• 제목/요약/키워드: 스트리퍼

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포토레지스트 스트리퍼 폐액으로부터 고순도 유기용제 회수 (Reclamation of High Purity Organic Solvents from Waste Photoresist Stripper)

  • 김대진;오한상;김재경;박명준;이문용;구기갑
    • 청정기술
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    • 제13권4호
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    • pp.257-265
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    • 2007
  • 반도체 공정에서 배출되는 폐 포토레지스트 스트리퍼(photoresist stripper)의 주성분인 NMP (N-methy-pyrrolodione)와 BDG (Butyldiglyrcol)를 회수하여 재활용할 목적으로 나선형 스핀밴드시스템(spinning band stem)이 장착되어 있는 진공증류장치를 이용하여 실험실적 규모의 증류실험을 수행하였다. 정제된 NMP와 BDG의 순도는 포토레지스트 스트리퍼용 용제 기준 물성치인 순도 99.5% 이상이었고, 수분 1000 ppm 이하, 색도(APHA) 50 이하, 나트륨 성분을 제외한 대부분의 금속성분은 1 ppb 이하로 반도체용 스트리퍼 용액 제조에 재활용할 수 있는 수준임을 확인하였다. NMP와 BDG의 회수을은 PR스트리퍼 폐액 A 타입의 경우 NMP 96%, BDG 53%, B 타입의 경우 NMP 93%, BDG 57%이었다.

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특허(特許)로 본 스트리핑 공정(工程) 재활용(再活用) 기술(技術) 동향(動向) (Trend on the Recycling Technologies for the waste stripper solution by the Patent Analysis)

  • 박명준;이호경;구기갑;강경석;한혜정
    • 자원리싸이클링
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    • 제18권1호
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    • pp.58-67
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    • 2009
  • 국내 포토레지스트 스트리퍼의 연간 소요량은 약 1000억원 규모(50, 000톤)로 대부분 전량 수입에 의존하고 있으나, 폐스트리퍼에는 각종 불순물이 함유되어 있어, 소각 또는 낮은 수준으로 재활용되어 오는데 그치고 있다. 최근 경제적 측면과 효율성 측면에서 스트리퍼 폐액의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 논문에서는 스트리퍼 폐액의 재활용에 관한 특허 기술을 분석하였다. 분석범위는 2007 9월까지 미국, 유럽연합, 일본과 한국에서 출원 및 공개된 특허로 제한하였다. 특허들은 전체적으로 검색어를 사용하여 수집되었고, 기준 기술 이외의 것을 여과하였다. 특허기술의 경향은 년도와 국가별, 기업 및 관련기술 분야별로 분석되었다.

LCD 제조공정에서의 폐용매 분리처리를 위한 공정 설계 (Design of Waste Solvent Treatment Process from LCD Manufacturing Process)

  • 윤문규;이문용
    • 청정기술
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    • 제14권4호
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    • pp.275-280
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    • 2008
  • 연구에서는 LCD 제조 공정에서 배출되는 스트리퍼와 디벨로퍼 혼합 폐액(SD폐액)과 스트리퍼 폐수의 효과적 분리 및 처리를 위한 가능한 기술로서 추출공정과 증류공정의 기술적/경제적 타당성을 검토하였다. SD폐액과 스트리퍼 폐수의 추출분리를 위한 용매로 $CHCl_3$가 여러 가지 관점에서 가장 적절한 용매로 확인되었다. 또한 SD폐액 분리 회수를 위한 공정으로서 추출공정과 증류공정의 두 가지 공정에 대하여 정밀 전산모사를 수행한 결과 $CHCl_3$를 이용한 추출분리공정이 단순증류공정보다 6배 정도 에너지 소요비용이 적게 소요됨을 확인할 수 있었다.

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유동해석에 의한 연료전지용 수소 재순환 블로워 개발 (Development of Hydrogen Recirculation Blower for Fuel Cell Vehicle by Flow Analysis)

  • 심창열;홍창욱;김영수
    • 유체기계공업학회:학술대회논문집
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    • 유체기계공업학회 2005년도 연구개발 발표회 논문집
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    • pp.684-689
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    • 2005
  • Parametric calculation were conducted to estimate performance of variable geometry of hydrogen recirculation blower for fuel cell vehicle. The pressure rise and efficiency are effected by change of the geometric parameter of impeller and casing, and stripper clearance under various mass flow. Hydrodynamic performance were evaluated, and also the inner flow fields were investigated by CFD. Calculated results show good coincidence with experimental test results of total pressure performance. Performance of model designed by parametric calculations satisfied experimental data of verification model.

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T 형 제품의 파인 블랭킹 가공 특성 (Fine Blanking Characteristics of T-shaped Blanks)

  • 장영도;최치수;김대현;김종호;류제구
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1996년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.598-602
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    • 1996
  • This study is performed for investigating the effects of stripping and counter punching force on shearing characteristics in fine blanking, such as camber, burr-height and dimensional accuracy, etc by experiments. Conventional hydraulic press equipped with specially designed hydraulic unit is used for experiments so that both the stripping force and counter punching force are arbitrarily adjusted according to experimental conditions. Two kinds of materials, hot rolled steel sheet(1mm, 3mm) and pure aluminum(1mm, 3mm) are selected in order to examine the influence of strength and thickness of working materials in blanking of T-shaped products. Based on the experimental results of this study, it can be concluded that the finely cut surface of sheared blank can be obtained even in conventional hydraulic press if additional equipments and special dies are employed.

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고압 이단 링블로워의 삼차원 유동해석 및 성능평가 (FLOW ANALYSIS AND PERFORMANCE EVALUATION OF HIGH PRESSURE DOUBLE STAGE RING BLOWER)

  • 이기돈;김광용
    • 한국전산유체공학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.85-89
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    • 2007
  • In the present work, flow analysis has been performed for side channel type double stage ring blower by solving three-dimensional Reynolds-averaged Navier-Stokes equation. Shear stress transport model is used as turbulent closure. The commercial CFD code CFX 11.0 is used for the calculations. Each of two stage is calculated separately and the second stage inlet flow is same as the first stage outlet flow so that consecutive calculation is possible. Velocity and pressure fields have been analyzed at the mid-plane between blades. The numerical results are validated with experimental data for head coefficients at different flow coefficients.

프레스다이용 코일스프링의 신뢰성평가 및 고장분석 사례 발표

  • 고세현;박상용;장진만;이원식
    • 한국신뢰성학회:학술대회논문집
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    • 한국신뢰성학회 2006년도 학술발표대회 논문집
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    • pp.239-246
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    • 2006
  • 프레스다이용 코일스프링은 자동차 및 전자제품의 외형생산에 필요한 금형 내에 장착되는 금형용 스프링으로서 녹아웃 및 스트리퍼 등에 사용되고 있다. 프레스다이용 코일스프링이 사용 중 파손 시에는 고가인 금형의 손상 및 생산성에 영향을 미칠 수도 있기 때문에 사용 환경에서의 신뢰성확보가 요구되어지고 있다. 특히 중(重)하중 및 극중(極重)하중용 스프링은 과거 현장에서 파손사례가 자주 발생함으로 인해 외산을 선호하는 경향이 있는 형편이다. 이에 국산 스프링의 신뢰성검증 및 확보를 위해 신뢰성기반구축사업을 통해 신뢰성평가기준(RS D 0014)가 제정되었으며, 이 평가기준에 의거하여 국내 업체의 제품에 대해 신뢰성평가를 실시하였다. 프레스다이용 코일스프링의 파손원인은 주로 반복하중에 의한 피로파손과 일정한 변위의 변형으로 발생하는 코일스프링 자유높이의 축소로 크게 구분되어질 수 있다. 시험결과 주 파손양상은 피로에 의한 균열발생이었으며, 코일 끝단부와 끝단부 직하부의 코일과의 마찰에 의한 균열발생이 주원인이었다. 즉, 코일의 끝단면과 직하면 코일이 연속적으로 부딪침으로써 발생한 변형 및 마모에 의해 표면균열이 발생하고, 표면균열에서 반복적인 부하하중이 가해짐으로써 피로균열 진전을 통해 점차적으로 파손이 진행되어졌음을 알 수 있었다. 본 발표에서는 기준에 의거하여 로하중용 프레스 다이용 코일스프링을 평가한 신뢰성평가시험 결과에 대해 보고하고, 파단면 관찰과 외산제품과의 미세조직 및 조성 등의 비교분석결과 등을 기초로 파손원인을 분석한 결과에 대해 보고하고자 한다.제고할 수 있을 것으로 기대한다.X>$CdCl^+,\;CdSO_4$ 등이 형성되었다. 수은의 경우는 해수 및 증류수를 용출용매로 이용한 모든 경우에서 납, 구리, 카드뮴과는 달리 대부분 침전하였다. 더욱이 해수에 존재하는 고농도 염소($Cl^-$)와의 수착으로 인해 finite solid인 calomel($Hg_2Cl_2$)이 형성되어 대부분 침전(SI=0)되기 때문에 납, 구리, 카드뮴 보다 더 낮은 환경이동성을 갖을 것으로 사료된다. 상기 실험결과 용출용매로 증류수와 해수를 이용했을 때, 제강 슬래그에서 용출되는 납, 구리, 카드뮴, 수은의 용출 경향의 차이를 확인할 수 있었고 이에 따라서, 납, 구리, 카드뮴의 용출 유해성은 낮기 때문에 해양구조물로의 제강슬래그 유효이용은 적합할 것으로 판단되었다.im80%$로 계산되었다. 열형광선량계로 측정된 방사선량은 각각 1.8, 1.2, 0.8, 1.2, 0.8 (70 cm 거리) cGy로 측정되었으며, 환자의 복부 표면에서의 서베이메터를 이용한 측정량은 10.9 mR/h였다. 차폐구조물의 사용 시 전체 치료 동안에 태아선량은 약 1 cGy 정도로 평가되었다. 결론 : AAPM Report No.50의 자료에 따르면, 임산부의 방사선 치료 시 태아의 방사선 피폭선량은 5 cGy 이하일 경우에 방사선 피폭에 따른 태아의 위험이 거의 없는 것으로 제시되고 있다. 본원에서 차폐 구조물을 설치하였을 경우에 측정된 태아선량은 약 1 cGy로 측정되었고, 고안된 차폐구조물

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