• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.06a
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• pp.515-518
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• 2005

현재 정밀한 길이를 측정하기 위해서는 광 간섭계를 이용한 측정기술이 주로 사용되어지고 있다. 이러한 광 간섭계의 발전과 더불어 이보다 더 높은 분해능을 얻기 위해 광파장보다 1000배 정도 짧은 엑스선을 이용한 변위 측정 기술개발이 진행되고 있다. 본 연구에서는 이러한 엑스선을 이용한 간섭계를 제작하고, 광 간섭계와 결합된 광/엑스선 복합간섭계를 구성하여 광 간섭계가 안고 있는 자체의 비선형성이 제거된 정밀 변위 측정 시스템을 구성하였다. 그 응용으로써, 제작된 광/엑스선 복합간섭계를 이용하여 나노미터 영역에 서 사용하는 transducer의 비선형성을 측정하였다.

• Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.35-35
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• 2002

나노미터 표준을 확립하기 위하여 일체식 엑스선 간섭계에 광간섭계를 결합시킨 복합간섭계를 구성하였다. 복합간섭계는 광간섭계의 Zero crossing 지점부터 표준시편이 올려진 미소이동대의 이동거리를 변화된 위상값으로 읽고 그 변화량을 고분해능 변위 측정기인 엑스선 간섭계로 읽어들이는 구조로 구성된다. 본 연구에서는 미소이동대의 위치 변화와 관련된 광간섭계의 위상 안정도, 엑스선 간섭계 및 미소이동대의 위치 안정도 등이 나노미터 영역의 길이 측정에 매우 중요한 요인이 되므로, 미소이동대의 위치 변화시 정지상태에서의 위상 잠김 (phase locking) 안정도를 측정하였다. 마이켈슨 레이저간섭계의 한쪽 팔을 고정시키고 다른 한 팔은 미소이동대 위에 반사거울을 설치하여 미소이동대의 움직임을 측정하였다. 보다 안정된 위상잠김 상태를 확보하기 위하여 PID feedback loop controller를 사용하였다. 측정 결과 위상 변동폭이 0.022 degree 이하의 높은 위상잠김 안정도를 확보하였으며, 이를 길이단위로 환산하면 정지상태에서 약 0.02 nm 이하의 위치 안정도를 나타낸다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.6
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• pp.40-45
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• 2000

교정은 모든 측정분야에서 어렵고 까다로운 주제인데, 특히 정전센서, 레이저간섭계, AFM, STM 등을 포함하는 나노메트롤로지(nanometrology : 나노측정) 분야에서는 그러하다. 나노측정에서는 전체 측정범위가 센서들의 한계분해능 값과 비슷한데, 이러한 측정에서 높은 소급성을 유지하기는 매우 어렵기 때문이다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.1
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• pp.25-32
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• 2002

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2006.07a
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• pp.409-410
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• 2006

• Journal of radiological science and technology
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• v.38 no.1
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• pp.39-49
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• 2015

One of properties which X-ray and Neutron can be applied nondestructive test is penetration into the object with interaction leads to decrease in intensity. X-ray interaction with the matter caused by electrons, Neutron caused by atoms. They share applications in nondestructive test area because of their similarities of interaction mechanism. Grating interferometer is the one of applications produces phase contrast image and dark field image. It is defined by Talbot interferometer and Talbot-Lau interferometer according to Talbot effect and Talbot-Lau effect respectively. Talbot interferometer works with coherence beam like X-ray, and Talbot-Lau has an effect with incoherence beam like Neutron. It is important to expect the interference in grating interferometer compared normal nondestructive system. In this paper, simulation works are conducted according to Talbot and Talbot-Lau interferometer in case of X-ray and Neutron. Variation of interference intensity with X-ray and Neutron based on wave theory is constructed and calculate elements consist the system. Additionally, Talbot and Talbot-Lau interferometer is simulated in different kinds of conditions.

• Journal of the Korean Society of Radiology
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• v.14 no.7
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• pp.937-946
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• 2020

The grating interferometer provides the differential phase contrast image of an phase object due to refraction of the wavefront by the object, and it needs to be converted to the phase contrast image. The line-integration process to obtain the phase contrast image from a differential phase contrast image accumulates noise and generate stripe artifacts. The stripe artifacts have noise and distortion increases to the integration direction in the line-integrated phase contrast image. In this study, we have configured and compared several machine learning methods to reduce the artifacts. The machine learning methods have been applied to simulated numerical phantoms as well as experimental data from the X-ray and neutron grating interferometer for comparison. As a result, the combination of the wavelet preprocessing and machine learning method (WCNN) has shown to be the most effective.