• Title/Summary/Keyword: 손두께

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유리 기판에 ZnO Buffer Layer를 적용한 ZnO Nano Structure의 성장 특성

  • Ju, Jae-Hyeong;Seo, Seong-Bo;Kim, Dong-Yeong;Kim, Hae-Jin;Son, Seon-Yeong;Kim, Hwa-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.350-350
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    • 2011
  • ZnO는 II-VI족 화합물 반도체로서 3.37 ev의 band gap energy와 60 mv의 exciton binding energy를 가지며 차세대 소자로 다양한 분야에서 연구되어지고 있다. ZnO 박막과는 다르게 ZnO nano structure는 효율성과 특성 향상의 이점으로 태양전지와 투명전극 소자에 많은 연구가 되고 있으며 UV 레이저, 가스센서, LED, 압전소자, Field Emitting Transistor (FET) 등 다양한 응용분야에서 연구되고 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 RF Magnetron sputtering법을 이용해 ZnO buffer layer를 다양한 두께(~1,000${\AA}$)로 증착한 뒤, Zn powder (99.99%)를 지름 2inch 석영관 안에 넣어 Thermal furnace장비를 이용하여 Thermal Evaporation법으로 약 500$^{\circ}C$에서 30분 동안 촉매 없이 성장 하였다. 수직성장된 ZnO 나노 구조체의 특성을 전계방출주사전자현미경(SEM), X-선 회절패턴(XRD), UV-spectra를 이용하여 분석하였다. SEM 분석을 통하여 ZnO buffer layer위에 성장된 ZnO 나노 구조체는 직경이 약 ~50 nm, 길이가 ~2 um까지 성장을 보였으며, XRD 측정결과, ZnO 우선 성장 방향(002)을 확인하였다. 두 가지 측정을 통하여 ZnO buffer layer의 유무에 따라 성장 특성이 향상되었음을 확인하였으며, 이는 buffer layer가 seed 역할을 한 것으로 사료된다. UV-spectra 측정을 통하여 가시광 영역(400~780 nm)에서 60%대의 투과도를 보여 가시광 영역에서 투명성을 요구하는 전자 소자 및 광소자 등에 적용 가능성을 확인하였다. 이 연구를 통하여 우수한 투과도를 가지며 유리 기판위에 수직성장된 ZnO 나노구조체는 태양전지와 플렉서블 디스플레이 등 다양한 활용 분야를 제시할 수 있다.

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습식 에칭 및 무전해 Ni-P 도금을 이용한 열전발전 모듈의 제작

  • Kim, Tae-Yun;Bae, Seong-Hwa;Son, In-Jun;Park, Gwan-Ho;Jo, Sang-Heum
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.93.2-93.2
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    • 2018
  • 최근 기후 변화 문제로 $CO_2$배출량 억제 정책에 따라 열전재료가 다양한 분야에 크게 주목 받고 있다. 열전 모듈은 전류를 흘려 온도차를 발생시키는 펠티어 효과와 온도차를 전력으로 변환하는 제백 효과를 이용한다. 열전발전용에 적용되는 상용 열전모듈의 경우, 열전소자의 접합부의 수는 수십 개 이상이다. 따라서 단 한 개의 접합 불량 열전소자가 모듈 전체의 열전성능에 큰 영향을 미친다. 현재 상용화 된 Bi-Te계 열전 모듈은 Bi-Te의 Te와 Sn계 솔더의 주성분인 Sn이 $250^{\circ}C$ 부근에서 취성의 Sn-Te계 금속 화합물을 형성한다고 알려져 있다. 이 때 생성된 Sn-Te 화합물은 열전모듈의 접합강도를 약화시키고 이로 인해 열전모듈의 접합 신뢰성을 크게 저하 시킬 수 있다. 이를 해결하기 위해 솔더와 소자 사이에 확산방지층이 적용되고 있으며, 이 중에서 니켈합금이 가장 널리 적용되고 있다. 니켈층을 형성시키는 방법 중에서, 무전해 도금법은 간단하게 열전소자 표면 위에 도금 층을 균일한 두께로 만들어 낼 수 있다. 하지만, 니켈 도금층과 Bi-Te 소자 간에 화학적 결함이 존재하지 않기 때문에, 무전해 니켈 도금층의 밀착성이 떨어진다. 이 때. 소자 표면에 거칠기 효과(anchor effect)를 부여하기 위해 물리적 샌딩법을 사용하는데 이 방법의 경우 소자에 크랙 같은 손상을 미쳐 열전모듈의 신뢰성 저하를 가져온다. 그러므로 거칠기 효과를 부여하면서 소자에 손상을 최소화하는 습식 식각법을 개발하여 Bi-Te계 열전소자의 표면 조도를 조절하고 무전해 Ni-P 도금을 실시하였다. 그리고 열처리 유무에 따른 열전모듈의 접합강도를 측정하였으며, 제작한 열전 모듈의 접합부 및 파단부의 계면 분석하여 무전해 Ni-P도금을 위한 습식식각법(wet etching법)에 대하여 검토하였다. N-type은 질산과 구연산의 혼합수용액에, P-type은 왕수에 습식 식각처리를 해서 적당히 표면 조도를 조절한 후에 EPMA로 분석을 해본 결과 니켈 도금층과 Bi-Te 소자 간에 anchor effect가 부여 된 것을 확인했다. 습식 식각에 의해서 제조된 열전모듈의 접합강도는 종래의 알루미나 샌딩법으로 제조한 열전모듈 보다 높은 접합강도를 나타내었다.

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Effect of Ag Underlayer Thickness on the Electrical and Optical Properties of IGZO/Ag Layered Films (Ag 완충박막 두께에 따른 IGZO/Ag 적층박막의 특성 변화)

  • Kim, So-Young;Kim, Sun-Kyung;Kim, Seung-Hong;Jeon, Jae-Hyun;Gong, Tae-Kyung;Choi, Dong-Hyuk;Son, Dong-Il;Kim, Daeil
    • Journal of the Korean Society for Heat Treatment
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    • v.27 no.5
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    • pp.230-234
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    • 2014
  • IGZO/Ag bi-layered films were deposited on glass substrate at room temperature with radio frequency and direct current magnetron sputtering, respectively to consider the effect of Ag buffer layer on the electrical, optical and structural properties. For all deposition, while the thickness of Ag buffer layer was varied as 10, 15, and 20 nm, The thickness of IGZO films were kept at 100 nm, In a comparison of figure of merit, IGZO films with 15 nm thick Ag buffer layer show the higher figure of merit ($1.1{\times}10^{-2}{\Omega}^{-1}$) than that of the IGZO single layer films ($3.7{\times}10^{-4}{\Omega}^{-1}$). From the observed results, it is supposed that the IGZO 100 nm/Ag 15 nm bi-layered films may be an alternative candidate for transparent electrode in a transparent thin film transistor device.

Polarization-independent temperature sensor using cladding layers of the overlay waveguide coupled with a side-polished fiber (측면 연마 광섬유와 결합된 상부 도파로의 클래딩을 이용한 편광 무의존 온도센서)

  • 손경락;김광택;송재원
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.13 no.6
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    • pp.467-472
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    • 2002
  • In this paper, we propose a polarization-insensitive temperature sensor using a thermo-optic effect of the upper and (or) lower cladding of a planar waveguide in contact with a side-polished fiber. A microscope cover glass with thickness of a 170 ${\mu}{\textrm}{m}$ is adopted as an overlay waveguide because this waveguide opposes sudden temperature change and ensures polarization-insensitive responses. The measured polarization-dependence loss is less than 0.3 dB. The temperature can be detected as a result of the shift in coupling wavelength of the sensor. We investigate the shift in coupling wavelength as a function of the temperature variation with respect to the different thermo-optic coefficients of lower and upper claddings. We also show that the temperature sensitivity of the device can be easily controlled by the thermo-optic coefficients of lower and upper claddings of the overlay waveguide.

Pulsed Terahertz Emission and Detection Properties from ZnTe Crystal (ZnTe 결정을 이용한 테라헤르츠파의 발생 및 검출 특성)

  • Jin, Yun-Sik;Jeon, Seuk-Gy;Kim, Keun-Ju;Sohn, Chae-Hwa;Jung, Sun-Shin
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.16 no.6
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    • pp.553-559
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    • 2005
  • Pulsed terahertz (THz) radiation was generated by optical rectification and detected by a fee space electro-optic sampling (FS-EOS) method. We used ZnTe (110) crystals for both generation and detection. By coating dielectric anti-reflection film on the ZnTe crystal surface, we can reduce the reflectance of a pump laser beam from $30\%$ to $2\%$, and the terahertz pulse amplitude increased $27\%$ compared with an uncoated crystal. A wider bandwidth of THz radiation was obtained by using a thinner crystal but the signal intensity was decreased in this case. And variations of THz radiation by changing orientation of the ZnTe crystal with respect to the pump (or probe) laser polarization, and by changing the power of the pump laser have also been investigated and discussed.

Studies on the Adhesion of W to TiN(l) (TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l))

  • Lee, Jong-Mu;Gwon, Nan-Yeong;Son, Jae-Hyeon;Kim, Hyeong-Jun
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.3 no.5
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    • pp.466-475
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    • 1993
  • Adhesion of W to TiN which is used as a glue layer in the blanket tungsten process has been investigated using the pulling and scratch methods and analysed using surface roughness measurements by SEM and the reflectivity measurement, the stress measurement and the SIMS depth profiling Significant differences between the adhesion of the CVD tungsten film to the s-TiN and that to the a-TiN were found. It appeared that the fomer were better than the latter, which is due to the facts that the s-TiN film has a rougher surface and a lower stress level and a higher oxygen content than the a-TiN film. Also the ashesion strength was degreaded with increasing the TIN film thickness because of the increase of the TiN film stress.

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2008년 황해지역의 광역적 대기오염 이동에 대한 에어로졸 크기 분포 특성

  • Kim, ak-Seong;Jeong, Yong-Seung;Son, Jeong-Ju
    • 한국지구과학회:학술대회논문집
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    • 2010.04a
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    • pp.37-37
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    • 2010
  • 2008년 동아시아 대륙에서 발생기원이 다른 황사와 인위적 오염입자의 광역적 이동 사례를 NOAA위성 RGB 합성영상과 지상 TSP, PM10, PM2.5 질량농도 관측으로 구별하였다. 또한 Terra/Aqua 위성MODIS (MODerate Imaging Spectroradiometer) 센서의AOD (Aerosol Optical Depth)와 FW (Fine aerosol Weighting)를 통해 동아시아 지역에서 발생기원이 다른 대기 에어로졸의 분포와 입자 크기 특성을 분석하였다. 중국 북부와 몽골, 그리고 중국 황토고원에서 모래폭풍이 발생하여 광역적으로 이동하여 청원에 먼지입자(황사)로 영향을 주는 6 사례를 분석했다. 질량농도 TSP중 PM10 은 70%, PM2.5 는 16% 로 조대입자 (> $2.5{\mu}m$)의 비율이 큰 것은 사막과 반사막의 자연적 발생원에서 생성되었기 때문이다. 그러나, 모래 폭풍이 이동 과정에서 중국 동부의 산업 지역을 거쳐 유입 되는 사례에서는 TSP 중 PM2.5 가 23% 까지 증가하기도 했다. 중국 동부로부터 황해를 거쳐 한반도로 유입하고 있는 다른5사례는 TSP 중 PM10, PM2.5가 각각 82%, 65% 로 PM2.5 의 비율이 높았는데 인위적 오염입자의 영향 때문이다. 동아시아 지역에서 인위적 오염입자의 광역적 이동 사례에 대한 평균 AOD는 $0.42{\pm}0.17$로 황사에 의한 AOD ($0.36{\pm}0.13$)와 비교하여 대기 에어로졸에 대한 비율이 높게 나타났다. 특히, 중국 동부에서 황해, 한반도, 동해에 이르는 광역적 지역에 높은 AOD값이 분포했다. 인위적 오염입자의 사례는 FW가 평균 $0.63{\pm}0.16$로 모래폭풍의 이동 사례의 $0.52{\pm}0.13$ 보다 높은 값을 보이고 있어, 대기 에어로졸에 대한 인위적 미세 오염입자의 기여가 크게 나타나고 있었다.

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Negative Resistance Characteristics of $Fe_{1+x}V_{2-x}O_4$ Spinels ($Fe_{1+x}V_{2-x}O_4$ Spinel의 부성저항특성)

  • Lee, Gil-Sik;Son, Byeong-Gi;Lee, Jong-Deok
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.14 no.3
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    • pp.25-31
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    • 1977
  • Fe V spinels were prepared by sintering the well-ground stoichiometric mixtures of Fe O and V O at 1,10$0^{\circ}C$ under H -CO atmosphere. The activation energy for electrical conduction decreases with increasing amount of iron. The tendency of activation energy depending on the amount of iron contained clarifies that the electrical condction of the spinel is mainly due to electron hopping between Fe and Fe ions at B sites. In the experiment for negative resistance characteristics, the threshold voltage (Vth) for the samples is related to ambient temperature, thickness and raising rate of applied voltage. Vth decreases as temperature increases while Vth increases linearly with thickness and Vth increases linearly with the raising rate of applied voltage in semi-logarithmic scale. These results lead to a conclusion that current paths mainly formed by thermal breakdown are ascribed to the negative resistance phenomena. Applying this property, these vanadium iron spinels may be used for switching elements.

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Finite Element Analysis and Design Verification Test of Circular Plate Spring in Thruster Valve of Satellite Propulsion System (위성 추진시스템 추력기 밸브 내 원형 판스프링 유한요소해석 및 설계 검증시험)

  • Ko, Sujeong;Son, Miso;Kim, Namhui;Kim, Jonghak;Yoon, Hosung
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.838-842
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    • 2017
  • The thruster valve, which is one of the key components applied to the mono-propellant system for the satellite, has a circular plate spring structure. It can be designed as a structure that does not have positional deformation and particles by friction and repetitive motion. In this study, finite element analysis and verification were performed by setting the width of the circular plate spring as a design parameter with the material, thickness and radius of the circular plate spring as fixed variables. The linearity of the spring constant is shown by the graph that is spring force with displacement. It is confirmed that the optimization design of the circular plate spring is possible by the spring force tendency according to the total area of circular plate spring.

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Ultimate Strength Analysis of Connections of Floating Pendulum Wave Energy Converter (부유식 진자형 파력발전장치의 연결부 최종강도해석)

  • Sohn, Jung Min;Cheon, Ho Jeong;Shin, Seung Ho;Hong, Key Yong
    • Journal of the Korean Society for Marine Environment & Energy
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    • v.17 no.1
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    • pp.36-41
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    • 2014
  • A floating offshore structure has high tendency to occur the buckling when compressive, bending and shear loads applied. When the buckling is occurred, in-plane stiffness of structure is remarkably decreased. And it has a harmful effect on the local structural strength as well as global structural strength. In the present study, it has been investigated the ultimate strength of tubular members which is located between a floater and a damping plate of the floating pendulum wave energy converter. Nonlinear finite element method is conducted using the initial imperfection according to 1st buckling mode which is obtained from the elastic buckling analysis. It is also noted the ultimate bending strength characteristic varying with a diameter, thickness and stiffeners of the tubular member.