• Title/Summary/Keyword: 온도분포특성

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MOSFET 구조내 $HfO_2$게이트절연막의 Nanoindentation을 통한 Nano-scale의 기계적 특성 연구

  • Kim, Ju-Yeong;Kim, Su-In;Lee, Gyu-Yeong;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.317-318
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    • 2012
  • 현재의 반도체 산업에서 Hafnium oxide와 Hafnium silicates같은 high-k 물질은 CMOS gate와 DRAM capacitor dielectrics로 사용하기 위한 대표적인 물질에 속한다. MOSFET (metal oxide semiconductor field effect transistor)구조에서 gate length는 16 nm 이하로 계속 미세화가 연구 중이고, 또한 gate는 기존구조에서 Multi-gate구조로 다변화가 일어나고 있다. 이를 통해 게이트 절연막은 그 구조와 활용범위가 다양해지게 될 것이다. 동시에 leakage current와 dielectric break-down을 감소시키는 연구가 중요해지고 있다. 그러나 나노 영역에서의 기계적 특성에 대한 연구는 전무한 상태이다. 따라서 복잡한 회로 공정, 다양한 Multi-gate 구조, 신뢰도의 향상을 위해서는 유전박막 물질자체와 계면에서의 물리적, 기계적인 특징의 측정이 상당히 중요해지고 있다. 이에 본 연구는 Nano-indenter의 통해 경도(Hardness)와 탄성계수(Elastic modulus) 등의 측정을 통하여 시료 표면의 나노영역에서의 기계적 특성을 연구하고자 하였다. $HfO_2$게이트 절연막은 rf magnetron sputter를 이용해 Si (silicon) (100)기판위에 박막형태로 증착하였고, 이후 furnace에서 질소분위기로 온도(400, 450, $500^{\circ}C$)를 달리하여 20분 열처리를 하였다. 또한 Weibull distribution을 이용해 박막의 characteristic value를 계산하였으며, 실험결과 열처리 온도가 $400^{\circ}C$에서 $500^{\circ}C$로 증가함에 따라 경도와 탄성계수는 7.4 GPa에서 10.65 GPa으로 120.25 GPa에서 137.95 GPa으로 각각 증가하였다. 이는 재료적 측면으로 재료의 구조적 우수성이 증가된 것으로 판단된다.

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A Study on the Characteristics of Heat Flux on the Floor in a Compartment Fire (화재실 화재에서 바닥면의 열유속 특성연구)

  • Kim, Sung-Chan;Ko, Gwon-Hyun
    • Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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    • 2010.10a
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    • pp.231-234
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    • 2010
  • 본 연구는 화재조건에 따른 화재실 바닥면에서의 열유속특성을 파악하기 위해 ISO-9705 표준화재실의 40% 축소모형공간에 대하여 화재실험을 수행하고 화재성상에 따른 열유속변화와 공간적 분포를 분석한다. 또한 모형실험에서 계측된 열유속을 Scaling Law를 적용하여 실규모 크기의 결과로 환산하고 이를 기존의 다른 연구결과와 비교분석함으로써 화재발생으로 인한 공간내 열유속의 축소법칙의 적용성을 파악하고자 한다. 실험에 사용된 연료는 천연가스, 메탄올, 에탄올, 헵탄, 톨로엔, 폴리스틸렌등이며 모형실험의 최대발열량은 450 kW 정도로 실규모로 환산시 약 4.4 MW이다. 실험결과 화재실바닥면의 열유속은 연층의 온도와 연료의 종류에 따라 차이를 보였으나 측정위치별 차이는 크지 않았으며 Scaling Law를 적용한 결과 화재실 상층부 온도가 약 $500{\sim}600^{\circ}C$ 정도에서 바닥면의 열유속은 약 $20kW/m^2$ 정도로 기존연구와 유사한 경향을 보였다. 본 연구는 화재공간 내 열유속 측정을 통해 전실화재로의 화재성장을 파악하고 화재실내부의 열적특성을 분석하기 위한 기초적인 자료를 제공하고자 한다.

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Spray Characteristics of Superheated Swirl Spray Vertically Introduced into Convective Cross-flow (대류유동으로 수직 분사된 과열 와류분무의 분무특성)

  • Lee, Hae-Cheon;Yoon, Woong-Sup
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2010.11a
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    • pp.395-398
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    • 2010
  • 감압비등에 의한 미립화는 더 미세한 직경의 액적을 얻을 수 있고, 분무각이 증가하며, 더 좋은 혼합특성을 갖는 다는 점에서 단순 압력식 미립화와 차이가 난다. 감압비등이란 과열된 액체를 포화 압력 이하의 대기 중으로 분사하여 급격한 비등에 의해 이루어지는 미립화이다. 본 연구는 금속 연료를 이용한 추진기관의 산화제인 물 공급기술에 감압비등과정을 이용한 와류분무를 적용시키기 위해 수행됐다. 분열길이와 같은 거시적 특성은 Charge-Couple Device(CCD) 카메라를 이용해 측정하였고, Sauter Mean Diameter(SMD)와 SMD분포와 같은 미시적 특성은 Global Sizing Velocimetry(GSV) 시스템을 이용해 측정했다. 실험은 압력과 온도, 대류 속도를 변화시키며 진행했다.

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광과 온도가 미국자리공(Phytolacca americana L.) 실생 출현과 종자 발아에 미치는 영향

  • 박범진;박용목
    • Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.259-260
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    • 2003
  • 분포가 확대되어 가고 있는 미국자공의 서식지 환경요인과 발아특성을 조사하였다. 그 결과 광의 구배에 따른 기온의 차는 없었으나, 지온의 일교차는 상대조도에 따라 아주 다르게 나타났다. 실생 출현은 100%에서 150개체가 출현하였고, 33%에서는 80개체가 출현하였지만 8%에서는 출현하지 않았다. 2002년 채집되어진 종자는 광조건에 관계없이 항온에서 거의 발아하지 않았으나 광조건하의 변온에서는 발아율이 70%, 암조건하의 변온에서는 25%의 발아율이 보였다. 미국자리공의 발아는 광조건보다 지온변화에 보다 직접적으로 영향을 받는 것으로 판단된다.

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Application of high temperature air combustion for improvement of thermal efficiency of oxide furnace (산화로의 열효율 향상을 위한 고온공기 연소 적용연구)

  • 이현찬;유현석;이중성
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.3-7
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    • 2002
  • 보일러 분야에 비해 요ㆍ로 분야는 로내 온도분포, 피가열물의 물리적 특성, 고열에 의한 열처리 등으로 인해 상대적으로 공정개선, 폐열회수율 등이 떨어지는 설비이다. 이에 일본, 미국, 유럽 등 선진국에서는 90년 초부터 연소배가스의 폐열을 적극적으로 회수하여 연소시키는 고온공기연소기술을 개발하여 상용화하였다.(중략)

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나주지역 대기중 벤젠의 계절별 농도 분포 특성

  • 김조천;김기준
    • Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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    • 2000.05a
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    • pp.99-101
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    • 2000
  • 본 연구에서는 교외지역인 전남 나주에 소재한 동신대학교 1공학관 주변의 환경 대기중의 VOC중 벤젠을 계절별로 그 농도를 비교해 보았다. 그 결과 첫째, 벤젠과 톨루엔의 계절별 농도 평균값이 봄(늦봄), 여름, 가을 순으로 농도가 높게 나타나 온도에 상대적으로 많은 영향이 있음을 알 수 있었다. 둘째, 나주지역의 벤젠농도가 여천지역이나 서울지역에 비해 봄에 8배, 3배 그리고 여름철에 14배, 5배 정도로 각각 낮게 나타나 나주 지역이 비교적 청정지역임을 알 수 있었다.

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Numerical Analysis of Air Flows inside Korean Traditional House (한국 전통 가옥 내부 기류 전산 해석)

  • Kim, Jae Won;Ahn, Eun Young
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.469-471
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    • 2010
  • 본 연구는 한국전통건축 중 한옥을 중심으로 건축설계물 내부의 기류현상을 분석하여 전통건축의 설계에 있어서 에너지 효율을 높이기 위한 방안을 과학적으로 검증하고자 하는 것이다. 이를 위해서 전통 건축물의 주요부재에 관한 열역학적 물성치를 대표 값으로 설정하고 물성치의 변화를 실험 결과를 활용하여 보정하여 한옥 내부의 유동장과 온도분포 예측하여 그 결과를 제시한다. 이를 통해 건축 부재의 열역학적 특성이 현대의 다양한 기능재료에 비해 열악할지라도 이를 부재간의 배치와 조합을 통해 소정의 에너지 효율을 달성한 사례를 규명할 것이다.

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Infrared Thermography in Human Hand (적외선 열 특성 지수를 이용한 손 온도 분포 해석)

  • Kim, Eun-Jung;Shin, Seung-Won;Kim, Kyeong-Seop
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.04a
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    • pp.39-41
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    • 2006
  • It is important to estimate the hand skin temperature because it reveals not only physiological properties of a certain diseases but also it can estimate even human mental-stress conditions. In this study, we try to estimate the temporal skin temperature distribution of human hand by applying stress-cold test to possibly apply to estimate a subject's blood circulation condition in his or her hand in terms of normal or abnormal state.

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Analysis oil the Thermal Characteristics of the Spindle with High Frequency Motor according to the Cooling Methods (고주파 모터 내장형 주축의 냉각에 따른 열특성 해석)

  • 김수태;최대봉;조환석
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2002.10a
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    • pp.969-974
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    • 2002
  • Thermal characteristics according to the cooling methods are studied for the three type spindles with high frequency motor. For the analysis, three dimensional mode]s are built considering heat transfer characteristics such as natural and force convection coefficients. Unsteady-state temperature distributions and thermal deformations according to the cooling conditions are analyzed by using the finite element method.

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