실리콘 반도체 소자의 개발은 인류에게 큰 편리를 주며 현 과학문명을 급진적으로 발전시켰다. 실리콘 반도체 기술이 꽃을 피울 무렵 실리콘보다 우수한 성능을 요구하는 필요에 의해 새로운 물질이 연구되기 시작했다. "미래의 반도체"라 불리우는 화합물 반도체로 과학 문명은 새로운 국면을 맞이하게 된다. 그것은, 화합물 반도체의 발광효과를 이용한 광통신개발과 실리콘보다 빠른 전자속도를 이용한 초고속 소자의 개발이라 할 수 있다. 이글에서는 주로 현재 세계에서 널리 연구되고 있는 초고속소자의 기술개발에 대하여 이야기하고자 한다.이야기하고자 한다.
Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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2003.11a
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pp.61-61
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2003
다결정 실리콘 박막은 박막 트랜지스터와 실리콘 태양전지등에 응용되며, 비정질 실리콘을 재결정화 하여 얻어지는 다결정 실리콘 박막이 주로 이용되고 있다. 비정질 실리콘 박막을 금속 원소와 접촉시킨 상태에서 열처리할 경우 결정화 온도가 낮아지고 결정화에 필요한 열처리 시간이 짧아지게 된다. 금속을 실리콘 박막 표면에 가하는 방법은 진공증착법등으로 비정질 실리콘 박막 위에 금속원소 층을 형성하는 방법이 주로 이용되었다. 본 연구에서는 AlCl$_3$와 NiCl$_2$ 금속화합물 분위기에서 LPCVD 비정질 실리콘 박막을 열처리하여 결정화 거동을 관찰하였다. 금속화합물과 결정화할 비정질 실리콘 박막을 각각 다른 온도로 가열해 줄 수 있는 노를 이용하여 열처리를 시행하였다. AlCl$_3$와 NiCl$_2$ 분말을 혼합하여 소스로 이용한 경우 48$0^{\circ}C$ 5시간 열처리로 결정화가 완료되었으며, 박막 전체에 걸친 균일도와 재현성이 우수하였다. AlCl$_3$와 NiCl$_2$를 이용한 결정화 초기 상태에는 박막 전면에 걸쳐 등근 형태의 결정립이 균일한 핵 생성으로 나타났다. 이와 같은 결과는 Al과 Ni이 고상결정화에 동시에 작용하면서 나타난 것으로, Al이 가해진 비정질 실리콘으로 인해 결정화 속도가 빨라지고 결함이 작은 결정립을 얻을 수 있었으며, Ni로 인해 결정화의 균일성과 재현성을 높일 수 있었다.
실리콘을 기반으로 한 micro-Total Analysis Systems(${\mu}$-TAS)이 출현한 이후에, 현재까지 다양한 고분자 화합물을 이용한 유체소자의 연구가 진행중이다. 고분자 화합물은 실리콘과 유리를 이용한 전통적인 유체소자 재료에 비해 재료의 경제성과 소자 제작의 용이성 그리고 처리하고자 하는 유체에 맞는 다양한 재료를 선택할 수 있다는 장점을 지니고 있다. 하지만 고분자 화합물의 표면 에너지가 실리콘과 유리에 비해 낮은 단점을 가지고 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 다양한 표면처리 연구가 이루어져왔다. 레이저를 이용한 표면처리는 실험장치가 간단하고 대기 중에서 실시할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 Nd:YAG 레이저(${\lambda}$=266 nm, pulse)를 이용하여 유체소자 재료로써 많이 사용되는 polymethly methacrylate(PMMA)의 표면개질을 시도하였다. 표면처리 후 접촉각 측정기를 이용하여 표면개질 정도를 확인한 결과, 표면 산소 함유량이 증가됨에 따라 접촉각이 감소하였다. 결론적으로 PMMA의 본래 성질은 유지한 채 레이저 표면처리를 이용한 표면 에너지 증가 효과를 볼 수 있었다.
현대 사회는 지식 정보화를 추구하며 변화하고 있다. 지식, 정보화 사회는 개인, 기업 및 사회 모든 주체의 업무효과의 극대화할 수 있는 인프라를 제공하게 될 것이며 이는 영상, 음성, 데이터 등의 다양한 정보의 교환으로 이어져 인간생활의 새로운 혁신을 예고하고 있다. 한편 지식 정보화에는 고도의 정보 저장 및 통신기술이 필수적으로 요구되며 기존의 실리콘기반 소자의 고성능화 이외에 새로운 기술혁신을 요구하고 있다. 1980년대 이후 광통신에 레이저가 응용되고 1990년대 후반에 이르러 수십 나노미터 크기의 양자우물 구조의 화합물 반도체기반의 녹색 및 청색 LD, LED 및 백색 광 다이오드가 구현되면서 화합물 반도체는 정보 통신에 적합한 소재로 인식되기 시작하였다. 기존 실리콘과 다른 물리적 화학적 성질로 인하여 적극적인 연구와 기술적인 시도가 이루어지고 있다. 1900년대 실리콘기반 전자 소자 기술이 비약적으로 발전하면서 새로운 혁신을 보여주었고 그 포화된 기술에 뒤를 이어 화합물 반도체에 의한 기술의 혁신이 예고 되고 있는 것이다.(중략)
A novel route to the synthesis of tetramethoxysilane and other silicon alkoxides is described using siliceous mudstone as the raw material. The reaction of amorphous silica with triethanol-amine is enhanced by using an alkali metal hydroxide catalyst to form a range of triethanol-amnine-substituted silatrane species. These can undergo alkoxide exchange in acidic alcohols to form alkoxysilatranes, tetraalkoxysilanes, hexaalkoxydisiloxanes and higher siloxanes. Products were identified by FT-IR spectroscopy, XRD, SEM, 1H and 13C NMR spectroscopy, or gas chromatography.
A burning test was conducted on the smoke and combustion gases generated from cypress wood treated with sodium silicate, 3-aminopropyltrimethoxysilane sol, 3-(2-aminoethylamino)propylmethyldimethoxysilane sol, and 3-(2-aminoethylamino) propyltrimethoxysilane sol. The silicone compound sol was applied to each of the cypress wood specimens three times with a brush. The smoke and combustion generation gas were analyzed using a cone calorimeter (ISO 5660-1) and the smoke was also evaluated by applying new smoke risk assessment method. The smoke performance index (SPI) of the cypress treated with silicone compound increased 1.66 to 8.42 times and the smoke growth index (SGI) was 11.8 to 88.2%, respectively. The smoke intensity (SI) is expected to be 1.0~50.5% lower than that of the base specimens, resulting in lower smoke and fire hazards. The third maximum carbon monoxide (COpeak) concentration of the specimens treated with silicone compounds was 22.5~33.3% lower than that of the base specimens. On the other hand, it produced potentially fatal toxicity that was 1.48~1.72 times higher than the US Occupational Safety and Health Administration (OSHA) acceptance standard (PEL). Cypress wood itself produced a high carbon monoxide concentration, but the silicon compound played a role in reducing this level.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2016.02a
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pp.371.1-371.1
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2016
다양한 물질계의 2차원 나노구조는 그래핀과 함께 그 고유특성으로 최근 광전소자, 전자소자, 센서, 에너지 생성 및 저장과 수소에너지 생성 등의 응용으로 매우 많은 관심을 받고 있다. 특히 층상이중수산화물 (layered-double hydroxide; LDH) 2차원 나노구조는 생성의 용이성과 층상 내 금속 이온의 교환을 통한 특성의 자유로운 제어가 가능하므로 많은 관심을 받고 있다. 층상이중수산화물 화합물은 [Zn(1-x) MIII(x)(OH)2][$An-x/n{\cdot}mH2O$] (MIII = Al, Cr, Ga; An- = CO32-, Cl-, NO3-, CH3COO-) 구조로써, Brucite-type 구조 내에서 3가 양이온의 상태에 따라서 다양한 특성을 제어할 수 있는 장점이 있다. 이러한 장점으로 인해 층상이중수산화물 화합물은 촉매나, 에너지 저장, 음이온 교환 및 흡착, 화학적 촉매, 바이오 소자 등에 응용이 연구되고 있으며, 다양한 금속 산화물을 제조하기 위한 중간자 precursor로써도 연구되고 있다. 하지만, 이러한 대부분의 연구들을 통한 결과물들이 분말 및 수용액 상태로 남게 되며, 이러한 화합물의 특성을 제어하기 어려운 문제점이 있다. 더욱이 이러한 나노구조물들을 다양한 소자로 응용하기 위해서는 상용의 실리콘이나 glass 등의 기판형태의 물질상에 성장시킬 수 있어야 하며, 그러한 기판 위에서의 형상 및 특성 제어가 용이해야 한다. 따라서 본 연구에서는 실리콘 기판을 적용한 Zn기반의 층상이중 수산화물 화합물을 성장하고, 하부물질의 조성제어를 통한 층상이중수산화물 화합물의 형상제어가 가능한 기술에 관한 연구를 보고하고자 한다. 이를 위한 하부물질의 조성은 Zn와 Al을 통해 이루어지며, 기형성된 Al2O3박막을 핵형성층으로 활용한다. 이러한 방법으로 형성된 층상이중수산화물 화합물에 대해 이차전자주사현미경, 투과전자현미경 및 X-ray회절기법을 통해 구조분석을 하고, Raman 및 광발광스펙트럼 분석을 통해 광학적 분석을 시행함으로써, 층상이중수산화물이 기판상에서 형성되는 메커니즘에 관한 규명을 시행하였다. 이러한 분석연구를 통해 핵형성층의 에칭 따라 실리콘 기판상에서 성장하는 층상이 중수산화물 화합물의 형상 및 조성이 제어되는 메커니즘을 구명하였다.
Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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2003.11b
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pp.373-376
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2003
본 연 구에서 얻어진 결과 제조업체별 수집한 합성피혁, 섬유, 플라스틱, 폴리우레탄, 실리콘수지등의 MBT, DBT의 농도는 대략 0 - 1000 ${\mu}g$/kg 정도의 분포를 나타내었고 TBT는 0-500 ${\mu}g$/kg 정도의 분포를 나타내었다. 그리고 전체적으로 합성피혁, 실리콘수지, 플라스틱 & 폴리우레탄, 천 등의 순으로 높게 검출 되었다. 이결과는 우리가 현재 가장 밀접하게 접하고 있는 신발, 스포츠의류, 가죽의류 등의 제품에서 유기주석 화합물의 인체에 미치는 유해성 대해서는 선진국에서 규제하는 수준에는 부합된다는 것을 보여준다. 갈수록 선진국에서 환경인증에 대 한 요구를 강화함에 따라 국제적 환경인증 마크인 ‘에코텍스 스텐더드(Oeko-tex standard) 100’ 에서는 다음과 같이 규제하고 있다. TBT, DBT의 두 화합물로 기준치는 TBT의 경우, Product Class I은 0.5 ppm. II, III, IV의 경우는 1.0 ppm이며, DBT 는 Product Class I(유아용) 에만 해당하고 1.0 ppm이다. 우리나라도 대부분의 선진국처럼 유기 주석 화합물의 사용을 적극 억제하는 등 법적인 장치 가 마련돼야 한다고 여겨진다. 또한 유독성의 유기주석 촉매 대체물질로서 환경 친화형인 즉, MBT, DBT, TBT가 전혀 함유되지 않은 무독성의 유기금속촉매를 개발하는데 노력을 기울여 야 할 것이다.
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2014.11a
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pp.145-146
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2014
실리콘을 기반으로 한 양극 재료는 리튬 이온전지에서 높은 용량을 위한 재료에 널리 알려져 있지만, 아직까지 극복해야 할 기술적인 문제들이 많이 있다. 이유는 전기화학 공정 중에 발생하는 큰 부피 변화 때문이다. 본 기술 동향에서는, 리튬 이온전지에 사용될 실리콘 기반 재료의 화합물 시스템, 나노 구조 배열, 재료 합성 방법, 전기화학 성능 측면에서 기술하였다. 본 논문은 실리콘을 기반으로 한 재료의 장단점과 성능과 관련한 기본 메커니즘을 이해하는 데에 좋은 자료가 될 것이다. 따라서 리튬 이온전지 연구자들에게 유익한 자료가 될 것으로 사료된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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