전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 $CF_4+H_2$ 가스 방전시 Appearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구
(Behaviors of Atomic Fluorine and Fluorocarbon Radicals in $CF_4+H_2$ Electron Cyclotron Resonance Plasma Employing Actinometry and Appearance Mass Spectrometry)
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- 한국진공학회지
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- 제4권4호
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- pp.417-424
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- 1995