• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.117-117
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• 2016

일반적인 박막 성장용 CVD는 막 성장 시간이 짧게는 수분에서 수시간 정도 소요하기 때문에 장비에 문제가 발생 할 시 조치를 취하고 다음 현상을 개선하기에 용이 하였다. 그리고 대분분의 장비가 국산화되어 있을 만큼 많은 경험치가 축척되어 있다. 그러나 2, 4 족 화합물 성장용 CVD는 고아학 렌즈 생산용 장비로 국내에서는 아직 생소하고 공정 경험이 없는 새로운 장비이다. 2,4 족 화합물의 특징은 다음과 같다. 2,4 족 화합물은 M, N 이라는 두가 물질이 결합하여 형성한다. 2,4 족 화합물은 높은 융점과 낮은 증기압을 갖니다. 이런 물질들은 고온에서 아래와 같이 평형적으로 반응한다. $$nMN_{(s)}=nM_{(g)}+Nn_{(g)}$$ 화합물인 $MN_{(g)}$의 상태로 존재할 수 있으나 일바적으로 n=2인 4족 원소의 2원자 분자로된 기체가 지배적이다. 증기상을 이용한 성장 공정에서는 구성 원자나 분자를 만들어내는 단계, 이들을 공급원에서 기판까지 수송하는 단계, 기판 위에 흡착하는 단계, 핵의 생성과 단결정을 생성하는 단계, 필요치 않는 구성물을 제거하는 단계를 거쳐 공정이 진행 된다. 각 공정은 성장 물질에 충분한 자유도를 주어야하고 자유도를 주기 위해서는 많은 열에너지가 공급 되어야 한다. 따라서 기존의 박막 성장 공정 보다 성장 속도가 느리고 증착하는 양보다는 버리는 양이 많으며 버려지는 성장물질들은 급격한 온도 변화가 생기는 곳에서 급격히 증착하기 시작한다. 본 성장 공정이 진행되는 압력은 30 torr 부근이며 공정 온도는 $1000^{\circ}C$ 부근이다. 30 torr 영역에서는 열전달이 대기압과 같은 속도로 진행되기 때문에 지속적으로 온도에의해 손상을 받는 부위가 있을 수 있다. 높은 공정 온도와 높은 공정 압력은 내부 구조물로 발생된 열을 빠르게 장비 표면으로 수송하게 되고 그 결과 장비의 연결 부분에 장착된 오링에 손상을 주게 된다. 오링 손상을 방지 하기위해 냉각수 라인을 형성하여 오링을 보호하게 되면 열역학적 기울기가 급격히 발생하는 부분이므로 CVD의 반응 부산물들이 빠른 시간동안 증착하게 되고 막히는 현상이 발생하게 된다. 목표한 두게까지 박막을 성장시키기 위해서는 장시간 공정이 필수이며 장시간 공정을 안정적으로 가져가지 위해서는 배기 라인의 막힘 현상을 해결하여야 한다. 본 논문에서는 막힘 현상의 진행을 시간에 따라 해석하였으며 장시간 공정을 진행하기위해 필요한 요소와 기구적으로 조치가 가능한 방법에 대해 작성하였다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2006.05a
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• pp.500-504
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• 2006

하천 수위 측정을 위해서 우물통을 기본으로 하는 부자식, 초음파식, 기포식, 압력식, 레이다식 등 다양한 장비가 사용되고 있다. 이와 같은 장비는 모두 간접적인 방법으로 수위를 측정하기 때문에 기준값을 바탕으로 보정이 필요하며, 장비의 특성에 따라 여러 가지 장단점을 지니고 있다. 부자식의 경우 오래 전부터 사용되어 안정적으로 수위를 측정할 수 있는 것으로 평가되고는 있으나 우물통 막힘 등으로 인해 오측 혹은 결측이 발생하는 경우가 있다. 최근에 많이 사용되고 있는 센서식 장비의 경우에는 센서에 대한 정기적인 보정이 필요하며, 일부 장비의 경우 온도에 따라 측정값이 변화하는 단점이 있다. 수위 측정 방식은 접촉식과 비접촉식으로 나누어 볼 수 있다. 접촉식의 경우 물속에 센서가 위치하고 있기 때문에 홍수시 센서 유실 및 고장의 우려가 있으며, 잦은 고장의 원인이 되기도 한다. 비접촉 방식인 초음파나 레이다 수위계의 경우 온도에 따라 보정이 필요하거나 수면과의 거리에 커지면 오차가 커지는 경향을 지니고 있다. 또한 이와 같은 간접방식에 의한 수위측정 방법은 수위가 많이 변화하는 경우 실제 수위와 측정되는 수위가 일치하는지를 확인하는 것이 불가능한 단점도 있다. 본 연구에서는 최근에 많이 일반화되고 있는 영상처리기술을 이용하여 자동적으로 수위를 측정하는 장비인 영상수위계를 개발하였다. 또한 개발한 영상수위계를 하천 현장에 적용하여 정확성을 평가하고 그 특징을 분석하였다. 영상수위계는 카메라에 의해서 수위표를 촬영하여 직접 수위값으로 변환하는 원리를 사용하고 있어서 기존 수위측정 시설과는 달리 수위표를 직접 눈으로 확인할 수 있는 장점이 있다. 이로 인해 수위표를 육안으로 확인할 수 있기 때문에 측정된 수위를 검증할 수 있어 수위측정의 정확성을 한층 높일 수 있다. 그리고 수위표 영상과 더불어 수위표 주변의 전체 영상을 동시에 촬영하여 실시간으로 전송하기 때문에 홍수시 하천 상황에 대한 모니터링 목적으로 사용될 수 있다. 영상수위계는 우물통 등을 이용하는 기존 방법과 비교하여 구조물이 필요 없어 설치 비용이 저렴하고, 영상에 의한 하천 모니터링 기능을 자체적으로 가지고 있기 때문에 효율적이라고 할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Institute Of Construction Engineering and Management
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• 2006.11a
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• pp.669-673
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• 2006

Field works are decreasing gradually since advancement of industrial robots. Tunnel cleaning is a dangerous field work which can be solved only by introducingadvanced tunnel cleaning automation equipment. Industrial robots work tirelessly night and day without a loss in performance. Consequently, greatly reduce the costs of manufactured goods.So far only 200 construction robots are invented. Robots used for tunnel cleaning are not of high standard they always need additional workers for job to be done. Robots offer specific benefits to workers, industries and countries. If introduced correctly for tunnel cleaning, industrial robots can improve the quality of life by freeing workers from dirty, boring, dangerous and heavy labor. Development of advanced tunnel cleaning automation equipment is a must to overcome above issues. The benefits of robots to industry include improved management control, productivity and consistently high quality products. This research is a study on tunnel cleaning automation equipment and introducing advanced tunnel cleaning automation equipment.

• The Journal of Korean Institute of Information Technology
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• v.16 no.11
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• pp.115-121
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• 2018

Fluorescent images using near-infrared light have no worry about radioactivity, and images can be checked in real time during surgery. Therefore experiments using fluorescent images for monitoring lymph node biopsy are actively under way. Fluorescent imaging equipment uses high heat-generating components such as LED and camera, thus uses water-cooling system as a stable heating suppression means. However in the fluorescent image equipment, the water cooling system takes a large volume which is a disadvantage in terms of miniaturization of the equipment. Even if the air cooling system is used for miniaturizing the equipment, heat generation is a problem. In this paper, we have experimented with the air cooling method using PWM control for the miniaturization of the equipment, and confirmed the constant quality of the fluorescent image and the suppression of the heat generation without any problems even when the equipment is used for a long time.

• Journal of Dental Rehabilitation and Applied Science
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• v.23 no.4
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• pp.327-336
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• 2007

Purpose This study was planned to compare and evaluate the stability of implant using $Osstell^{TM}$ and Osstell $Mentor^{TM}$. Material and methods Artificial bone and RBM(resorbable blasting media) surface blasted implants(Osstem US II, SS II implants - diameter: 4mm, length: 13mm) were used. To measure the stability of installed implants, $Osstell^{TM}$ and Osstell $Mentor^{TM}$ were used. In the first experiment, five implants were installed in D1(external type implants) and D3(internal type implants). In the second experiment, 4 internal type implants were divided in two groups and installed in D1 artificial bone with different depth. In the third experiment, two external implants were installed in D1 and D3 artificial bone each and two internal implants were installed in D1 and D3 artificial bone. In all groups, their stability were measured by $Osstell^{TM}$ and Osstell $Mentor^{TM}$. Results In all groups, $Osstell^{TM}$ and Osstell $Mentor^{TM}$ both showed reliable measurement values. The value difference between $Osstell^{TM}$ and Osstell $Mentor^{TM}$ was observed but the difference was small and clinically acceptable. Conclusion These results suggest that the use of Osstell $Mentor^{TM}$ has clinical relevance in the assessment of implant stability.

• Journal of Korean Society of Archives and Records Management
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• v.13 no.1
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• pp.35-58
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• 2013

The archives preservation chamber is an equipment that is able to store important archives with air-cleaning and isothermal-isohumidity control functions to permanently store archives in a highly safe environment. The chamber can only store small amounts of archives but it is crucial for organizations preserving archives to economically store a variety of archives, be it a medium or a small amount of documents. An arm of this study researches the current preservation status of the local record center to determine the need for such a chamber. In addition, in order to improve the air-cleaning and isothermal-isohumidity functions, the researchers of this study have conducted analyses to design the core parts. The preservation chamber that had been designed includes an archives preservation area, air-cleaning equipment, and environment measurement equipment. A preservation chamber is used to preserve small amounts of important archives safely. Thus, when a local record center is preserving various types of archives in small or medium quantities in a stack room, the preservation chamber can be used to aid their long-term preservation.

• Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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• v.15 no.5
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• pp.483-496
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• 2013

This paper presents the shield TBM technology in soft ground tunnelling. In order to perform this study, a scale model test was carried out using the developed small scaled shield TBM machine. The various instrumentations were conducted during the simulation of tunnelling. In addition, the ground behavior due to the shield TBM operation parameters was measured during the simulation. Based on the simulation results, the stability of the ground was evaluated and the fundamental shield TBM tunnelling technique in the soft ground was suggested. In conclusion, design's reliability through laboratory small scale model test about Shield-TBM section was obtained, and both the improvement plan for safety during construction and the construction plan for securing airport runway's safety during tunnel passing by Shield-TBM propulsion were suggested.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.18 no.6
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• pp.187-193
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• 2018

There has been a gradual increase in the demand for the electric power in Korea. In order to meet the demand, power station should have technical functions with increased effectiveness. When accident happens in electric machinery at power stations, huge amount of economic losses and mulfunction of equipments occur. One of the accidents is a deteriorated cables operating power stations. In order to prevent cable accident in advance, we should monitor the insulation status of the cable. Cable accidents are resulting from the junctions. We have developed and installed a device in order to identify the status of junction part of power cable at Korea Western Power Co., Ltd.. We performed an accurate diagnosis for the stable utilization of junctions where the accidents occurs most frequently, and to increase the reliability. In this paper, we present the concepts of our device and the method of monitoring diagnosis for the stable use of junctions at cables predicting the life time of cables by analyzing the data obtained by the device. We also present the hardware aspect of the device we have developed.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.215-217
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• 2007

반도체 집적화 기술의 발달로 반도체 공정에서 디바이스의 선폭은 줄어들고, 박막의 다층화가 필수적인 과정이 되었다. 이에 따라 반도체에서 Si 기판과 금속 배선과의 열적 안정성에 대한 신뢰성이 더욱 중요시 되어가고 있다. 이를 방지하기 위하여 우리는 3개의 화합물로 구성된 Tungsten-Carbon-Nitrogen (W-C-N) 확산방지막을 사용하였다. 실험은 Si 기판위에 W-C-N박막을 물리적 기상 증착법(PVD)으로 질소비율을 변화하며 확산방지막을 증착하여 Si 기판과 W-C-N확산방지막의 특성을 여러 온도 열처리 조건에서 확인하였다. 특성을 분석을 위하여 ${\alpha}-step$과 ${\beta}-ray$를 이용하여 증착률을 확인한 후 4-point probe를 이용하여 비저항을 측정하였고, X-ray Diffraction 분석을 통하여 결정 내부의 변화를 확인하였다. 이를 통하여 W-C-N 확산방지막의 열적인 안정성을 질소변화에 따라 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1992.10a
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• pp.8-13
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• 1992

최근 우리 나라도 자동차의 수요가 급격히 늘어나고 있고, 생산량도 급증하 고 있어 자동차 공업이 산업의 최고의 위치를 확보하게 되었다. 자동차는 최 신 종합 기계 구조물로서 전기, 전자, 제어에 이르기까지 거의 모든 분양의 학문적 이론과 기술을 도입하는 최첨단의 기계 장비인것이다. 따라서 그 부 가가치 또한 매우 큰 것이다. 자동차의 성능을 결정짓는 가장 커다란 요소는 주행 성능과 안정성 및 조종성이다. 주행성능이라 함은 자동차의 종방향 운 동에 관한 성능으로서 기관의 동력에 지배적인 영향을 받는 성능(동력 성능) 과 그 밖의 성능(타향 성능, 제동 성능)으로 구분된다. 또 안정성과 조종성이 라함은 자동차의 횡방향 운동에 관한 성능으로서 로울링과 요우잉을 포함시 킨 곡선 운동에 관한 성능을 일컫는다. 이러한 운동 성능을 좌우하는 것은 구조적인 설계의 양부와 스프링이나 댐퍼의 성능일 것이다. 자동차의 수많은 부품 중의 다수가 국산화 되어 있지 아니하고, 또한 이러한 부품들의 성능을 시험할 수 있는 장비의 수입 의존도가 높은 것은 업계나 학계 등에서 앞으 로 많은 연구가 이루어져야 할 점이다. 자동차의 충격 흡수기(shock absorber)의 검사기도 또한 수입 시험기에 의존하고 있었던 것이 현실이었 다. 이에 본 연구진은 이 검사기의 국산화에 착수 한 것이다. 자동차에 있어 서 충격 흡수기는 지면에서 오는 충격을 급속히 흡수하는 역할을 하여 자동 차의 주행 성능과 안정성을 높혀 주며, 승차감을 높혀 주는 중요한 부품이 다. 따라서 충격 흡수기의 양부의 판정은 대단히 중요한 것이다. 본 연구에 서는 충격 흡수기의 충격 흡수력(감쇠력)을 측정하여 감쇠 특성을 정도 높게 파악할 수 있는 시험기를 만드는데 그 목적을 두고 있다. 연구는 시험기의 구동부를 제작하는 기계부와, 제어 및 계측의 하드웨어를 담당하는 전기.전 자부및 실제로 기계를 구동, 제어하고 측정 결과를 기록하고 출력하는 부분 을 담당하는 소프트웨어 개발부로 나누어서 진행하였다.