• 한국항해항만학회지
• /
• 제39권3호
• /
• pp.253-260
• /
• 2015

열악한 작업환경 때문에 수중항만공사를 기계화하려는 많은 노력들이 시도되고 있다. 본 논문은 수중항만공사 중 사석 고르기 작업을 수행하는 수중건설로봇에 대해 기술한다. 로봇의 블레이드는 울퉁불퉁한 지형에서도 사석 마운드를 기준면에 대해 평편하게 고르고, 다목적암은 사석을 파고, 채울 수 있게 설계되었다. 본 연구는 로봇에 설치된 위치 및 방위 센서와 동기를 이루면서 주행과 스윙운동이 포함된 다목적암과 블레이드의 기구학을 해석한다. 기준수심센서에 부여된 월드좌표에 대해서 블레이드와 다목적암의 위치와 방위를 나타내고, 기준면과 나란한 고르기 작업을 위한 형상을 찾는다. 고르기 작업을 위한 유압제어시스템을 개발하며, 로봇에 의한 육상 및 수중 사석 고르기 작업을 실시해 실험결과를 보인다. 로봇의 작업속도는 잠수부보다 8배 정도 빠르며 작업품질도 우수한 것으로 평가된다. 잠수부가 작업할 수 없는 대수심에서는 효율성이 더 좋을 것으로 기대된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.47-48
• /
• 2007

A CMP Process has many factors that affect result of a polished wafer. Dominant factors are velocity, pressure and temperature in process. A pad profile is also considered as affecting factor of CMP. Accoding to variation of a pad profile, the each pan of a wafer is differently pressured. It appears to affect the uniformity of a wafer. A pad profile varies as a swing arm conditioner which have been ordinarily used in industry. A swing arm conditioner has several sectors in its swing path. This study aims that a wafer get a good uniformity as swing arm conditioner's path on pad is analyzed and simulated. Through the simulation, tendency of pad profile after conditioning will be predicted and the result of simulation compared with the result of experiment. The optimized pad profile would be made by to vary swing arm's velocity on each sector. In order to maintain the optimized profile, conditioner design or swing arm's velocity should be changed and designed.