• Title/Summary/Keyword: 온도분포 균일도

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Analysis of temperature distribution of wafers inside LPCVD chamber for improvement of thickness uniformity (두께 균일도 향상을 위한 LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 분포 분석)

  • Kang, Seung-Hwan;Kim, Byeong Hoon;Kong, Byung Hwan;Lee, Jae Won;Ko, Han Seo
    • Journal of the Korean Society of Visualization
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    • v.14 no.2
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    • pp.25-30
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    • 2016
  • The wafer temperature and its uniformity inside the LPCVD chamber were analyzed. The temperature uniformity at the end of the wafer load depends on the heat-insulating cap. The finite difference method was used to investigate the radiation and conduction heat transfer mechanisms, and the temperature field and heat diffusion in the LPCVD chamber was visualized. It was found that the temperature uniformity of the wafers could be controlled by the size and distance of the heat-insulating cap.

Distribution of Grown-in Defects in the Fast-pulled Czochralski-silicon Single Crystals (고속 인상 초크랄스키 실리콘 단결정에서 성장 결함 분포)

  • 박봉모;서경호;오현정;이홍우;유학도
    • Korean Journal of Crystallography
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    • v.14 no.2
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    • pp.84-92
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    • 2003
  • The fast pulling is easy to modify the distribution of grown-in defects toward fine size, which can be readily removed by additional treatment. In this experiment, The fast pulled crystals with high pulling late over 1.0 mm/min were grown and their grown-in defect distributions were investigated. In our recent developments in the growth of Cz-Si, it could be found that the cooling rate in a specific temperature range and the uniformity of temperature gradient at solid/liquid interface are more important for the formation of grown-in defect than the pulling rate itself. We analyzed these cooling rates and temperature gradients for the various fast pulled crystals and compared them to the observed formation behavior of the grown-in defects. The effective factor (Ω) for the void defect formation was introduced and it could explain the radial distribution of void defects in the fast-pulled crystals effectively.

Formation of Aluminum Etch Tunnel Pits with Uniform Distribution Using UV-curable Epoxy Mask (UV-감응형 에폭시 마스크를 사용한 균일한 분포의 터널형 알루미늄 에치 피트 형성 연구)

  • Park, Changhyun;Yoo, Hyeonseok;Lee, Junsu;Kim, Kyungmin;Kim, Youngmin;Choi, Jinsub;Tak, Yongsug
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.24 no.5
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    • pp.562-565
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    • 2013
  • The high purity Al foil, which has an enlarged surface area by electrochemical etching process, has been used as an anode for an aluminum electrolytic capacitor. Etch pits are randomly distributed on the surface because of the existence of surface irregularities such as impurity and random nucleation of pits. Even though a large surface area was formed on the tunnel-etched Al, its applications to various fields were limited due to non-uniform tunnel morphologies. In this work, the selective electrochemical etching of aluminum was carried out by using a patterned mask fabricated by photolithographic method. The formation of etch pits with uniform distribution has been demonstrated by the optimization of experimental conditions such as current density and etching solution temperature.

케로신/액체산소 다단연소 사이클 로켓엔진용 산화제 과잉 예연소기 기술

  • Mun, Il-Yun;Yu, Jae-Han;Ha, Seong-Eop;Mun, In-Sang;Lee, Su-Yong
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.37 no.2
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    • pp.151.2-151.2
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    • 2012
  • 터보펌프 구동에 사용된 가스발생기 생성가스를 연소기로 공급하여 주추력 발생에 사용하는 다단연소 사이클 로켓엔진은 고추력을 요하는 우주 발사체에 널리 사용되고 있다. 다단연소 사이클 로켓엔진에 사용되는 가스발생기를 예연소기라 부르며 케로신과 액체산소를 추진제로 하는 다단연소 사이클 로켓엔진에는 산화제 과잉 예연소기가 사용된다. 예연소기는 터보펌프 구동을 목적으로 하기 때문에 예연소기 생성가스의 횡단면 온도분포는 터빈에 의해 제한되는 온도범위 내에서 균일하여야 하며 넓은 운전영역에서 안정적인 연소가 이루어져야 한다. 산화제 과잉 예연소기는 모든 추진제가 혼합헤드를 통해 분사되는 방식과 추진제를 혼합헤드와 연소실로 나누어 공급하는 방식이 있다. 기술검증을 위해 산화제 일부와 연료를 혼합헤드를 통해 연소실에 공급하여 1차 연소시키고 나머지 산화제를 연소실 냉각채널을 거쳐 연소실 중앙의 분사공을 통해 연소실로 주입하여 기화시키는 형태로 최종적으로 연소압 20MPa, 혼합비 60에서 작동하는 산화제 과잉 예연소기를 설계하여 연소시험을 수행하였다. 혼합헤드에는 별도의 점화용 분사기 없이 전체 연료 분사기를 통해 점화용 연료인 TEA/TEB 혼합물을 분사하여 점화하였다. 추진제를 2단으로 공급할 수 있도록 고안된 가압식 연소시험 설비에서 10회, 누적 60초 이상의 연소시험이 성공적으로 수행되었다. 연소시험결과 넓은 작동영역에서 안정적 연소특성과 생성가스 온도 분포의 균일성을 확인할 수 있었다. 고온 고압의 산화제 과잉 예연소기 기술 확보를 통해 케로신/액체산소 다단연소 사이클 로켓엔진 개발을 위한 기술적 기반을 마련하였다.

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Numerical Study for Flow Uniformity in Selective Catalytic Reduction (SCR) (SCR 반응기 유동 균일화를 위한 수치적 연구)

  • Jung, Yu-Jin;Hong, Sung-Gil;Lee, Gang-Woo;Shon, Byung-Hyun
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.151-154
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    • 2011
  • $NO_x$ 제어 기술로는 크게 연소 전 탈질, 연소 개선 및 연소 후 탈질 기술로 구분할 수 있으며, 연소 후 탈질 기술에 속하는 SCR은 촉매를 사용하여 $NO_x$를 환원하는 대표적인 배연탈질기술이다. SCR의 $NO_x$ 저감 성능은 촉매 요인(촉매 구성물질, 형태, 공간속도 등)과 배가스의 온도, 유속 분포, 공정 운전 조건 등의 다양한 인자에 의해 좌우되는데 특히, 촉매층으로 유입되는 유동의 균일도는 가장 중요한 요소가 된다. 유동이 균일하지 않을 경우 촉매 전단에 편류가 발생하게 될 것이며 일정 촉매만 사용하게 되어 촉매 사용주기 감소 및 SCR 성능 저하를 초래할 수 있기 때문이다. 본 연구에서는 3차원 수치 해석 기법을 이용하여 설계 초기의 SCR 반응기 내 유동 특성을 모사하여 기류 균일도 여부를 확인하고, SCR 내 유동 균일도를 최적화시키기 위한 설계를 목적으로 설치하는 가이드 베인과 배플, 다공판이 반응기 내부 유동 및 촉매층의 기류 균일도에 미치는 영향에 대하여 연구를 수행하였다. 그 결과, 유동 개선을 위해 인입 덕트 곡관부에 가이드 베인을 설치하여 처리가스를 적절하게 배분시키고, 반응기 상단에 3단 배플을 설치한 결과 반응기 내부 유동의 편류 개선에 매우 효과적임을 알 수 있었다. 또한 다공판을 예비 촉매층 하단부 위치에 추가로 설치함에 따라 유동을 한번 더 완충시킬 수 있어 기류 균일도가 매우 양호해짐을 알 수 있었다.

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A Study on the Warpage of Injection Molded Parts for the rapid Cooling and Heating Device (급속냉각·가열장치에 따른 사출성형품의 휨에 관한 연구)

  • Lee, Min;Kim, Tae-Wan
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.8
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    • pp.5074-5081
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    • 2015
  • A method for improving the warpage of the plastic part is a method of removing residual stress of the plastic product. that a non-uniform cooling are appeared in the injection molding process make uniform cooling. this study was developed the Rapid heating and cooling device used peltier module for uniform cooling. Make the Rapid heating and cooling device(RCHD), for Traditional water cooling device(TWCD) method and the Rapid heating and cooling method warpage were compared and were analyzed and the materials used amorphous ABS polymer. various warpage were compared for the process parameters such as packing pressure, packing time, resin temperature, mold temperature, In the amorphous ABS polymer, TWCD method has higher warpage than RCHD method and show the result to be a bit more uniform cooling. The distribution state of the ABS polymer was confirmed Through the Scanning electron microscope. In the TWCD method the distribution state of the polymer be densely distributed, and RCHS method be distributed wider than TWCD method. this is that injection molded parts be seen that cooling was made uniformly, As the temperature of the mold is gradually progress, Particles of the polymer is increased this is that internal stress was reduced.

Combustion Performance Tests of Fuel-Rich Gas Generator for Liquid Rocket Engine at Design Point (액체로켓엔진용 가스발생기의 연소성능시험)

  • Han, Yeoung-Min;Kim, Seung-Han;Moon, Il-Yoon;Kim, Hong-Jip;Kim, Jong-Gyu;Seol, Woo-Seok;Lee, Soo-Yong;Kwon, Sun-Tak;Lee, Chang-Jin
    • 한국연소학회:학술대회논문집
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    • 2003.12a
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    • pp.125-130
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    • 2003
  • 본 논문에서는 액체로켓엔진에서 터보펌프의 160kW급 터빈을 구동하고, 액체산소와 케로신을 추진제로 사용하는 가스발생기의 설계점 연소성능시험 결과에 대해 논의하였다. 충돌형 F-O-F 인젝터, 물냉각 채널을 가진 연소실, torch ignitor, turbulence ring 그리고 측정 링을 갖는 가스발생기에 대해 기술하였고, 점화, 연소, 종료 등의 시험 cyclogram에 대해 언급하였다. 설계점에서의 연소시험 및 turbulence ring 장착여부, 연소실 길이 변화에 따른 연소시험의 결과들에 대해 기술하였다. 연소시험 결과 가스발생기는 설계점에서 안정된 작동성을 보여주었고, 연소압력 및 온도 등의 성능이 예측치에 근접하는 결과를 보여 주었다. Turbulence ring은 출구에서의 가스온도를 균일하게 분포시켜 효과적인 혼합 장치임을 보여 주었고, 4-6msec 정도에서의 잔류시간에서는 연소효율의 차이가 크지 않음을 알 수 있었다. 가스발생기 출구에서의 온도는 공급되는 추진제의 O/F ratio에 따라 매우 민감하게 반응함을 알 수 있었다.

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Manufacture and Characteristics of Heat Conductive Blocks for Chemical Heat Pump (화학열펌프용 열전도성 블록의 제조)

  • 한종훈;조길원;이건홍
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1995.05a
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    • pp.230-235
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    • 1995
  • 염-암모니아계 화학열펌프기술의 핵심인 전도성 블록의 특성파악을 위한 기초단계 연구로서 전도성 블록의 제조 및 기초물성분석에 관한 연구를 수행하였다. 황산이 함유된 천연흑연을 열처리하여 팽창흑연을 준비하고 특성을 분석하였다. 이 팽창흑연을 압축, 성형하여 흑연지지체를 제조하였으며, 성형된 지지체에 진공기법을 이용하여 염을 함침하고 건조과정을 거쳐 전도성 블록을 제조하였다. 전도성 블록의 특성분석으로서 염의 입자내에 분산정도는 EPMA/EDS, 기공율 및 기공크기 분포는 헬륨침투법과 수은 침투법, 기체투과도는 Darcy's law를 적용하고, 열전도도 측정은 전이 일차원 열류기법을 이용하였다. 전도성 블록이 암모니아와 반응 했을때 부피팽창을 관찰하였으며, 반응기에서 전도성블록의 온도분포를 관찰하였다. 본 연구에서 제조된 블록은 염이 균일하게 분산되어 있었으며 기공율은 제조조건에 따라 0.4 ∼ 0.83, 기체투과도는 0.01 ∼ 10 Darcy, 열전도도는 흑연지지체의 겉보기 밀도가 110 kg/㎥ 인 경우, 반지름방향의 열전도도, λr은 20 W/mK, 축방향의 열전도도, λa는 17 W/mK 이였다. 겉보기밀도가 150 kg/㎥ 인 경우, λr은 22 W/wK, λa는 20 W/wK 이였다. 전도성 블록의 부피팽창은 비가역적이었으며 대부분이 반지름 방향보다 축방향에서 팽창이 일어났다. 온도분포는 초기 반응의 kinetics가 내부온도를 지배하였으나, 시간이 경과후 반응기 내부온도는 외부열전달에 의해 지배되었다.

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The effect of gap between ingot and crucible on the distribution of initial melt concentration in Bridgman crystal growth (Bridgman 결정성장시 장입 주괴와 도가니 사이의 틈이 용액이 초기농도에 미치는 영향)

  • Seung-Mo Chung;Man-Sug Kang;Zin-Hyoung Lee
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.4 no.2
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    • pp.169-177
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    • 1994
  • Dilute Al-Cu and Al-Mg alloys were solidified unidirectionally upward by Bridgman method. It is necessary that solute concentration of initial melt is uniform to be able to control the concentration of crystal. When solute concentration is not uniform, it can cause unusual macro-segregation in grown solid. A non-steady state solidification was observed where the solute concentration in the grown solid decreased with the progress of solidification, when a dilute Al-Cu melt with positive axial temeprature gradient was solidified. This was caused by leaking out of Cu-rich melt into the gap between ingot and crucible during melt-down and its sedimentation after complete melting. In the case of Al-Mg alloy, the solute concentration has a minimum in the middle of grown specimen because Mg-rich melt flowed down the gap between ingot and crucible and floated after complete melting. Uniform initial melt concentration can be achieved by the homogenization of the ingot or by the absence of the gap between ingot and crucible.

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Analysis of Anisotropic Turbulent Heat Transfer in Nuclear Fuel Bundles (핵연료 집합체내의 비등방성 난류 열전달에 관한 해석적 연구)

  • Kim, Sin;Park, Goon-Cherl
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.20 no.1
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    • pp.35-46
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    • 1988
  • The prediction of clad surface temperatures is important to the design and the safety anlaysis of nuclear reactor. The accurate prediction requires the detailed knowledge of the flow structure and heat transfer, which is complicate due to anisotropic turbulent phenomena. A two-equation model including anisotropic eddy viscosity model is applied to forecast the velocity distribution. And the temperature field is calculated with uniform wall heat flux. The Galerkin's weighted residual finite element method has been used to calculate the turbulent quantities right up to the wall. The numerical results show good agreement with available data and that turbulence anisotropy strongly affects on the mean flow and thus the temperature field. And Nu-P/D correlation is established for sodium coolant in close-packed equilateral triangular bundle in the P/D range of 1.05 to 1.30.

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