• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07c
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• pp.1788-1790
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• 2000

본 논문에서는 마이크로 바이오 센서에 응용하기 위한 기초 실험으로서 다공성 실리콘을 이용한 요소 센서의 특성을 고찰하였다. 센서의 감도나 내구성 측면에서 보면 전도성 고분자를 전기중합(electropolymerization)한 후 효소를 전착(electrodeposition)하여 고정화하는 것보다는 PSi 표면에 효소를 코팅한 후 그 위에 고분자를 전기 중합하는 것이 유리하였다. SEM 이미지와 EDX 스펙트럼 분석 결과로부터 urease와 polypyrrole(PPy)이 다공질 실리콘 표면에 코팅되었음을 알 수 있었으며, 요소 농도가 1mM$\sim$1M 영역(일반적인 혈중 요소 농도는 $20{\mu}M{\sim}30{\mu}M$)에서 감도는 $30{\mu}A/decade$ 였다.

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2002.05a
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• pp.74-78
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• 2002

MEMS공정을 이용하여 폴리실리콘의 piezoresistivity를 이용한 스트레인 센서어레이를 제작하였고, 이 센서 어레이를 flexible substrate에 패키징하는 공정을 개발하였다. 실리콘 웨이퍼에 표면 가공(surface micromachining)된 센서는 폴리이미드 코팅, release-etch 방법을 통해 웨이퍼로부터 분리되어 폴리이미드를 기판으로 하는 flexible sensor array module을 완성할 수 있었다. 공정은 희생층과 절연층을 증착하고 폴리실리콘 0.5 $\mu\textrm{m}$을 증착, 도핑 및 패터닝하여 센서 어레이를 구성하였다. 이 센서어레이를 flexible substrate에 패키징 하기 위해서 폴리이미드를 코팅하여 15 $\mu\textrm{m}$의 막을 구성하였고, 100% $O_2$RIE를 이용한 선택적 식각 방법으로 via hole을 구성하였다. 이후 전기도금을 통해 회로를 구성하여 1단계 패키징(die to chip carrier)과 2단계 패키징(chip to substrate)을 웨이퍼 레벨에서 완성하였다. 희생층을 제거함으로서 웨이퍼로부터 센서어레이 모듈을 분리하였다. 제작되어진 센서 모듈은 임의의 곡면에 실장이 가능하도록 충분한 flexibility를 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.186-186
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• 2011

태양전지의 효율을 증가시키기 위해서는 표면에서의 Fresnel 반사를 줄여 입사된 빛이 흡수층까지 잘 도달되도록 해야 한다. 그러나 결정질 실리콘의 경우, 굴절률이 높아 32% 이상의 표면반사율을 보이고 있어, 실리콘 태양전지 표면에 단일 또는 다중 박막의 무반사 코팅을 통해 반사율을 낮추는 방법이 널리 사용 되어 오고 있었다. 하지만, 이와 같은 코팅 방법은 열적팽창 불일치, 물질 선택의 어려움뿐만 아니라 낮은 반사율을 포함하는 파장 및 빛의 입사각 영역의 제한 등 여러 문제점을 지니고 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위해, 표면에 서브파장의 주기를 갖는 나노구조(subwavelength structure, SWS)의 형성에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 습식 식각보다 건식 식각을 이용한 SWS 제작 방법이 표면 profile을 제어하기 용이하나 패턴 형성을 위해 식각 마스크가 필요하다. 최근, 복잡하고 고가의 전자빔 또는 나노임프린트를 이용한 패턴 형성보다, 간단/저렴하며 대면적 제작이 용이한 금속 나노입자 마스크를 이용한 SWS의 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 SWS의 무반사 특성은 표면 profile에 따라 크게 영향을 받는다. 따라서 본 실험에서는 열적 응집현상에 의해 형성되는 self-assembled Pt 나노입자 식각 마스크 및 $SiCl_4$가스를 사용한 유도결합 플라즈마(inductively coupled plasma, ICP) 장비를 이용하여 무반사 실리콘 SWS를 제작하였으며, SWS 표면 profile에 따른 구조적 및 무반사 특성을 조사하기 위해 다양한 공정조건을 변화시켰다. 실리콘 기판 위의 Pt 박막은 전자빔 증착(e-beaml evaporation)법을 사용하였고, 급속 열처리(RTA)를 통해 Pt 나노입자의 식각 마스크를 형성시켰다. Pt 나노입자들의 패턴 및 제작된 무반사 실리콘 SWS의 식각 profile은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-VIR-NIR spectrophotometer를 사용하여 350~1050 nm 파장 영역에서의 반사율을 측정하였다. ICP 식각 조건을 변화시켜 5% 이하의 낮은 반사율을 갖는 높이가 높고 쐐기 형태의 실리콘 SWS를 도출하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.25 no.4
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• pp.352-356
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• 2014

PDMS modified epoxy resin with epoxy group (EMPDMS) was prepared from the reaction of ${\alpha},{\omega}$-aminopropylpolydimethylsiloxane and diglycidyl ether of bisphenol-A (DGEBA) based epoxy resin, and PDMS modified epoxy hybrid compound (EMPDMSH) was prepared by introducing alkylesteraminopropyl alkoxy silane to EMPDMS. Their structures were characterized using FT-IR, $^1H$-NMR and $^{29}Si$-NMR. Coating materials were prepared by mixing EMPDMSH base and solvent. Physical properties of the coating materials coated on epoxy/glass fiber composite film were measured according to the content of PDMS in EMPDMSH. Contact angle of coating film was increased 30 to 71 degree. Adhesive property of coating film was 5B degree better then epoxy or acrylate coating materials, and surface roughness was decreased as increasing in EMPDMSH.

• Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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• 2006.04a
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• pp.236-240
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• 2006

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07c
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• pp.1908-1910
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• 2001

본 논문은 마이크로머시닝 기술을 이용하여 lift-off 공정으로 패턴닝 한 후 TMAH (Tetramethylammonium Hydroxide) 용액으로 $5{\sim}100{\mu}m$ 두께의 실리콘 다이어프램을 제작하였다. Pt/Ti 박막을 HF 전해질의 mask 물질로 사용하여 HF 용액 내에서 전기화학적 방법으로 정전압을 인가, 다이어프램 영역에 다공질 실리콘을 성장시켜 관통하였다. 140$^{\circ}C$의 질소 분위기에서 $10{\sim}15{\mu}m$두께의 LDPE(Low Density Poly Ethylene) 필름을 물리적으로 다이어프램 영역에 코팅하고 $K_2CO_3$ 용액내에서 ${CO_3}^{2-}$ 이온의 barrier에 의한 전류의 감소를 전기화학적인 분석방법에 의하여 측정하였다. 일정 전압하에서 이온 농도에 기인하는 다공질 실리콘과 LDPE 표면에서 Barrier의 두께에 따른 저항의 증가를 전극으로 감지하여 농도-전류의 특성을 측정하고 이것을 기준으로 하여 미지농도의 $K_2CO_3$ 용액내의 ${CO_3}^{2-}$ 이온 농도를 측정하였다.

• Elastomers and Composites
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• v.34 no.4
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• pp.315-320
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• 1999

Surface modification of silicone rubber by low temperature plasma process was investigated to improve quality of silicone EVD tube by reducing tackiness and hydrophobicity. Treatment with nonpolymer-forming plasmas and thin film deposition with polymer-forming plasmas were tried. Tackiness could significantly be reduced, especially by thin film deposition. As a result, the tube became slippery and less vulnerable to contamination in laboratory environment. Inner as well as outer surface of the tube could be changed to be hydrophilic if the plasma contained oxygen. As a result, initial hydrodynamic resistance was reduced. The surface modification did not give any bad influence on mechanical properties of the silicone tube in most cases. Rather, some properties such as Young's modulus, ultimate tensile strength and elongation at break were improved.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.21 no.2
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• pp.99-105
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• 2012

We fabricated the textured silicon (Si) surface on Si substrates by the electrochemical etching using gold (Au) nanoparticle catalysts. The antireflective property of the fabricated Si nanostructures was improved. The Au nanoparticles of ~20-150 nm were formed by the rapid thermal annealing using thermally evaporated Au films on Si. In the chemical etching, the aqueous solution containing $H_2O_2$ and HF was used. In order to investigate the effect of electrochemical etching on the etching depth and reflectance characteristics, the sample was immersed in the aqueous etching solution for 1 min with and without applied cathodic voltages of -1 V and -2 V. As a result, the solar weighted reflectance, i.e., the averaged reflectance with considering solar spectrum (air mass 1.5), could be efficiently reduced for the electrochemically etched Si by applying the cathodic voltage of -2 V, which is expected to be useful for Si solar cell applications.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.15 no.1
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• pp.32-38
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• 2014

In the present study, immersion corrosion characteristics of Zn and Al thermal spray coating with sealer for the seawater heat exchanger are experimentally investigated. Total 8 coating types of Zn and Al thermal spray coating with silicone and epoxy sealer were tested with immersion corrosion testing in $80^{\circ}C$ 3.5%w NaCl solution and compared the corrosion characteristics between each coatings. To investigate the corrosion characteristics of the specimens, AC impedance, SEM, and thermal diffusivity were acquired and analyzed. As a result, on the surface of the specimens with silicone and epoxy sealer, blister did not occurred, so the sealers might be effective at increasing the corrosion resistance of the specimens immersed in the NaCl solution.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2002.11a
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• pp.297-299
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• 2002

섬유 코팅제로 널리 쓰이고 있는 액상 PVC는 무광택이면서 고무 특성을 갖고 있으나 환경오염 물질로서 최근에 사용이 제한되고 있다. 이를 대체할 수 코팅 물질로 Elastomer계열의 액상실리콘 고무를 사용했다. 본 연구의 목표는 2차 가공 없이 플라스틱 직물표면의 무광택성과 유연성을 증가시키는 것이다. 기존 액상 PVC 공정과 동일하게 진행했으며, 로울러의 압축력과 공정상의 예비경화를 이용했다.