• Title/Summary/Keyword: 열화학기상증착법

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열화학기상증착법을 이용한 수직 정렬된 탄소나노튜브의 합성에서 성장압력이 영향

  • Park, Sang-Eun;Song, U-Seok;Kim, Yu-Seok;Kim, Seong-Hwan;Lee, Su-Il;Park, Jong-Yun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.569-569
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    • 2012
  • 탄소나노튜브(carbon nanotubes)의 우수한 전기적, 물리적 특성으로 인해 트랜지스터, 태양전지, 고감도 센서, 나노 섬유, 고분자-탄소나노튜브 고기능 복합체 등 다양한 분야에서 이를 응용하려는 노력이 활발히 진행되고 있다. 흥미롭게도 탄소나노튜브는 구조적인 특성 (직경, 밀도, 벽의 수)에 따라 각기 다른 비표면적, 열 전도성, 전기 전도성, 접촉각, 전계방출 특성을 지닌다고 보고되고 있다. 따라서 다양한 분야의 응용을 위해서는 구조적인 특성 제어가 핵심적인 요소라고 할 수 있다. 본 연구에서는 열화학기상증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용하여 수직 정렬된 탄소나노튜브를 합성 하였다. 합성과정에서 압력의 변화가 탄소나노튜브의 밀도와 길이에 큰 영향을 미친다는 것을 확인하였고, 이러한 현상을 이해하기 위해 두 가지의 가능성을 고려하였다. 첫째는 압력의 변화에 따른 촉매의 형성 변화 가능성이며, 둘째는 탄화수소가스의 유입양의 변화에 따른 영향이다. 분석 결과, 동일한 압력에서 탄화수소가스의 부분압을 변화시켜 실험한 결과로부터 탄화수소의 유입양의 변화가 합성된 탄소나노튜브의 밀도에 큰 영향을 미치고 밀도가 높은 경우 길이가 긴 탄소나노튜브가 합성되는 것을 확인할 수 있었다.

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Growth of Highly Purified Carbon Nanotubes by Thermal Chemical Vapor Deposition (열화학기상증착법에 의한 고순도 탄소나노튜브의 성장)

  • Yu, Jae-Geun;Park, Jeong-Hun;Kim, Dae-Un;Lee, Cheol-Jin;Son, Gwon-Hui;Sin, Dong-Hyeok;Mun, In-Gi
    • The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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    • v.49 no.12
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    • pp.649-653
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    • 2000
  • We have grown carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition of $C_{2}H_{2}$ on catalytic metal deposited on silicon oxide substrates. Highly purified carbon nanotubes are uniformly grown on a large area of the silicon oxide substrates. It is observed that surface modification of catalytic metals deposited on substrates by either etching with dipping in a HF solution and/or $NH_{3}$ pretreatment is a crucial step for the nanotube growth prior to the reaction of $C_{2}H_{2}$ gas. The diameters of carbon naotubes could be controlled by applying the different catalytic metals.

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Graphene Synthesis on Pt Substrate using a Chemical Vapor Deposition Method (열화학기상증착법에 의한 백금 기판 위의 그래핀 합성)

  • Lee, Byeong-Joo;Jeong, Goo-Hwan
    • Journal of Industrial Technology
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    • v.35
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    • pp.89-94
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    • 2015
  • Graphene is a carbon-based two dimensional honeycomb lattice with monoatomic thickness and has attracted much attention due to its superior mechanical, electronic, and physical properties. Here, we present a synthesis of high quality graphene on Pt substrate using a chemical vapor deposition (CVD). We optimized synthesis condition with various parameters such as synthesis temperature, time, and cooling rate. Based on the results, we concluded that graphene synthesis is driven by mainly carbon adsorption on surface rather than precipitation of carbon which is dominant in other metal substrate. In addition, Pt substrate can be repeatedly used several times with high quality graphene.

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Preparation of Carbon Nanomaterials by Thermal CVD and their Hydrogen Storage Properties (열화학기상증착법에 의한 탄소나노소재의 합성 및 수소저장 특성)

  • Yu, Hyung-Kyun;Choi, Won-Kyung;Ryu, Ho-Jin;Lee, Byung-Il
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.38 no.10
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    • pp.867-870
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    • 2001
  • The carbon nanomaterials were prepared using the thermal chemical vapor deposition with ${C_2}{H_2}$ on the Ni-graphite mixture as a supported catalyst. The samples were identified by SEM, TEM, Raman spectroscopy, and the hydrogen storage measurement by electrochemical method was also carried out. The purity of carbon nanotube prepared using ground mixture was higher than that of unground one. Also, the amount of hydrogen storage of purified carbon nanomaterials was more than that of unpurified one.

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