 제안함으로써 전압형 전력 변환장치에 비해 전압 스파이크 및 전압 파형 왜곡을 줄여 보다 정확한 출력 전압을 발생시킴으로써 용량성 결합 플라즈마 시스템의 안정도 및 정밀도를 향상시킬 수 있다.

• Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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• v.13 no.1
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• pp.44-49
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• 2012

The indirect-contact ECG measurement is a newly developed method for unconstrained and nonconscious measurement in daily Life. This study is the first step to reducing the large background noise appearing in indirect-contact ECG. This study built the thermal noise model of capacitively coupled active electrode which is used in indirect-contact ECG. The results show that the level of thermal noise estimated by the thermal noise model is much the same as that of actual background noise for the capacitively coupled active electrode alone. By applying the actual electrical properties of a sample cotton cloth to the thermal noise model, the theoretical level of thermal noise in the indirect-contact ECG was estimated. The results also show that the level of op-amp's intrinsic noise is so small that it can be negligible in comparison with thermal noise of resistors. The relationship between the level of thermal noise and the resistance of the bias resistor was derived, and it is the base for the further study how to choice the optimal resistance for the bias resistor.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.21 no.5
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• pp.486-493
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• 2010

This article introduces a novel ultra wideband(UWB) bandpass filter(BPF) with sharp roll-off characteristics in stripline structure. The UWB characteristic is basically obtained from capacitive coupled cross resonator. The resonator has ${\lambda}/2$ length. And at the center of the resonator, two stubs are loaded, one is a ${\lambda}/8$ short-circuited stub and the other is a ${\lambda}/8$ open-circuited stub. The two stubs provide two attenuation poles at lower and upper cutoff frequencies. For input and output lines, two identical capacitively coupled lines have been installed to suppress the unwanted signals in the lower and upper stopbands. The filter has been designed for the U.S. UWB band(3.1~10.6 GHz) with two transmission zeros at 2.4 and 11.1 GHz. The filter has been realized with Low Temperature Core-fired Ceramic(LTCC) green tape which has the dielectric constant of 7.8. Measurement results agree well with HFSS simulation results. Insertion loss less than 0.7 dB and return loss better than 14 dB in the pass band have been measured. The group delay in the center frequency is 0.27 ns and the group delay variation within pass band is less than 0.5 ns. The size of the filter is $6{\times}18{\times}0.6\;mm^3$.

• Proceedings of the Korean Society of Applied Pharmacology
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• 1995.04a
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• pp.125-125
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• 1995

Quinolone계 항균제인 rufloxacin의 전임상시험의 일환으로 항원성 유발여부를 평가하기 여부를 평가하기 위하여 아나필락시스 쇼크 반응시험, 수동 피부 아나필락시스 반응시험 및 간접 적혈구 응집 반응시험을 실시하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 기니픽을 이용한 아나필락시스 쇼크 반응시험에서 rufloxacin의 저용량투여군(1mg/body, 추정임상용량), 고용량투여군(5mg/body), 고용량혼합투여군(5mg/body mixed with Freunds' complete or incomplete adjuvant) 및 단백결합혼합투여군(rufloxacin-BSA, 1mg/body)에 있어서 아나필락시스 쇼크 반응이 관찰되지 않았다. 2. 마우스-랫드를 이용한 수동 피부 아나필락시스 반응시험에서 저용량투여군, 고용량투여군, 오용량혼합투여군 및 bovine serum albumin(BSA)과 결합시킨 단백결합혼합투여군 모두에서 음성의 반응을 나타내었다. 3. 간접 적혈구 응집 반응시험 결과 저용량투여군, 고용량투여군, 고용량혼합투여군 및 단백결합혼합투여군에서는 각군당 1-4마리에서 16-32배에서 양성반응을 나타내었다. 그러나 음성대조군에서도 10마리 중 4마리에서 16-32배에서 양성반응을 나타낸 것으로 미루어 약물투여군에서의 미약란 양성반응이 약물특이적 반응은 아닌 것으로 사료된다. 이상의 실험결과로 미루어 rufloxacin은 항체 생성능은 가지지 않는 것으로 사료된다. 이상의 실험결과를 종합하여 볼 때 ndloxacin은 전반적인 항원성 potential은 없는 것으로 사료되며 또한 생체내에서 체내 단백과 결합하여 hapten으로 작용할 가능성은 없는 것으로 사료된다.