• Analytical Science and Technology
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• v.9 no.1
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• pp.26-34
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• 1996

A method to determine the trace amount of Se and Bi in the scalp hair using the hydride generation inductively coupled plasma atomic emmission spectrometry was studied. The optimum operation conditions of ICP for hydride generation are 0.6~0.8L/min for the carrier gas flow rate, and 6mm above the induction coil for the observation height. Hydrochloric acid concentrations for the optimum hydride generation conditions were greater than 1.5M when 2.5% $NaBH_4$ and NaOH were used, and greater than 0.5M when 2.5% $NaBH_4$ and 0.1% NaOH were used. Severe interference effects are observed from transition metals such as Cu and Ni, and they could be circumvented by the coprecipitation with lanthanum hydroxide.

• Journal of the Korean Electrochemical Society
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• v.4 no.2
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• pp.70-76
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• 2001

The present work describes the capabilities of laser beam deflection (LBD) technique for the analysis of the stresses developed during hydrogen diffusion through Pd foil electrode. First, we explain briefly the elasto-diffusive (Gorsky effect) and diffusion-elastic phenomena. A model for the diffusion-elastic phenomenon is theoretically derived from the solution of the Fick's equation for given initial and boundary conditions, Vegard's second law and Hooke's law. Second, we introduce how to apply the principle of LBD technique to the study on the stresses generated during hydrogen diffusion. From the comparison of the deflection transients numerically calculated with those experimentally measured, we finally discuss the change in the tensile deflection with time in terms of hydrogen concentration profile transient and hydrogen diffusivity.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.113-113
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• 2012

플라즈마 내에서 발생하는 입자는 플라즈마 내 전기적 및 화학적 특성으로 인해 응집이 적고 균일한 특성을 가진다. 이에 따라 도포성이 좋으며 낮은 응력을 가지는 박막의 형성이 가능하다. 이러한 특성을 가지는 나노입자는 메모리, 고효율 박막형 태양전지 등에 이용될 수 있다. 특히, PECVD (Plasma enhanced chemical vapor deposition) 공정 중 플라즈마가 켜져있는 동안 수소 가스를 펄스형태로 추가 주입하는 방법은 실리콘 이온 사이의 결합을 통한 표면 성장을 일부 방해하여 이를 통해 최종적으로 생성되는 실리콘 입자의 크기제어를 가능하게 한다. 이러한 과정으로 PECVD내에서 생성된 입자의 입경 분포는 기존의 경우 공정 중 포집을 한 후 전자현미경을 이용하였지만 실시간 측정이 불가능한 한계가 있었고, 레이저를 이용한 실시간 측정은 그 측정범위의 한계로 인해 적용에 어려움이 있었다. 이에 따라 본 연구에서는 저압에서 실시간으로 나노입자 크기분포 측정이 가능한 PBMS (particle beam mass spectrometer)를 이용하여 PECVD 내에서 수소가스 펄스를 이용하여 발생되는 실리콘 입자를 공정 변수별로 측정하여 각 변수에 따른 입자 생성 경향을 분석하였다. 실리콘 나노 입자의 측정은 PBMS 장비의 전단 부분을 PECVD 장치 내부에 연결하여 진행하였다. 수소 가스 펄스를 이용한 실리콘 입자 생성의 주요 변수는 RF pulse, $H_2$ pulse, 가스 유량 (Ar, $SiH_4$, $H_2$), Plasma power, 공정 압력 등이 있다. 이와 같이 주어진 변수들의 제어를 통해 생성된 나노입자의 입경분포를 PBMS에서 실시간으로 측정하고, 동일한 조건에서 포집한 입자를 TEM 분석 결과와 비교하였다. 측정 결과 각각의 변수에 대하여 생성되는 입자의 크기분포 경향을 얻을 수 있었으며, 이는 추후 생성 입자의 응용 분야에 적합한 크기 분포 특성을 가지는 실리콘 입자를 제조하기 위한 조건을 정립하는데 중요한 역할을 할 것을 기대할 수 있다.

• Membrane Journal
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• v.31 no.2
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• pp.133-144
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• 2021

Alkaline water electrolysis system is the oldest technology among various hydrogen production processes to produce green hydrogen with the least amount of greenhouse gas generated. Alkaline water electrolysis (AWE) system is used in alkaline atmosphere condition. In comparison to polymer electrolyte membrane water electrolysis (PEMWE), this system can utilize stable transition metals such as nickel, cobalt, and silver, as electrode catalysts. AWE is relatively inexpensive, and can easily be scaled up to large scale. The system is a mature technology, as it has been in operation since the beginning of the 20th century in MW-scale for hydrogen generation, and there are currently more than 20 commercial manufacturers. In this review, the basic principles of AWE, along with catalysts, electrodes, and diaphragm membranes, are summarized. Particularly, the research and development trends of the diaphragm membrane unit, which is the core component of an AWE, are discussed in detail.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 1999.10a
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• pp.1-1
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• 1999

2유체 동축인젝터(coaxial twin fluid injector)는 액체산소와 액체수소를 추진제로 사용하는 SSME(Space Shuttle Main Engine)이나 유럽의 Arian 5 Vulcain 엔진과 같은 저온추진제 엔진에 널리 사용되고 있다. 추진제를 미립화 시키는 장치로서 사용하는 다른 여러 형태의 인젝터에 비교할 때 저속의 액체산화제 주위에 고속의 가스연료가 분사됨으로서 발생되는 전단력에 의해 추진제가 미립화되는 특징을 가지며, 이러한 메카니즘은 매우 복잡하여 아직까지 정확히 규명되지 못하고 있는 실정이다.

• The Science & Technology
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• v.33 no.2 s.369
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• pp.22-23
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• 2000

연료전지는 수소와 산소의 전기화학적인 반응에 의해 전기를 발생시키는 장치로 열효율이 매우 높으며 배기가스는 대부분 수증기이기 때문에 청정에너지원으로 인정되고 있다. 연료전지를 자동차용 동력원으로 사용하기 위한 기술은 80년대 말부터 개발되기 시작했는데 현재 개발된 차량을 시험운행하면서 기술적, 경제적인 검토를 진행하고 있는 단계이다. 국내의 기술개발 실정은 현재 4kw성능의 시스템이 개발되어 있으며 2000년엔 10kw급, 2002년엔 25kw급 연료전지를 탑재한 하이브리드 승용 시험차 개발사업을 추진하고 있다.

• Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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• v.7 no.5
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• pp.73-80
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• 1999

To decrease NOx and SOx using PPCP(Pulse-induced Plasma Chemical Process). This study is tried to obtain the relation and the basic data under the various conditions such the initial concentrations of NOx and SOx. The additional amount of hydrocarbon gases. The concentration of oxygen and input power etc. Especially, this study is focused on the effects of the additional hydrocarbon gases on the decrease of NOx and SOx.

• Tribology and Lubricants
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• v.9 no.2
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• pp.9-15
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• 1993

최근 전력공급의 질적인 향상 요청으로 전력 설비의 안정성에 대한 요구가 날로 증대되고 있으며, 특히 변압기의 신뢰성 향상과 사고의 미연방지를 위한 예방 또는 예측진단기술의 중요성이 크게 인식 되고 있는 실정이다. 변압기는 운전중에 각부가 열화등으로 전기, 기계적인 성는이 저하되어 이상이 발생되는 겅우가 있는데, 그 이상을 사전에 검지하여 적절한 조치를 취하지 않으면 중대한 사고를 일으키는 수가 있다. 이러한 사고를 미연에 방지하기 위해서는 이상의 징후를 초기단계에 검출하여 이상의 내용을 정확히 파악하고 대책을 수립할 필요가 있다. 이러한 이상유무를 진단하는 많은 방법들이 실용화 되어 있는데, 변압기와 같은 유입기기의 이상진단 방법중 가장 효과적인 보수관리법으로서 유중가스 분석에 의한 방법을 들 수 있으며, 국내외의 여러 전력회상서 채용하여 사고예방에 크게 기여하고 있는 것으로 조사되어 있다. 따라서 본 란에서는 유중 용존가스 분석에 의한 변압기의 일반적인 내부이상 수소가스에 의한 진단법에 대해서 그 진단기술의 이론적 근거와 진단장치의 구성 등을 중심으로 기술하고자 한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.05a
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• pp.26.1-26.1
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• 2009

최근 반도체 세정에 있어서 지난 40년 동안 지속적으로 사용되고 있는 알칼라인 기반의 RCA 세정법은 많은 초순수 및 화학액 소모량과 세정시 불필요한 박막의 손실, 환경적인 문제로 인하여 이를 대체하고자 하는 새로운 새정액 및 세정 방법에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 특히 초순수에 가스를 혼합하여 메가소닉을 이용한 기능수 세정은 기존 RCA 세정액의 문제점들을 해결하기 위한 세정액으로 최근 반도체 제조 공정 뿐만 아니라 Photo mask, FPD 세정 공정에서 널리 이용되고 있다. 하지만 기능수에 대한 기초적인 특성 연구와 메가소닉에 의한 세정력 변화에 대한 연구는 부족한 상태이다. 본 연구에서는 고순도의 수소가스(99.999%)를 가스 접촉기, pHasorII (Entigris, USA) 와 순환 속도의 조절이 가능한 펌프, BPS-3 (Levitronix, USA) 를 이용하여 지속적으로 초순수와 수소가스를 혼합하는 방법으로 수소수를 제조하였으며, 용존 수소 농도계, DHDI-1 (TOA-DKK, Japan)으로 수소수의 농도를 확인하였다. 0.1 MPa 압력과, 3 LPM의 수소가스 유출속도에서 최대 2.0 ppm의 수소수를 얻을 수 있었으며, 수소수의 기초 특성을 평가하기 위하여 수소 농도 변화에 따른 pH, 표면 에너지를 측정하였다. 또한 압력 변화에 따른 반감기를 측정하여 bath형태의 세정기에서 적용 가능성을 평가하였다. 수소수의 세정력은 $Si_3N_4$ 입자가 임의로 오염된 실리콘 웨이퍼를 이용하여 bath 및 매엽식 세정기에서 수소수 농도와 메가소닉 형태 및 첨가제 변화에 따른 세정효율을 기존의 SC-1 세정액과 각각 비교 평가하였다. 기능수 발생장치에서 압력이 제거된 상태에서는 평균 20분의 반감기를 갖는 것이 관찰되었고, 압력이 유지된 상태에서는 수소수의 농도가 유지되는 것을 확인하였으며, pH의 경우 수소수의 농도가 점차 증가함에 따라 감소하여 2.0 ppm의 농도에서 pH 5.3정도의 값을 나타내었다. 표면 장력은 초순수와 비교했을 때 큰 변화가 없음을 확인할 수 있었다. Bath 형태의 세정기에서 메가소닉을 인가하여 수소수의 세정효율을 측정한 결과, 같은 조건에서 실험한 초순수와는 비슷하며, SC-1보다는 낮은 세정효율이 측정되었다. 반면 매엽식 세정기에서 동등한 조건의 실험을 실시한 결과, 수소수 세정에서 첨가제에 의한 영향으로 SC-1을 대체할 수 있는 높은 입자 제거효율을 가짐을 확인할 수 있었다.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.8 no.4 s.25
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• pp.55-61
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• 2004

This paper provided a counter measures against the troubles and accidents that are likely to take place in the power plant using hydrogen gas as a coolant for the cooling system of the generator. Because of the extremely wide flammability limits of hydrogen in comparison to the other flammable gases, the safety measures against the hydrogen accidents is very important to ensure the normal operation of electric-power facility. This study's purpose was a presentation of standard model of safety management of hydrogen equipments in the coal firing power plant such as following items: 1) providing the technical prevention manual of the hydrogen explosions and hydrogen fires occurring in the cooling system of power generator; 2) the selection of explosion-proof equipments in terms of the risk level of operating environment; 3) the establishment of regulations and counter measures, such as the incorporation of gas leakage alarm device, for preventing the accidents from arising, 4) the establishment of safety management system to ensure the normal operation of the power plant.