• 제목/요약/키워드: 아노

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플라즈마 임피던스를 이용한 RPS내 아노다이징 코팅진단 및 수명예측에 대한 연구

  • 김대욱;안영오;임은석;이한용;위순임;최대규;최상돈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.141.2-141.2
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    • 2015
  • 교류임피던스 측정기법을 이용하여 전기화학적으로 외부환경에서 소재 금속까지 물질 및 전하이동에 관한 임피던스 측정이 가능하며 도막의 부식 및 노화정도 및 내식성의 평가가 가능하여 산업체에서 널리 이용되고 있다. RPCS(Remote Plasma Cleaning Source)는 패널 및 반도체 제조공정에서 CVD 증착공정 후 챔버 내부에 입혀지는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품이다. RPCS의 바디는 알루미늄을 사용하고 절연 및 플라즈마에 대한 내구성을 확보하기 위해 아노다이징 코팅을 한다. 반응기 내벽의 표면이 공정 플라즈마에 노출될 때 소재는 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼과의 반응뿐만 아니라 이온의 충격을 동시에 받게 되며 이 과정에서 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼과 전계에 반응한 이온의 운동에 노출되면서 아노다이징 코팅이 손상되는데 이는 기기의 수명 단축 및 파티클을 발생시키며, Arc의 원인이 되기도 한다. 실제 사용 환경에서는 기기의 분해 없이 아노다이징의 상태를 주기적으로 모니터링 하기가 대단히 어려워, 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 RPCS내 발생된 플라즈마 현상을 컨덕터로 활용하여 고주파 리액턴스를 임피던스로 환산하여 아노다이징 코팅의 손상 정도를 진단 및 모니터링하였다. 아노다이징이 손상된 내부 블럭과 정상상태인 내부 블럭의 임피던스를 비교하였고, 아노다이징 두께별 임피던스를 측정하였다. 그 결과 아노다이징 절연막이 손상된 블록의 임피던스가 정상 블록에 비해 낮았으며 두께별 임피던스도 비례함을 알 수 있었다. 향후에는 장기간 현장에서 축척되어진 시험데이터를 바탕으로 아노다이징 코팅의 수명예측진단 시스템을 구축하고자 한다.

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Effect of plasma resistance in Tartaric-sulphuric Acid on coating of Al 2024 alloy

  • 최신호;윤주영;이창희;신재수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.101.1-101.1
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    • 2015
  • 플라즈마에 의한 식각 공정중 챔버 내에서 발생한 오염입자가 기판위에 떨어져 제품의 불량을 일으키고 그에 따른 부품 교체비용이나 교체시 가동을 멈춰야하는 문제점들이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 내플라즈마성이 우수하다고 알려진 아노다이징 피막을 사용하고 있다. 하지만 다양한 아노다이징 공법중 어떠한 요인이 내플라즈마 특성과 관계되는지에 대한 보고는 부족한 실정이다. 기존의 아노다이징 특성평가방법으로는 내화학 특성과 열안정성 평가, 구조적 특성을 확인하는 것이 주로 사용되어 왔다. 따라서 본 연구에서는 기존 내화학 특성과 열안정성이 우수하다고 알려진 황산-주석산법을 이용한 피막의 특성을 평가하여 내화학특성, 열적 안정성, 구조적 특성이 내플라즈마 특성과 어떠한 관계가 있는지 확인했다.

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마그네슘합금의 아크-아노다이징 표면처리에 대한 연구 (The study of Arc Anodizing Sufrace treatment in Magnesium Alloy)

  • 유재인;임진환;유재용;김진희;김재현
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.101-102
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    • 2007
  • 마그네슘합금은 산화가 잘되는 비철금속으로 표면처리 공정이 필수적이며, 주로 크로메이트공정이 주로 이용된다. 하지만 최근에 6가 크롬의 사용 규제로 인하여 non-크로메이트 방법 중 내식성이 우수한 아노다이징 공정에 대해 많은 연구가 진행중이다. 일반적으로 아노다이징 용액으로 잘 알려진 NaOH, $Na_3PO_4$ 및 KOH 용액에 코발트 아세테이트와 황화암모늄(Ammouium Sulfide)을 추가함에 따라 용액의 빛깔은 검정색으로 변하고 아크-아노다이징 후의 산화막의 색깔은 갈색을 띠었다.

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생체적합성이 뛰어난 마그네슘 아노다이징 방법 개선 (Study on Anodized Magnesium alloy for biocompatibility)

  • 권상준;허진영;이홍기
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.190-191
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    • 2014
  • 마그네슘 합금을 생체재료로 사용되는데 두가지 중요한 문제점을 가지고 있다. 매우 빠른 부식을 가지고 있으며, 초기 빠른 부식으로 수소기체를 발생하여 인체 내 피부나 골조직의 괴사를 동반한다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 생체적합성이 뛰어난 아노다이징 방법을 개발 하였으며, 새롭게 개선된 방법의 특징을 비교하기 위해 이번 실험에서는 불화물이 포함된 전해액으로 아노다이징 처리한 샘플을 제조하여 형태학 분석을 진행 하였고, Hank's solution(생체모사용액)을 사용하여 부식 특성을 분석하였다. 또한 L929 세포를 이용하여 세포독성 평가를 진행하였다. 새롭게 제조한 방법은 기존의 방법과 비교하였을 때, 부식 성능은 비슷하고 생체적합성이 높아 생분해성 금속의 표면처리에 적합하다고 판단된다.

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에두아르도 갈레아노의 작품에 나타난 신자유주의의 폭력성 (The Violence of Neoliberalism Represented in the Works of Eduardo Galeano)

  • 유왕무
    • 비교문화연구
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    • 제41권
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    • pp.199-227
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    • 2015
  • 본고에서는 신자유주의의 폭력성으로 인해 라틴아메리카가 얼마나 많은 피해를 감수해 왔는지를 에두아르도 갈레아노의 작품을 통해 살펴보고자 한다. 1980년대 중반부터 시작된 신자유주의는 많은 나라에서 다양한 문제점을 드러내고 있다. 미국과 국제금융기관은 금융위기에 빠진 라틴아메리카 국가들에 자신들의 프로그램과 조정계획을 강요하였다. 그 결과 라틴아메리카에서는 사회적 불평등이 심화되고 사회 복지대신 투자 환경이 중요시되고, 사회적 안전 대신 금융 안정이 우선시되었다. 노동의 유연성으로 인해 중산층도 붕괴되었다. 신분상승의 기회를 박탈당한 빈민층에서는 폭력이 일상화되었다. 그래서 갈레아노는 자유주의가 중시하는 생산성의 가치에 대한 재검토 필요성을 제기한다. 갈레아노는 동시에 신자유주의의 군사화도 경계한다. 신자유주의는 평화를 가장하여 국경 없는 다국적 전쟁을 유발하기 때문이다. 미국이 '마약과의 전쟁'을 명분으로 라틴아메리카를 폭력의 장으로 변질시킨 점을 예로 든다. 신자유주의의 시장 자유화와 이익 극대화 정책은 세계의 환경오염에도 지대한 공헌을 하고 있다. 그러나 대기업과 국제기구가 협동으로 벌이는 환경파괴행위는 겉으로 드러나지 않는다. 녹색 가면을 쓰고 있기 때문이다. 갈레아노는 녹색 가면 뒤에 숨어있는 그들의 허위의식을 드러내려 노력한다. 갈레아노는 신자유주의 정책으로 인해 폭력이 일상화된 라틴아메리카의 모습을 그의 작품에서 간결하지만 날카로운 필체로 잘 그려내고 있다.

알루미늄의 White Color 구현을 위한 양극산화처리 기술 (White coloring of anodized aluminum)

  • 나상조;이은한;손선미
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.239-239
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    • 2015
  • 삼성, LG전자 등 다양한 사업부의 White Anodizing구현기술의 Need는 항상 존재하고 있으며, 특히 White와 Black Color의 콤비네이션으로 친환경 이미지 강조 및 핸드폰의 고급화에 필연적인 메탈화로 작년부터 White Anodizing의 수요요청이 쇄도하고 있다. 그러나 현행 공업용 Anodizing 기술(황산법)은 봉공처리 전 착색공정에서 Red, Blue, Black 등 염료분자와 달리 염료 분자가 비교적 큰 White 염료는 Anodizing으로 성장된 다공성피막 내부로 들어가지 못해 국내 Anodizing전문기업 뿐만아니라 일본 기업 및 연구소 등에서도 무수한 시도를 하고 있지만 현재까지는 완벽한 White Anodizing구현기술이 전무한 상태이다. 이에 당사는 알루미늄합금을 White의 안료나 염료가 아닌 알칼리전해액의 Pulse전류인가 PEO(Plasma electrolytic oxidation)처리 공정에 의거 White Anodizing기술을 개발하고자 하였다. 알칼리 전해질에 의한 Anodizing 처리기술로 White와 유사한 색상을 구현하고 있으나, 수요자가 요구하는 White Anodizing으로 제품을 양산하는데 어려움이 있어 기존 Anodizing 처리 대신 Pulse전류인가 PEO처리기술로 White Color를 구현하여 수요요청이 쇄도한 국내외 기업체에 공급하고자 한다. 본 기술은 알카리 전해액을 사용하므로 친환경적이며, 다공성 피막으로 인한 우수한 도장 밀착성, 실링처리에 의한 내식성 향상, PEO 피막의 우수한 경도 및 내마모성 등을 나타내며, 알루미늄뿐만 아니라 마그네슘합금, 티타늄 등에도 공히 적용이 가능하며, White Anodizing의 특화된 기술로 표면처리기술 우위 선점 및 원가절감 등이 가능하다. 당사는 알루미늄 아노다이징 전문 기업으로서 내식성 목적의 연질 아노다이징 처리 및 고내마모성을 목적으로 하는 자동차 부품 및 기계 부품용 경질 아노다이징 처리를 주로 수행하고 있다. 본 발표에서는 당사의 표면처리 기술 및 알루미늄의 아노다이징에 대한 소개를 하고자 한다.

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절삭가공이 알루미늄 경질 아노다이징 피막에 미치는 영향 (Effect of Machining on Hard Anodizing Surface of Aluminum)

  • 김수진;문정일
    • 한국기계가공학회지
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    • 제21권8호
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    • pp.87-92
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    • 2022
  • The Al3003 aluminum plate was cut by grinding, milling, sawing, and shearing, and the hard-anodizing surface of the material was investigated. Large burrs were formed during grinding and milling. The brittle anodized film split and migrated along the deformed aluminum surface. During shearing, the hard-anodized film on the blade entry surface cracks and slides along the deforming aluminum. The cutting heat increased the ductility of the aluminum and further promoted burr formation. The oil-based coolant suppressed burrs and prevented chips from sticking to the endmill. It is better to avoid the high cutting speed and slow material feed rate conditions, which increase the cutting temperature and burr in the band saw.

읽을거리 풍성한 지구촌의 소설들

  • 오완진
    • 출판저널
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    • 통권251호
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    • pp.14-14
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    • 1999
  • 새해 첫달, 다양한 국적의 소설들이 서점가에 선보이고 있다. 사라마구.마르케스.모디아노.슐링크 등 굵직한 작가를 비롯해 3세계 작가의 소설들이 각양각색의 형식과 주제, 그리고 독특한 이야기로 독자의 호기심을 불러일으킨다. 모습이 다양한 만큼 읽을거리도 풍부하다.

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Frequency Characteristics of Anodic Oxide Films: Effects of Anodization Valtage

  • Lee, Dong-Nyung;Yoon, Young-Ku
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제6권1호
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    • pp.14-22
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    • 1974
  • 아노다이징 전압이 탄탈양극산화피막의 주파수 특성에 미치는 영향을 다음 임피단스 식을 이용하여 분석하였다. (equation omitted) 여기서 $R_{f}$, $C_{f}$는 각각 양극산화피막의 등가직렬저항, 등가직련용량, 유전 손실이다. 파라데타 P, $\tau$$_{ο}$, $\tau$$_{\omega}$, Co는 다음과 같이 정의된다. P=(d-w)/w, $\tau$$_{ο}$=$textsc{k}$$\rho$$_{ο}$, $\tau$$_{\omega}$=$textsc{k}$$\rho$$_{\omega}$, $C_{ο}$=$textsc{k}$A/d 여기서 d는 양극산화피막의 두께, $\omega$는 화산층의 두께, $\rho$$_{ο}$는 금속과산화물의 계면에서의 산화물의 비저항, $\rho$$_{omega}$는 앙극산화피막의 진성영역에서의 비저항, A는 양극산화 피막의 면적이며, $textsc{k}$=0.0885$\times$$10^{-12}$ $\times$유전상수(in farad/cm). 등가직렬용량의 주파수에 따른 변화와 유전손실은 아노다이징전압이 증가함에 따라 감소하였다. 이 현상은 산화피막의 화산충의 두께가 아노다이징전압이 증가함에 따라 약간 증하는반면 선화피막 전체두께는 아노다이징전압에 비례하여 증가한다는 사실 때문이다. 실험측정치가 tan$\delta$$_{f}$=0.682$\Delta$ $C_{f}$ 관계식으로부터 부로 이탈하는것을 위의 임피단스식에 바탕을 두고 검토하였다. 여기서 $\Delta$ $C_{f}$는 0.1과 1KHZ 사이에서의 용량변화이다.이다.다.

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