RF Co-sputtering법에 의한 $Si_{1-x}C_x$ 박막 증착 및 후 열처리에 따른 양자점 박막 특성 분석
(Characterization of post-annealed Si QDs in $Si_{1-x}C_x$ thin film by RF co-sputtering)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.33-36
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- 2009