Effect of Total Reaction Pressure on the Microstructure of the SiC Deposited Layers by Low Pressure Chemical Vapor Deposition (저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- 제38권4호
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- pp.388-392
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- 2001