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마이크로 박막 센서의 기술동향

  • 오명환;주병권
    • 전기의세계
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    • 제41권2호
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    • pp.6-11
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    • 1992
  • 본고는 일본 Paress Journal사에서 간행된 <'90박막응용전자 디바이스) 지[1] 및 최근의 마이크로 센서 관련 보고[2-4]들을 토대로 박막형 마이크로 센서의 최신 관련기술 및 연구동향을 요약, 정리한 것이다.

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