Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.328-328
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2010
반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.
In this study, the effect of temperature and soil confining stress on geosyntheic stress-strain properties was quantified by performing the temperature dependent confined tension tests for four types of geosynthetic including woven geotextile, composite, geomembrane and geogrid specimen. Temperature instrumentation on the GRS-retaining wall constructed in Jaechon-shi area was also performed to examine the a seasonal temperature variation of geosynthetic reinforcements in the backfill. Based on the test results, a comparison was made between unconfined and confined moduli far each temperature to quantify the soil confinement and temperature effect on stress-strain properties. And it was also proposed that the simple expressions for the secant moduli of geosynthetics as a function of temperature and confining stress on geosynthetics. As a result of the FDM analysis of GRS-retaining wall, the method of considering the effect of temperature and confining stress on geosynthetic reinforcements when performing the FDM analysis of GRS-retaining wall was proposed.
It was determined to effects on cold test(CT) and smoke point (SP) of deodorizing temperature(DT) in corn oil. Increase of DT was induced to decrease of CT in deodorized oil, which was against the winterized oil inleted. Especially, the decrease of CT in deodorized oil was sharply at more than 26$0^{\circ}C$, this phenomenon was supposed to according the increase of total saturation degree as well as SU2, S2U, and S3 type triglyceride content. On the other hand, SP was showed the highest value as 242$^{\circ}C$ at DT as 24$0^{\circ}C$, the value was decreased to 235~238$^{\circ}C$ at DT as 245~27$0^{\circ}C$. This phenomenon was appeared in inverse proportion to the acid value of sample oils. Accordingly, high temperature deodorizing proved to be a very undesirable effect between general physicochemical characteristics, fatty acid composition and CT, SP etc.
To prevent the explosive spalling of the high strength concrete and control the rise of temperature in the steel rebar during fire, a fiber cocktail method has been proposed simultaneously with the use of polypropylene and steel fiber. After applying the fiber cocktail (polypropylene and steel fibers) into the mixture of high strength concrete with a compressive strength of between 40 and 100 MPa and evaluating the thermal properties at elevated temperatures, the fire test was carried out on structural members in order to evaluate the fire resistance performance. Two column specimens were exposed to the fire without loading for 180 minutes based on the standard curve of ISO-834. No explosive spalling has been observed and the original color of specimen surface was changed to light pinkish grey. The inner temperature of concrete dropped rapidly starting from 60mm deep. After 60 minutes of exposure to the fire, the temperature gradient of fiber cocktail reinforced high strength concrete was measured as 2.2oC/mm, which is approximately 5 times less than that of normal concrete. The final temperatures of steel rebar after 180 minutes of fire test resulted in 488.0oC for corner rebar, 350.9oC for center rebar, and 419.5oC for total mean of steel rebar. The difference of mean temperature between corner and center rebar was 137.1oC The tendency of temperature rise in concrete and steel rebar changed between 100oC and 150oC The cause of decrease in temperature rise was due to the water vaporization in concrete, the lower temperature gradient of the concrete with steel and polypropylene fiber cocktails, the moisture movement toward steel rebars and the moisture clogging.
In, Sang-Ryeol;Gang, Sang-Baek;No, Yeong-Ho;Yu, Jae-Gyeong
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.119-119
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2013
5년 동안 진행된 고진공 펌프 개발 사업의 일환으로 맥동관형 냉동기에 활성탄 어레이를 장착한 흡기구 직경 14인치 국산 크라이오펌프 완제품이 만들어졌다. 이미 지난해에 완성한 시제품을 가지고 모든 배기성능시험을 완료하고 목표를 뛰어 넘는 성능을 가지고 있음을 입증하였지만 완제품의 경우는 현장에서 스퍼터링 공정에 대한 신뢰성과 열적 내구성 시험이 중요한 항목으로 대두되었다. 개발된 펌프를 생산 공정에 직접 투입하는 모험을 하지 않으면서도 신뢰성을 확보하는 방편으로 카이스트 나노종합팹 센터에서 가동중인 스퍼터링 장비에 완제품을 달고 기존 공정과 같은 방식으로 장치를 운영하면서 외제 상용품을 사용했을 때와 진공성능 및 공정수율을 비교하는 시험을 수행하였다. 또 내구성 시험 항목으로 열부하 시험과 열 사이클 시험을 수행하였다. 열부하 시험은 300도까지 온도를 올릴 수 있는 열판을 펌프 흡기구 배플 앞에 설치하여, 냉동기 2차 냉각단 온도가 20 K 이하로 유지될 수 있는 최대 허용 복사열을 측정하는 방식으로 진행되었으며 열 사이클 시험은 크라이오 펌프의 활성화 기능을 활용하여 완전 활성화(full regen., 10K-300K-10K) 과정을 10회 연속 시행하여 펌프의 배기성능과 기계적 이상 유무를 관찰하였다.
수문관측용으로 사용되는 우설량계는 측정의 편의성과 강인성의 장점 때문에 대부분 전도형 우설량계를 사용하고 있으며, 하절기에는 강우량을 측정하고 동절기에는 강설량을 측정할 수 있도록 구성되어 있다. 동절기에 강설량을 측정하기 위하여 자동 히팅하는 장치가 포함되어 있어, 눈이 생성될 수 있는 온도조건에서 히터가 작동되고 적정온도가 되면 히터의 동작을 멈출 수 있도록 히터 및 온도센서가 구성되어 있다. 우설량계의 유지.관리 측면에서 주기적으로 동작상태 등을 점검하고 있으며, 히팅장치도 점검의 대상이다. 그러나 히팅장치의 동작 유무를 판단하는 방법에 있어서 효율적인 방법을 사용하고 있지 않고 있다. 따라서 본 연구에서는 평상시에 우설량계 점검시 온도센서에 의해 감지되는 가변적인 온도신호에 따라 히터가 제대로 작동되는지의 여부를 판단하기 위하여, 사전에 점검하기 용이하도록 우설량계 히터 동작시험 장치를 개발하였으며, 이 장치에 대한 동작특성을 분석하고자 한다.
Kim, Dong-Hyun;Kim, Chang-Wook;Park, Sung-Won;Choi, Myung-Jun;Seo, Heung-Seog;Park, Sang-Bong
Proceedings of the KIEE Conference
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2007.07a
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pp.925-926
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2007
전자계 및 열/유동 해석 프로그램을 활용한 수치해석적 방법으로 변압기 외함의 자계손실과 온도상승을 계산하는 경우, 많은 시간이 소요되기 때문에, 설계 또는 고객 요구시 신속한 대응이 어렵다. 따라서 3차원 간이 계산법을 정립하여 신속 정확한 해석적 방법으로 접근할 필요가 있었다, 본 연구에서는 권선의 누설자속에 의해 발생하는 변압기 외함의 자계손실을 계산하고 이에 따른 온도상승을 추정하고자 하였다. 또한, 실제 변압기의 온도상승 시험을 통해 온도상승 계산 결과의 정확성을 검증하고자 하였다.
Recently, construction disasters in thawing season are increasing due to the ground collapse and it is related to the improper compaction during winter season. Compaction at sub-zero temperature reduces the compaction effect and the research of mechanical properties of thawed soil after winter compaction can be used as useful data to understand the behavior of the ground in the thawing season. On the other hand, the research interest in the unsaturated soil mechanics has been increasing in the field of the geotechnical engineering. Therefore, it is expected that the research of unsaturated characteristics under the compaction of sub-zero temperature and freezing & thawing condition provides information to the researchers in the related fields. Therefore, in this research, unsaturated soil-water characteristics test and unsaturated uniaxial compression test were conducted on the specimens compacted at sub-zero temperature and continuous freezing & thawing condition to investigate change of unsaturated characteristics and matric suction. Based on the test results, the change of matric suction and the decrease of strength and stiffness were observed with the freezing & thawing conditions. Especially in case of the weathered soil, the strength and matric suction were significantly reduced with lower temperature and more repetition of freezing & thawing cycles. This result implies that compaction of sub-zero temperature and freezing & thawing cycles will have a considerable influence on the stability of the ground.
This study was carried out to investigate the minimum days for raising infant rice seedling with different temperature (day/night $^{\circ}C$ : 20/12, 25/18, 30/20) and to compare with seedling growth and rooting ability at 10 days after transplanting with endosperm-intacted and removed seedlings. The minimum days for raising infant rice seedling was shown differently with different temperatures, thus there were turned out by mat formation to be 10 days at 20/12$^{\circ}C$ (day/night), 8 days at 25/18$^{\circ}C$ and 6 days at 30/20$^{\circ}C$, respectively. Seedling height, leaf number and dry weight of top part at the minimum days for raising infant rice seedling were 8-12cm, 1.5-1.7 leaves and 6.9-7. 5cm per seedling, respectively. The seedling growth at 10 days after transplanting was better at high temperatures (25/18$^{\circ}C$) than low temperature (20/12$^{\circ}C$) at transplanting, and the growth of infant rice seedling with endosperm -intacted was better than that with endosperm-removed. This tedency was shown significantly in transplanting at 20/12$^{\circ}C$ (day/night) of 4 days seedling.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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