• Journal of the Korean Vacuum Society
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• 제18권4호
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• pp.310-317
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• 2009

Vertical wet equipment for the BGA develop process was newly developed substituted for conventional horizontal wet equipment. The benefits of vertical equipment are that the pattern damages generated by the collision between the patterns and transferring rollers can be eliminated because the direct contact between the equipment's transferring units and the soft dry film patterns does not occurs. Taguchi experiment was conducted to optimize the process characteristics for the vertical equipment. The experiment was organized as the smaller the better problem which includes adequate uncontrollable factor and controllable factors. The uncontrollable factors are the 4 sides of two panels which are loaded to the equipment at the same time. By the analysis of the experiment, temperature of the develop chemicals and develop spraying time are analyzed as the main controllable factors. Finally, line pattern's minimum width which is not damaged for the develop process was improved from $13.8{\mu}m$ for the horizontal equipment to $10.4{\mu}m$ for the vertical equipment. And dot pattern's minimum width is improved from $22.1{\mu}m$ to $16.3{\mu}m$.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.40-40
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• 2011

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 패턴 손상 및 대구경화에 따른 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 대두되는 것이 가스클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상 없이 오염입자를 제거하게 된다. 이러한 가스 클러스터 세정을 최적화하기 위해서는 설계 단계부터 노즐 내부 유동의 수치해석에 기반한 입자 크기 분포를 계산하여 반영하는 것이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 상용 수치해석 프로그램을 이용하여 세정 환경을 조성하는 조건에서의 노즐 내부 유동을 해석하고, 이를 통해 얻어진 수치를 이용하여 aerosol general dynamic equation (GDE)를 계산하여 발생하는 클러스터의 크기 분포를 예측하였다. GDE 계산 시 입자의 크기 분포를 나타내기 위해서는 여러 가지 방법이 존재하나 본 연구에서는 각 입자 크기 노드별 개수 농도를 계산하였다. 노즐 출구에서의 가스 클러스터 크기를 예측하기 위하여 먼저, 노즐 내부 유속 및 온도 분포 변화를 해석하였다. 이를 통하여 온도가 급격하게 낮아져 생성된 클러스터의 효과적 가속 및 에너지 전달이 가능함을 확인할수 있었다. 이에 기반하여 GDE를 이용한 입자 크기를 예측한 결과 수 나노 크기의 초기 클러스터가 형성되어 온도가 낮아짐에 따라 성장하는 것을 확인할 수 있었으며, 최빈값의 분포가 실험적 측정값과 일치하는 경향을 가지는 것을 볼 수 있었다. 이는 향후 확장된 영역에서의 유동 해석과 증발 등 세부 요소를 고려한 계산을 통해 가스 클러스터 세정 공정의 최적화된 설계에 도움이 될 것이다.

• Proceedings of the Korean Society for Rock Mechanics Conference
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• 한국암반공학회 1999년도 정기총회 및 학술발표회
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• pp.51-54
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• 1999

현재 국내에서 시공되고 있는 터널 발파 패턴의 경우 현장암반조건과 발파조건 등 발파에 영향을 미치는 제반 여건을 정량적으로 고려한 컴퓨터에 의한 자동설계가 이루어지지 않고 있다. 그러므로 경험적이고 정성적인 방법에 의하여 터널 발파 설계가 이루어짐으로써 발파설계와 시공이 불일치하고 여굴 및 주변 손상권의 확대로 인한 터널 보강에도 영향을 미치는 등 문제점이 있다. 또한 최근에 들어와서 터널 발파 공사가 인가 근처에서 이루어 질 경우 발파진동에 의한 민원을 야기하고 있어 이를 고려한 안전 발파 설계가 절실히 요구되고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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• pp.114-114
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• 2016

임플란트로 널리 사용되고 있는 타이타늄 금속 표면을 처리하여 골융합 접촉 면적을 증가시키기 위한 다양한 방법들이 사용되고 있다. 본 연구에서는 마이크로 단위의 거칠기가 형성된 표면에 나노패턴화된 나노 거칠기를 전기화학적으로 형성시키는 방식(ENF: Electrochemical Nanopattern Formation)을 소개한다. SLA 표면처리 된 임플란트 표면에 100nm 수준의 나노패턴화된 그릿을 기존의 마이크로 그릿의 손상 없이 고르게 형성시켜 표면적을 극대화 할 수 있다. 이를 임플란트의 새로운 표면처리기술로 응용하기 위하여 기존의 표면처리기술과 비교분석하였다.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• 한국음향학회 2002년도 하계학술발표대회 논문집 제21권 1호
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• pp.199-202
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• 2002

본 논문에서는 사람의 청각 모델을 기반으로 잡음에 의해 손상된 음성 신호로부터 잡음 신호의 마스킹 특성과 신호에너지의 지각(知覺)을 나타내는 임계대역(critical band)에서의 잡음 에너지에 대한 지각 패턴인 noise excitation pattern을 이용한 잡음 에너지 차감과 잡음 추정 오차에 의한 변형된 음성신호 내의 순음(tonal) 성분과 비순음(non-tonal)성분의 보정을 통해 효과적인 음성 품질의 개선을 위한 연구를 하였다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• 제15권2호
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• pp.1-7
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• 2011

The UAV(Unmanned Aerial Vehicle) which is remotely operating with long endurance in high altitude must have a very reliable propulsion system. The precise fault diagnostic system of the turboprop engine as a propulsion system of this type UAV can promote reliability and availability. This work proposes a diagnostic method which can identify the faulted components from engine measuring parameter changes using Fuzzy Logic and quantify its faults from the identified fault pattern using Neural Network Algorithms. It is found by evaluation examples that the proposed diagnostic method can detect well not only single type faults but also multiple type faults.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 한국추진공학회 2010년도 제35회 추계학술대회논문집
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• pp.499-505
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• 2010

The UAV(Unmanned Aerial Vehicle) which is remotely operating with long endurance in high altitude must have a very reliable propulsion system. The precise fault diagnostic system of the turboprop engine as a propulsion system of this type UAV can promote reliability and availability. This work proposes a diagnostic method which can identify the faulted components from engine measuring parameter changes using Fuzzy Logic and quantify its faults from the identified fault pattern using Neural Network Algorithms. It is found by evaluation examples that the proposed diagnostic method can detect well not only single type faults but also multiple type faults.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• 제8권5호
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• pp.86-94
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• 1989

In this paper the method using a sign pattern( +,- ) of Mel-cepstrum coefficients as a new speech representation is proposed. Relatively stable patterns can be obtained for speech signals which has strong stationarity like vowels and nasals, and the phonemic difference according to the individuality of speakers can be absorbed without affecting characteristics of the phoneme. In this paper we show that the reduction of recognition procedure of phonemes and training procedure of phoneme models can be achieved through the representation of Korean phonemes using such a sign pattern.

• Membrane Journal
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• 제32권4호
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• pp.253-263
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• 2022

This study suggests a guideline for designing unit process of wastewater reuse in terms of a maintenance of the process based on critical parameters to draw a high quality performance of RO unit. Defining the parameters was done by applying membrane integrity test (MIT) in pretreatment process utilizing lab-scale MF. SDI is utilized for judging whether permeate is suitable to RO unit. However, result said TOC concentration matching with particle count analysis is better for judging the permeate condition. When membrane test pressure (P_test) was measured to derive log removal value in PDT, virgin state of membrane fiber was used to measure dynamic contact angle utilizing surface tension of the membrane fiber. Actually, foulant affects to the state of membrane surface, and it decreases the P_test value along with time elapsed. Consequently, LRV_DIT is also affected by P_test value. Thus, sensitivity of direct integrity test descends with result of P_test value change, so P_test value should be considered not the virgin state of the membrane but its current state. Overall, this study focuses on defining design parameters suitable to MF pretreatment for RO process in wastewater reuse by assessing its impact. Therefore, utilities can acknowledge that the membrane surface condition must be considered when users conduct the direct integrity test so that P_test and other relative parameter used to calculate LRV_DIT are adequately measured.

• Tunnel and Underground Space
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• 제26권2호
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• pp.131-142
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• 2016

Investigation for rock joints, inspection for rock core, and laboratory tests for rock specimens, in this study, have been performed for identification of the extent and properties of Excavation Damaged Zone in a underground limestone mine, which plans to enlarge the size of openings to improve the production rate. Properties of EDZ and surrounding rock masses have been used numerically for discontinuum analysis, and it is concluded that the effect of EDZ can be increased with increasing the opening size and a blasting pattern of high precision can be suggested for the counterplan.