• 제목/요약/키워드: 스피닝 로터 게이지

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스피닝 로터 게이지 교정 불확도 (Calibration uncertainty of a spinning rotor gauge)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.7-15
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    • 2003
  • 스피닝 로터 게이지는 표준기관의 고진공 국제비교에 전달표준기로 상용되고 있으며, 고진공 국가표준기인 동적교정장치를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 교정하였다. 교정 결과의 불확도를 국제표준화기구에서 권고한 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하는 방법을 제시하였다. 이 방법에 따라 평가한 스피닝 로터 게이지의 합성표준불확도는 $1.8007\times10^{-5}$ Pa ~$4.8422\times10^{-5}$ Pa 이었다.

정적법 고진공표준기에 의해 교정한 스피닝 로터 게이지 불확도 평가 (Uncertainty Analysis of Spinning Rotor Gauge Calibrated by High Vacuum Standard of Static Expansion Method)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.186-194
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    • 2005
  • 정적법 고진공 표준기를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 $4.04\times10^{-3}$ $Pa\~1.11\times10^{-2}$Pa에서 교정하였으며, 그 결과를 국제표준화기구에서 권고한 측정불확도 표현지침에 따라 불확도를 계산 및 평가하였다. 평가 결과 기준압력 $7.5488\times10^{-3}$ Pa에서 교정된 SRG의 합성표준불확도는 $95\%$ 신뢰수준, 포함인자 k = 1에서 $3.0035\times10^{-5}$ Pa로 나타났다.