• Title/Summary/Keyword: 온도프로파일

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Etching properties as the process parameter in high density plasma contact hole etching (고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성)

  • Kim, Gwan-Ha;Kim, Chang-Il
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.07c
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    • pp.1376-1377
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    • 2006
  • 본 연구에서는 고밀도 플라즈마 식각 시스템을 이용하여 contact hole 식각을 연구하였다. 실험은 공정 변수에 따른 식각 특성을 변화를 SEM 분석을 이용하여 보였으며 공정 압력 증가에 따른 contact hole 패턴의 하부 및 측면이 vertical 하지 못한 현상을 볼 수 있었으며 이는 과도한 라디컬 생성으로 인하여 식각 반응 부산물과 폴리머가 식각 패턴 밖으로 탈착되지 못하여 나타나는 것으로 생각되며 하부 bias 전력을 증가시킴으로써 식각 반응 부산물과 폴리머의 탈착을 도와 식각 프로파일 개선에 영향을 줌을 확인하였다. 또한, 본 장비의 낮은 전자온도 등의 특성으로 인하여 PR의 degradation 현상 등이 나타나지 않았다.

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Moving Temperature Profile Method for Efficient Three-Dimensional Finite Element Welding Residual Stress Analysis for Large Structures (대형구조물의 효율적 3차원 용접잔류응력해석을 위한 새로운 이동 온도 프로파일 방법)

  • Cheol Ho Kim;Jae Min Gim;Yun Jae Kim
    • Transactions of the Korean Society of Pressure Vessels and Piping
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    • v.19 no.2
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    • pp.75-83
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    • 2023
  • For three-dimensional finite element welding residual stress simulation, several methods are available. Two widely used methods are the moving heat source model using heat flux and the temperature boundary condition model using the temperature profile of the welded beads. However, each model has pros and cons in terms of calculation times and difficulties in determining welding parameters. In this paper, a new method using the moving temperature profile model is proposed to perform efficiently 3-D FE welding residual stress analysis for large structures. Comparison with existing experimental residual stress measurement data of two-pass welding pipe and SNL(Sandia National Laboratories) mock-up canister shows the accuracy and efficiency of the proposed method.

Internet Mornitoring with Wind-Photovoltaic Power Hybrid System (풍력-태양광 복합발전 시스템의 인터넷 모니터링)

  • Yang, Si-Chang;Moon, Chae-Joo;Chang, Young-Hak;Lim, Jung-Min;Kim, Eui-Sun
    • Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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    • 2005.11a
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    • pp.305-308
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    • 2005
  • 풍력 및 태양에너지는 기존의 화력, 수력, 원자력 발전 등을 대신할 친환경적이고 공해가 없으며 양적으로도 무한한 대체 에너지원이다. 계절적인 기상변화 특성을 이용하여 풍력 발전 시스템과 태양광발전 시스템을 상호 보완시킴으로써 안정적인 전력 공급과 에너지이용 효율의 향상을 꾀할 수 있는 풍력-태양광 복합발전 시스템에 대한 관심이 고조되고 있다. 본 연구에서는 이러한 복합 발전 시스템을 효율적이고 안정적으로 운용하기 위하여 시스템의 각종 데이터들을 수집, 분석하고 파일로 저장하며 이를 인터넷을 이용하여 원격에서도 모니터링 할 수 있는 시스템을 구축한다. 여러 가지 교류와 직류의 전압, 전류들을 비롯한 풍속, 조도, 온도 등의 물리량을 측정하기 위하여 여러 형태의 변환기를 사용하였고 신호 조절 회로를 구성하였다. 데이터 수집 보드(DAQ)를 이용하여 컴퓨터로 데이터들을 읽어 들였으며, 시스템 운용을 위한 서버 프로그램과 이를 원격지에서 실시간 모니터링 및 저장된 데이터들을 다운로드 할 수 있는 클라이언트 프로그램을 작성하였다. 측정된 데이터를 시간, 기상 등의 여러 조건과 연관하여 분석하였다.

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A Study on the Development of Noncontact Soldering Device of PV Cells Using Infrared Lamp (적외선 램프를 이용한 비접촉식 태양전지셀 솔더링 장치 개발에 관한 연구)

  • Lho, Tae-Jung;Kim, Seon-Jin;Park, Min-Yong
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.14 no.1
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    • pp.45-50
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    • 2013
  • The reflector of infrared lamp is designed to the optimal circular shape through the analyses of lumination distributions with a triangular, rectangular and circular configurations of infrared lamps respectively by using Photopia. PLC is used to compare and amplify the difference between soldering temperature profile and feedback value. It is fed to IR lamp controller which adjusts the soldering temperature of PV cell. The soldering temperature measured using an infrared temperature sensor is then fed back to the PLC. The closed control loop of soldering temperature on a PV cell is implemented. The noncontact soldering device of PV cells using infrared lamp which is easily operated by HMI operation panel and controlled robustly by PLC and IR lamp controller is developed.

Development of User Friendly Tool for Monitoring TCP Packet on IPv6 (IPv6상의 TCP 패킷 모니터링을 위한 사용자 친화적 도구 개발)

  • 설순욱;이종국;김명철;마중수
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 1999.10c
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    • pp.466-468
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    • 1999
  • 현재 인터넷 프로토콜인 IPv4의 주소 부족 등의 문제를 해결하기 위해 차세대 인터넷 프로토콜 IPv6에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 새로운 프로토콜 IPv6 상에서 기존의 다른 상위 프로토콜 및 응용이 어떠한 영향을 받게 될지는 의문이다. 한편, IPv6 상에서 새로운 프로토콜 및 응용을 개발할 때에 많은 시험이 요구된다. 이와 같은 이유로 인해 새로운 통신 프로토콜에 있어서 모니터링은 필수적이다. 그러나 지금까지의 많은 모니터링 라이브러리들은 텍스트에 기반하고 있으며, 그래픽 데이터를 제공하는 도구들도 대부분 통계정보의 제공에 초점을 두고 있다. 이를 두고 프로토콜이 그 표준에 따라 정확한 원리에 맞게 동작하는 지를 파악하는 데는 큰 도움이 되지 않고 있다. 이에 본 연구에서는 대상 프로토콜의 실제적인 동작 과정이나 원리를 알 수 있도록 그래픽 기반의 사용자 친화적 모니터링 도구를 제작한다. 이를 위해, 먼저 IPv6가 다른 프로토콜에 영향을 미칠 수 있는 사항들을 분석한다. 다음으로 본 교에 구축되어 있는 IPv6 호스트에 모니터링에 필요한 환경을 구축하고, Java Applet을 이용한 모니터 프로그램을 제작한다. 현재 개발하는 모니터 프로그램은 TCP의 슬라이딩 윈도우(Sliding Window) 기법에 관련된 사항을 모니터링 해주는 것으로 그 범위를 한정한다. 개발된 도구를 이용하여 IPv6 상에서 FTP가 TCP를 이용하여 파일을 전송하는 경우의 모니터링을 실시하고, 그 결과를 분석 제시한다. 이로써, 개발된사용자 친화적 모니터링 도구가 얼마나 쉽게 슬라이딩 윈도우 기법을 이해시켜 주고, 내포된 의미를 파악할 수 있게 해주는지를 알 수 있다.한 것으로 연구되었다. 정상조 직에 비해 산소가 부족하여 염기성대사(anaerobic metabolism)를 많이 함으로 그 부산물인 유산 (lactic acid)이 많이 생성됨으로 정상조직보다 pH가 낮아 암 조직이 정상조직에 비해 고온온열치료에 더 잘 듣는 원인이 된다. 3) 영양이 부족한 상태의 세포는 고온온열치료에 훨씬 예민하다. 4) 암조직은 혈관상태가 정상조직에 비해 좋지 않음으로 정상조직보다 쉽게 가온이 되며, 일단 가온된 온도는 잘 식지 않음으로 정상조직에 비해 훨씬 효율적이다. 5)고 온온열치료는 4$0^{\circ}C$~43.5 $^{\circ}C$정도에서만 이 작용이 일어남으로 정상인체에서 43$^{\circ}C$이상의 가온 은 쉽지 않음으로 이 효과는 암조직에서 주고 일어나게 된다. 6)고온온열치료는 방사선치료 후에 생기는 손상의 재생을 억제함으로 방사선의 치료효과를 높인다. 7)38.5$^{\circ}C$~41.5$^{\circ}C$의 낮 은 온도에서도 암조직의 산소 상태를 호전시켜 방사선 치료효과를 증대시키는 역할을 한다.alization)가 나타난다. 그러나 무의식에 대칭화만 있는 것은 아니며, 의식의 사고양식인 비대칭도 어느 정도 나타나며, 대칭화의 정도에 따라, 대상들이 잘 구분되어 있는 단계, 의식수준의 감정단계, 집단 내에서의 대칭화 단계, 집단간에서의 대칭화 단계, 구분이 없어지는 단계로 구분하였다.systems. We believe that this taxonomy is a significant contribution because it ad

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Temperature-compensated Resistivity Probe - Development and Application (온도보상형 전기비저항 프로브 - 개발 및 적용)

  • Jung, Soon-Hyuck;Yoon, Hyung-Koo;Lee, Jong-Sub
    • Journal of the Korean GEO-environmental Society
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    • v.12 no.1
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    • pp.51-60
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    • 2011
  • Electrical resistivity is applied for understanding details about layers and obtaining basic properties of soils to various measurement devices. The objective of this study is development of TRP(Temperature-compensated Resistivity Probe), analysis about effects of temperature changes during cone penetration test, and observation of characteristics of cone penetration. In order to observation of temperature changes according to a diameter difference of resistivity cone probe, the cone which has wedge type cone tip is made to two types, 2mm and 5mm. Temperature sensor is attached at 15mm below from cone tip because of an electrical interference with elecrical resistance probe. Delectrical connector is used to prevent electric disturbance between motor type penetrating machine and electrical resistivity cone probe. Application tests are carried out in acrylic cell whose diameter is 30cm with uniform Jumunjin sand according to densification caused by blows. The test results indicate that the temperature is increased uniformly during penetration and a tendency, characteristics of cone penetration, is discovered during altering state of soils. This study suggests that the temperature effects and characteristics of penetration should be considered in penetrating tests in order to conduct an accurate ground investigation using TRP(Temperature-compensated Resistivity Probe).

A Study of the Fiber Fuse in Single-mode 2-kW-class High-power Fiber Amplifiers (단일 모드 2 kW급 고출력 광섬유 증폭기 내의 광섬유 용융 현상에 관한 연구)

  • Lee, Junsu;Lee, Kwang Hyun;Jeong, Hwanseong;Kim, Dong Jun;Lee, Jung Hwan;Jo, Minsik
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.31 no.1
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    • pp.7-12
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    • 2020
  • In this paper, we experimentally investigate the fiber fuse in single-mode 2-kW-class high-power fiber amplifiers, depending on the cooling method at the splicing point. We measured the temperature of the splicing point between the pump-signal combiner and gain fiber as a function of laser output power. The temperature of the splicing point increased from 20 to 32℃ with a slope of 0.01℃/W, up to 1.2 kW of laser output power. At higher powers the temperature of the splicing point increased dramatically, with a slope of 0.08℃/W. After that, the fiber amplifier was destroyed during operation at 1.96 kW of output power by fiber fuse. The bullet shape, a common feature of fiber fuse, was observed in the damaged passive fiber core of the pump-signal combiner. Later, we adopted an improved water-cooled cold plate to increase the cooling efficiency at the splicing point, and investigated the laser output power. The temperature at the splicing point was 35.8℃ with a temperature-rise slope of 0.007℃/W at the maximum output power of 2.05 kW. The beam quality M2 was measured to be less than 1.3, and the output beam's profile was a stable Gaussian shape. Finally, neither fiber fuse nor mode instability was observed in the fiber amplifier at the maximum output power of 2.05 kW.

An Experiment for determining Electrical Conductivity in Modelholes using Continuous Measurement System (공내수 전기전도도의 자동측정시스템 구축을 위한 실험)

  • 김영화;박정빈;임헌태
    • The Journal of Engineering Geology
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    • v.13 no.3
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    • pp.281-292
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    • 2003
  • We setup a continuous measurement system for electrical conductivity of fluid in a model borehole and verified the basic environments in electrical conductivity measurement for estimating hydraulic constants. The experiment was made by monitoring the conductivity change within the hole using NaCI solution of different salinities and incoming formation fluid using distilled water. The experiment was made under the state of constant flow rate by maintaining balance between inflow and outflow. Conductivity variation features were observed by controlling salinity contrasts and temperature differences between fluid within the hole and incoming formation fluid. flow rate and the location of inlet and outlet. The results of the experiment show well the role of each affecting factor on the conductivity distribution. and suggest appropriate environments for conductivity measurements. It is considered that the basis of the conductivity measurement for henceforward laboratory model and/or in-situ borehole experiment has been prepared.

Cluster analysis with Korean weather data: Application of model-based Bayesian clustering method (한국 기상자료의 군집분석: 베이지안 모델기반 방법의 응용)

  • Joo, Yong-Sung;Jung, Hyung-Joo;Kim, Byung-Jun
    • Journal of the Korean Data and Information Science Society
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    • v.20 no.1
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    • pp.57-64
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    • 2009
  • In this paper, 30 main cities are clustered based on precipitation, temperature, wind speed, photo period, and humidity. We found that the resulting clusters has strong relationships with geographical locations. These results make sense because, although Korea is a small country, Korean weather is known to have strong locality. The largest number of clusters is found when wind speed is used as an interested variable for clustering and the smallest number of clusters is found when photo period is used. The large number of clusters based on wind speed indicates that wind speed is affected easily by local geography.

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Scanning System Method for Calculating Ion Flux in Plasma Etching Simulation (플라즈마 식각 시뮬레이션을 위한 스캔 방식의 이온 플럭스 계산 방법)

  • Shin, Sung-Sik;Yu, Dong-Hun;Gwun, Ou-Bong
    • Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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    • v.50 no.10
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    • pp.124-131
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    • 2013
  • The most important thing in Plasma simulation is the etching process in which etch rate is calculated based on feature profile. Although there are various components to consider in calculating etch rate such as Ion Flux, Neutral, gas, and temperature, Addressing of this paper is limited to Ion Flux. This paper propose a scan method to compute Ion Flux faster for Plasma simulation. Also, this paper experiments and compares generally used Monte Carlo method and the proposed method based on gaussian and cosine distribution. Lastly, this paper proves that the proposed method can calculate accurate Ion Flux more efficiently than Monte Carlo method.