지난 3월 10일 삼성동 코엑스 3층 컨퍼런스홀에서 KISA가 '정보보호 연구성과물 전시 및 발표회'를 가졌다. 그동안 KISA는 민간기업과 일반 사용자를 위한 침해사고 대응, 정보보호 인식제고, 정보보호 정책수립 기관으로서의 이미지가 강했던 것이 사실이다. 그런 KISA가 이번 발표회를 통해 정보보호 연구개발 분야에서도 중추적 역할을 하고 있음을 스스로 입증했다. 이날 발표회에서는 신규 융합서비스 보호기술, 인터넷 침해사고 대응기술, 개인정보 유출 방지기술 등 3개 분야의 10개 핵심기술 전시와 설명회가 460여명의 산 학 연 보안전문가가 참석한 가운데 성황리에 이뤄졌다. 기업 정보보호 담당자들에게는 최신 보안동향 및 기술에 대한 정보를 제공하고 보안 실무에 직접 적용 가능한 기술들이 선보인 이번 발표회의 주요 내용을 지면을 통해 소개해 본다.
'2010 대한민국 녹색에너지대전'이 지식경제부 주최, 에너지관리공단 주관으로 지난 10월 13일부터 16일까지 4일간 서울 삼성동 코엑스홀에서 개최되었다. 올해로 30번째를 맞이한 대한민국 녹색에너지대전은 그 어느 해보다 의미가 크다고 할 수 있다. 30년이라는 긴 역사에 걸맞게 LG전자 현대중공업 삼성중공업 OCI 효성 등 대한민국을 대표하는 에너지 관련 기업들이 대거 참여하였고, 정부가 2010년까지 온실가스 배출전망량(BAU) 대비 30% 감축하겠다는 목표를 제시함은 물론 그에 맞춰 에너지온실가스 목표관리제가 도입돼 에너지 절약에 대한 관심이 그 어느 때보다 높기 때문이다. 더욱이 올해 처음 개최되는 신재생에너지대전이 함께 열리면서 참가기업이 251개, 총 1,008개 부스로 확대되었고, 에너지 효율 향상에 관한 대표적 프로젝트로 성장하고 있는 ESCO 산업 특별 테마관이 마련되기도 하였다. ESCO 산업 특별 테마관은 국내 ESCO 업체인 삼성에버랜드 LIG엔설팅 금호이엔지 에너지솔루션즈 지멘스 테크윈 등이 직접 참여하여 최신 기술과 정보를 전달하고 관련 상담을 진행하였다. 또한 최근 각광을 받고 있는 LED 고효율 조명관을 특별 조성해 국가 경제의 차세대 성장동력인 친환경 조명기술을 선보이기도 했다.
지난 10월 13일 오후 2시, 서울 삼성동 코엑스 홀에서 'ESCO 우수투자사례 발표회'가 열렸다. 지식경제부가 주최하고, 에너지관리공단이 주관하며 ESCO 협회의 후원으로 ESCO 우수투자사례 발표회가 치러졌다. 이번 행사는 우수 ESCO 수여식과 함께 공공기관과 민간부문, 산업체 등의 에너지사용자에게 ESCO 투자사례 홍보 및 정보제공을 도모하기 위해 마련되었다. 올해 우수 ESCO 기업으로 삼성에버랜드(주)와 LIG엔설팅(주)이 선정되었으며, 우수 ESCO 수여식을 시작으로 이재우 실장(에너지관리공단 자금운용실)의 인사말이 이어졌다. 이재우 실장은 인사말을 통해 "2010년 1,350억 원이었던 ESCO지원자금이 2011년에는 6,000억 원 규모로 크게 확대되고, ESCO사업이 더욱 성장할 수 있도록 정책적 지원이 이뤄질 것"이라고 전했다. ESCO 우수투자사례 발표에 앞서, 이희송 소장(클린턴 재단)은 '해외 ESCO 사업 추진현황'과 관련하여 클린턴 재단(CCI)의 에너지효율 건물개조 프로그램을 소개하였다. 이어 삼성에버랜드(주)의 이명진 차장이 산업부문 에너지절약 투자사례인 (주)케이피케미칼 폐열회수 열교환장치와 제일모직(주) 증기재압축장치를 발표하였으며, LIG엔설팅(주)의 김영준 차장이 산업체 공정개선 투자사례인 카프로 제3공장 락탐증발농축시설 교체 설치에 대한 ESCO 우수사례를 소개했다.
지난 10월 14일 서울 삼성동 코엑스홀에서 공공 및 민간부문 에너지관리자, 산업체, 건물 에너지 절약업무 관계자, ESCO업체 관계자 등 100여 명이 참석한 가운데 우수 ESCO 기업으로 선정된 (주)에너지솔루션즈와 한국하니웰(주)에 대한 시상, 두 기업의 우수사례발표, ESCO 사업 활성화 방안을 발표하는 시간을 가졌다. (주)에너지솔루션즈는 국민연금 강남사옥과 서울대학교, 웅진에너지(주)의 냉난방설비 및 수축열시스템 사례를, 한국하니웰(주)은 산업체의 공정개선 및 건물에너지절약 투자사례를 발표하였다. 참석자들은 기업의 실제 우수사례 공유를 통해 유용한 정보를 획득할 수 있는 뜻깊은 시간이었다고 평가했다. 에너지관리공단 관계자는 "오늘날 에너지효율향상은 저탄소 녹색성장을 위한 핵심이자 기업의 경쟁력과도 직결되고 있다"며, "기업의 에너지절약과 경제에 도움을 주는 ESCO 사업을 널리 알려 투자를 촉진하고 에너지절감효과가 큰 설비 보급을 확대하는 좋은 계기가 될 것"이라고 말했다. 이번 행사에서 우수사례로 선정된 (주)에너지솔루션즈와 한국하니웰(주)의 ESCO투자사례를 살펴보자.
ITO 박막은 박막 태양전지, 유기 태양전지뿐만 아니라 유연한 디스플레이, 발광다이오드와 같은 광학적 장치에 투명한 전극으로써 널리 사용된다. 글라스나 플라스틱 기판위에 형성된 투명 전극은 식각을 통하여 전기회로를 구성한다. 또한 식각 특성을 개선할 필요가 있다. 이 연구에서 우리는 유리 기판위에 코팅된 ITO 박막을 유도결합 $BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용하여 식각하였다. ITO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링을 사용해 200 $^{\circ}C$에서 비알칼리 글라스 위에 증착하였고 ITO 박막의 총 두께는 약 250 nm 이었다. 또한 전기 전도성은 $4.483{\times}10^{-4}{\Omega}cm$, 캐리어 농도는 $3.923{\times}10^{20}cm^{-3}$이고, 홀 이동도는 $3.545{\times}10cm^{-2}/Vs$이었다. Ar 플라즈마에 $BCl_3$ 가스를 첨가시키면서 가스 비율에 따른 ITO의 식각 속도와 ITO와 PR과의 선택비를 측정하였다. 최대 식각 속도는 $BCl_3$(25%)/Ar(75%), 500 W의 RF power, -200 V의 DC-bias voltage, 그리고 2 pa의 공정압력일 때 588 nm/min이었고 선택비는 0.43으로 다소 낮게 측정되었다. 식각된 표면의 화학적 반응은 엑스선 광전자 분광법 (X-ray Photoelectron Spectroscopy)을 사용해 조사되었다. 그리고 식각된 표면의 거칠기는 원자현미경 (Atomic Force Microscopy)을 사용해 측정하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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