고압 스퍼터링 방법에 의한 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ 박막의 $\alpha$ 축 방향 성장
(Preparation of $\alpha$ -axis Oriented $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ Thin-Film by High-Pressure Sputtering)
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- 한국진공학회지
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- 제4권2호
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- pp.189-193
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- 1995