• Title/Summary/Keyword: 에피탁샬 성장

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Low-temperature growth of epi-Ge thin films by Reactive thermal CVD (반응성열CVD를 이용한 고효율 박막태양전지용 게르마늄박막의 저온에피성장)

  • Lim, Cheolhyun;Song, Sungheon;Lee, Sukho;Hanna, Junichi
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.06a
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    • pp.102.1-102.1
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    • 2010
  • 고효율 멀티정션박막태양전지의 바텀셀 적용을 목적으로, 반응성CVD(Reactive thermal CVD)기술을 이용, $Si_2H_6+GeF_4$를 원료가스로, 이들이 가진 산화환원반응을 이용하여 400도 이하의 저온에서 Ge 및 Si 기판에 Ge을 에피성장 시켰다. Ge 기판위의 호모에피막의 경우, $2.5{\AA}/sec$의 성장속도와 99%의 Ge조성을 보였고, RHEED 및 HR-XRD를 통한 결정성 평가 결과, 고품질의 Ge 에피막의 성장이 확인되었다. 동일한 성장조건을 Si기판에 헤테로에피성장 시켰을 경우, 4% 격자불일치에 의해 막품질이 저하되는 것을 확인하였다. 이를 개선하기 위하여 저온에서 제작한 버퍼층에 대한 논의를 하고자 한다.

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Microstructure of $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ Thin Films on $SrTiO_3$(001) Single Crystal ($SrTiO_3$(001) 단결정 위에 제조된 $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막의 미세구조)

  • 이지현
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.37 no.10
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    • pp.1008-1013
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    • 2000
  • SrTi $O_3$(001) 단결정 기판 위에 졸-겔 스핀코팅으로 $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막을 도포하고 그 결정화 과정을 고온 X-선 회절분석 (HTXRD)으로 추적하면서 Pt(111)/Ti/ $SiO_2$/Si 위에 성장한 박막과 비교하였다. SrTi $O_3$(001) 단결정 기판 위에 도포된 $SrBi_2Nb_2O_{9}$ 박막은 fluorite-like phase와 같은 transient phase를 거치지 않고 곧바로 순수한 $SrBi_2Nb_2O_9$ 상으로 결정화가 시작되었으며 결정화가 시작되는 온도인 ${\sim}540^{\circ}C$부터 c축 배향성장하였다. 또한 $SrB i_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막은 Ta/Nb 비에 관계없이 $SrTiO_3$(001) 위에서 모두 $(00{\ell})$로 배향되었으며, 코팅 횟수가 늘어나 필름의 두께가 증가함에 따라 c축 배향성은 미세한 감소를 보였다. $SrBi_2Nb_2O_9/SrTiO_3$단면을 TEM으로 관찰한 결과 $SrBi_2Nb_2O_9$은 대체로 불규칙한 크기의 다결정체로 되어 있었으나 계면 부근에서는 [001]$_{SBN}$//[001]$_{SrTi}$ $O_3$/, [100]$_{SBN}$//[100]$_{SrTi}$ $O_3$/라는 결정학적 관계를 가지며 에피탁샬 성장했음을 알 수 있었다.있었다.

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Preparation of epitaxial bismuth titanate thin films by the sol-gel process (졸-겔법을 이용한 Epitaxial Bismuth Titanate 박막의 제조)

  • 김상복;이영환;윤연흠;황규석;오정선;김병훈
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.13 no.2
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    • pp.56-62
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    • 2003
  • Epitaxial $Bi_4Ti_3O_{12}$ films on $SrTiO_3$(100), L$aA1O_3$(100) and MgO(100) were prepared by sol-gel process using metal naphthenate as a starting material. As-deposited films were pyrolyzed at $500^{\circ}C$ for 10 min In air and annealed at $750^{\circ}C$ for 30 min in air. Crystallinity and in-plane alignment of the film were investigated by X-ray diffraction $\theta$-2$\theta$ scan and P scanning. A field emission-scanning electron microscope and an atomic force microscope were used for characterizing the surface morphology and the surface roughness of the film. The film prepared on MgO(100) showed the most poor crystallinity and in-plane alignment, compared to those on the other substrates. While the films on $LaA1O_3$(100) and $SrTiO_3$(100) having high crystallinity and in-plane alignment showed the form of columnar grain growth, the film on MgO(100) which had poor crystallinity showed the form of acicula grain growth.

국가전자도서관 DL 사례

  • 공봉석
    • Proceedings of the Korea Database Society Conference
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    • 1998.09a
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    • pp.293-312
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    • 1998
  • $\square$ 정보화 혁명의 대국민 인식수단과 초고속정보통신망의 주요 응용 서비스로서 부각 $\square$ 전통적인 정보이용방법에 대한 이용자들의 인식의 변화로 도서관 활성화 방안으로써 정보통신기술의 도입 $\square$ 선진 각국의 전자도서관 구축의 국가적 추진 $\square$ 국내 초고속정보통신망의 구축과 보급 확대 $\square$ 모든 국민이 지역, 시간의 제약없이 도서관에 접근하여 필요한 자료를 획득 $\square$ 정보획득시간 단축으로 국내연구자들의 연구력 증진 $\square$ 정보화의 지역격차 해소 $\square$ 국내 도서관의 전자도서관 사업 촉진 $\square$ 주요 전자도서관의 통합연동체제를 마련 $\square$ 주요 도서관별 대상분야 조정으로 중복투자 방지 $\square$ 초고속정보통신망의 주요한 응용서비스로 가시화 - 초고속정보통신망의 선도적 대국민 가시화 - 이에 따른 민간부문의 참여 및 투자 촉진 $\square$ 국가, 산업, 국민생활 정보화의 주요한 기반 구축 $\square$ 지역적 정보불균형 해소 - 일부지역에 편중되어 있는 정보를 인터넷을 이용하여 시.공간 제약없이 제공함으로써 정보의 불균형 해소 $\square$ 전자도서관의 기본모델 제시 -전자도서관의 주요기능인 타기관간 자료연동 및 검색시스템을 구현함으로써 향후 구축되는 전자도서관의 기본모델 제시 $\square$ 전자도서관간 자료공유체제 구축 -시범사업 참여도서관간 분산 관리하고 있는 정보의 공유를 위한 표준체제 구축(중략) 것으로 나타났다.까지 증가율을 보여 주었다. 것으로 나타났다.대표하는 압밀계수의 추정이 가능할 것으로 사료된다. $O_3$/라는 결정학적 관계를 가지며 에피탁샬 성장했음을 알 수 있었다.있었다.다(p<0.05)..8800-0.6800로 각각 표시되었다.~$\pm$10 V의 측정범위에서 memory window가 계속 증가하는 것을 보여주었다./$^{\circ}C$의 고주파 유전특성을 얻었다. 얻었다.끼쳤다.보였다.다. 싸이클링 성능을 보였다.다.보였다.다.고 입력 반사손실을 그림 I, 2, 3에 각각 나타내었다. 대책을 요구하고 있다.하는 경향을 보였다. 생존율은 48시간째부터 폐사하기 시작하여 144시간째에는 전량폐사하였다. 삼투압 조절 능력을 위한 여러가지 파라메타에서 15 $\textperthousand$구는 이상이 없는 것으로 추측되나, 0 $\textperthousand$구에서는 코티졸, Na$^{+}$, K$^{+}$, Cl ̄, 총단백질 및 AST에서 시간경과에 따른 삼투압 조절 능력에 문제가 있는 것으로 보여진다.c}C$에서 5시간 가열조리 후 잔존율은 각각 84.7% 및 73.3%였고, 질소가스 통기하에서는 잔존율이 88.9% 및 81.8%로 더욱 안정하였다.8% 및 12.44%, 201일 이상의 경우 13.17% 및 11.30%로 201일 이상의 유기의 경우에만 대조구와 삭제 구간에 유의적인(p<0.05) 차이를 나타내었다.는 담수(淡水)에서 10%o의 해수(海水)로 이주된지 14일(日) 이후에 신장(腎臟)에서 수축된 것으로 나타났다. 30%o의 해수(海水)에 적응(適應)된 틸라피아의 평균 신사구체(腎絲球體)의 면적은 담수(淡水)에 적응된 개체의 면적보다 유의성

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