• 센서학회지
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• 제9권3호
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• pp.233-241
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• 2000

본 연구에서는 동일한 테스트 구조물을 사용하여 현재 다결정실리콘 표면 미세가공 기술에서 널리 사용되고 있는 여러 가지 점착 방지법들의 성능을 비교하였다. 테스트 구조물로는 다양한 폭과 길이를 갖는 일반적인 cantilever와 dimple, antistiction tip, plate를 가지는 cantilever를 사용하였으며 구조물 형태에 따른 점착 방지 결과를 관찰하였다. 희생층 제거 후 구조물과 기판의 점착을 결정하는 건조과정에서는 증발법과 승화건조법을 사용하였다. 증발법에서는 methanol, IPA, DI water 등을 여러 최종 세척액으로 사용하여 표면장력과 세척 온도에 따른 점착 방지 결과를 비교하였다. 승화건조법에서는 중간 세척액으로 methanol을 사용하였다. 그리고 동일한 실험조건으로 stress gradient가 있는 동일한 구조물을 사용하여 stress gradient에 의한 점착 방지 결과를 관찰하였다. 결론적으로 승화건조법이 여러 가지 증발법보다 우수한 결과를 보여주었고 다결정 실리콘 표면 미세가공 기술로 미세 구조물을 부양시킬 때 승화건조법이 가장 우수한 방법이라고 사료된다.

• 한국결정학회지
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• 제3권1호
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• pp.23-30
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• 1992

단결정 a-SiC성장시 결정성장로의 감압속도가 결정 성장 속도, 결정성, 성장방향에 미치는 영향 을 고찰해 보기 위해서 승화법으로 (001)면 a-SiC 단결정 종자정위에 단결정 a-SiC를 성장시켰다. 결정성장 초기에는 성장로의 빠른 감압 속도에 따라 결정성장속도가 빨라지고 3C-SiC 다결정이 종자정위에 성장하였고, 감압속도를 느리게 한 경우에는 결정성장 속도가 느려지고 6H-SiC 단결정이 성장하였다. 초기에 단결정층이 성장하는 조건 하에서 2시간 성장후의 단면 성장 양상을 보면, 종자정 하단에서 발생하는 낙은 종자정의 연속적 인 승화 때문에 종자정과 초기의 단결정층이 소멸 되고, 종자정이 놓여있던 혹연 도가니의 바닥으로부터 연속적으로 다결정 층이 성장된 것이 관찰되었다. 그러나, 이러한 종자정의 승화 소멸은 초기 성장 후 냉각과정을 거치고 다시 승온시키는 두 단계 공정을 사용함으로써 효과적으로 억제시킬 수 있었다. 이와같은 방법으로 장시간 성장시킨 결정은 6H-HiC 단결정이었으며, (001) 방향으로 성장하였다.

• 한국항공우주학회지
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• 제45권8호
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• pp.697-703
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• 2017

펄스형 플라즈마 추력기의 성능해석을 위해 Teflon의 승화와 이온화 모델링을 수행하였다. PPT 작동 시 발생하는 방전 전휴의 변화를 예측하기 위해 일차원 lumped circuit model을 적용하였으며 Mickeal Keidar가 제시한 테플론-플라즈마 온도에 따른 테플론 승화 모델을 적용하였다. Saha 방정식을 이용하여 테플론 구성 원소인 탄소와 불소분자의 이온화를 예측하였다. 프로그램 검증을 위해 선행실험 결과와 비교하여 유사함을 확인하였으며 PPT 작동 전압에 따른 전류 변화정도를 고찰하였다.

• 보존과학회지
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• 제31권4호
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• pp.351-360
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• 2015

본 논문은 석조문화재 해체과정에서 발생할 수 있는 표면 손상부분 보강방안 마련을 위해 승화성 강화처리제인 시클로도데칸을 사용한 임시 강화처리제를 연구한 결과이다. 기존 발포성 우레탄 폼을 사용한 보강방법의 단점을 보완하기 위해 시클로도데칸을 용제에 희석하여 표면 및 박리 내부를 보강하여 부재를 해체한 후 $60^{\circ}C$ 내외의 열을 가해 승화시키는 처리방법에 관한 것이다. 이와 같은 방법은 시클로도데칸이 전량 승화되는 뛰어난 가역성과 손상된 표면의 보강과 강화에 필요한 강도를 담보할 수 있다는 장점이 있으나, 용제에 따라 효과가 다를 수 있으므로 본 연구에서는 석유에테르에 희석하는 방법 또는 중탕하여 적용하는 방법에 대한 연구를 진행하였다. 실험결과 현장에서의 작업여건을 고려하여 박리부분 주입 및 충전은 석유에테르 중탕 방법, 표면 도포는 석유에테르에 희석한 시클로도데칸으로 임시 강화처리하는 것이 가장 적합할 것으로 확인되었다.

• 전산구조공학
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• 제23권2호
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• pp.18-20
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• 2010

• 정보과학회지
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• 제13권7호
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• pp.5-15
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• 1995

• 펜@디지털
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• 통권9호
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• pp.42-45
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• 2004

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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• pp.50-50
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• 1997

• 광학과기술
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• 제16권3호
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• pp.28-32
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• 2012

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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• pp.14-14
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• 1995