• 한국정밀공학회지
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• 제22권4호
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• pp.84-91
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• 2005

We measured the pitch of one-dimensional (ID) grating specimens using a metrological atomic force microscope (M-AFM). The ID grating specimens a.e often used as a magnification standard in nano-metrology, such as scanning probe microscopy (SPM) and scanning electron microscopy (SEM). Thus, we need to certify the pitch of grating specimens fur the meter-traceability in nano-metrology. To this end, an M-AFM was setup at KRISS. The M-AFM consists of a commercial AFM head module, a two-axis flexure hinge type nanoscanner with built-in capacitive sensors, and a two-axis heterodyne interferometer to establish the meter-traceability directly. Two kinds of ID grating specimens, each with the nominal pitch of 288 nm and 700 nm, were measured. The uncertainty in pitch measurement was evaluated according to Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. The pitch was calculated from 9 line scan profiles obtained at different positions with 100 ㎛ scan range. The expanded uncertainties (k = 2) in pitch measurement were 0.10 nm and 0.30 nm for the specimens with the nominal pitch of 288 nm and 700 nm. The measured pitch values were compared with those obtained using an optical diffractometer, and agreed within the range of the expanded uncertainty of pitch measurement. We also discussed the effect of averaging in the measurement of mean pitch using M-AFM and main components of uncertainty.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권11호
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• pp.75-82
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• 2004

A metrological atomic force microscope (M-AFM) was developed fur the length measurements of nanometer range, through the modification of a commercial AFM. To eliminate nonlinearity and crosstalk of the PZT tube scanner of the commercial AFM, a two-axis flexure hinge scanner employing built-in capacitive sensors is used for X-Y motion instead of PZT tube scanner. Then two-dimensional displacement of the scanner is measured using two-axis heterodyne laser interferometer to ensure the meter-traceability. Through the measurements of several specimens, we could verify the elimination of nonlinearity and crosstalk. The uncertainty of length measurements was estimated according to the Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. Among several sources of uncertainty, the primary one is the drift of laser interferometer output, which occurs mainly from the variation of refractive index of air and the thermal stability. The Abbe error, which is proportional to the measured length, is another primary uncertainty source coming from the parasitic motion of the scanner. The expanded uncertainty (k =2) of length measurements using the M-AFM is √(4.26)$^2$+(2.84${\times}$10$^{-4}$ ${\times}$L)$^2$(nm), where f is the measured length in nm. We also measured the pitch of one-dimensional grating and compared the results with those obtained by optical diffractometry. The relative difference between these results is less than 0.01 %.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.233-234
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• 2009

박막 재료의 면저항 측정은 일반적으로 FPP(Four-Point Probe)원리를 적용한 측정기률 사용하고 있다. 개발된 면저항 측정기의 특징은 dual configuration 기술을 적용하여 탐침 간격에 대한 시료의 크기 및 두께에 대한 보정계수를 고려하지 않아도 되므로 누구나 업고 정확하게 사용 할 수 있다. 측정범위는 $1\;m{\Omega}{/\square}\;{\sim}\;1\;G{\Omega}{/\square}$이며, 반복성과 재현성 및 직선성은 0.1 %이하로서 우수한 특성을 나타냈다. 또한 기존의 면저항 측정기에 적용된 single configuration 기술에서 나타나는 가장자리 효과의 단점을 dual configuration 기술을 적용하여 해결하였고 정밀 정확도를 향상시켰다. 개발된 면저항 측정기의 특성평가는 국가측정표준으로부터 소급성이 유지된 표준저항, 분할저항기, 면저항 인증표준물질 등을 사용하였다.

• 대한소아치과학회지
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• 제47권4호
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• pp.416-426
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• 2020

이번 연구의 목표는 기존의 연구로 소급성이 확보된 측방 두부계측방사선영상 분석 프로그램을 이용하여, 골격성 3급 부정교합 환아의 교정 계측값의 불확도를 계산하는 것이다. 이를 통해 골격성 3급 부정교합 환아의 측방 두부방사선사진영상 계측값의 참조 표준을 마련하고자 하였다. 2017년 3월 1일부터 2020년 3월까지 3년간 서울대학교 치과병원 소아치과에 내원한 만 6세에서 10세 사이의 환아 중 골격성 3급 부정교합으로 진단받은 144명의 환자의 데이터를 이용하였다. 이전의 연구에서 소급성이 확보된 계측 프로그램을 이용하여 교정 계측값을 측정하였다. 불확도의 측정은 A형 불확도와 B형 불확도로 나누어서 이루어졌으며, 이를 통해 합성표준불확도와 확장 불확도를 계산하였다. 이를 바탕으로, 골격성 3급 부정교합의 교정 계측값의 참조 표준을 제시하고, 골격성 1급 부정교합의 참조 표준과 비교하였다. 이번 연구를 통해, 만 6 - 10세 사이 골격성 3급 부정교합 환아 교정 계측치의 불확도를 계산하여 95%의 신뢰도를 가지는 교정 계측값의 분포 범위를 제시하고자 하였다.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제21권4호
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• pp.255-262
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• 1996

이 논문은 최근 한국원자력연구소(KAERI)와 미국 패시픽노스웨스트 국립연구소(일명, 바텔연구소, PNNL)이 개인선량계의 성능검사를 위한 미국 ANSI N13.11 기준에 근거하여 KAERI 방사선 측정/교정실험실에서 수행한 KAERI 기준 광자 및 베타 방사선장의 국제 상호비교 측정결과를 설명하고 있다. 두 기관이 각각 자국의 일차 표준에 소급성을 갖는 방사선 검출기와 방사선 측정장치를 사용하여 자유공기중에서 광자의 조사선량(율), 공기커마(율)와 베타선의 절대 흡수선량(율)을 측정한 결과, 광자선장에 대해서는 ${\pm}2.0%$을 베타선장에 대해서는${\pm}1.0%$의 오차범위 내에서 잘 일치하였다. 따라서 KAERI의 기준 광자 및 베타 방사선장은 국제표준에 잘 만족되고 있음이 입증되었으며 장차 방사선 도시메트리 연구개발의 국가 기술기반으로 활용될 수 있음이 확인되었다

• 대한한의학원전학회지
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• 제18권4호통권31호
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• pp.134-144
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• 2005

통과대해역병재${\ulcorner}$동의수세보원(東醫壽世保元)${\lrcorner}$중적상관내용여현대의학적비교연구(中的相關內容與現代醫學的比較硏究), 가류추출여하결론(可類推出如下結論): ${\ulcorner}$내경(內經)${\lrcorner}$중출현적해역병, 재척부혹맥적진단법급자침적류오인식상(在尺部或脈的診斷法及刺針的謬誤認識上), 언급도해역병. 저시인위파열(這是因爲把熱), 혈소(血少), 비토허(脾土虛), 상화작위료기근원적연고(相火作爲了其根源的緣故). 해역병적증상시‘한불한(寒不寒), 열불열(熱不熱), 약불약(弱不弱), 장불장(壯不壯)’급(及)‘소삭, 행산, 불능거(不能去)’ 재(在)${\ulcorner}$동의수세보원(東醫壽世保元)${\lrcorner}$중칭위‘기병가유(其病可愈)’, 이종현대의학적각도진행연구결과(而從現代醫學的角度進行硏究結果), 인위유류사여말초신경적병증(認爲有類似與末稍神經的病證). 종현대의학적원인래간(從現代醫學的原因來看), 유어단백질(由於蛋白質)-능량적영양결핍화유생소급미량원소적부족(能量的營養缺乏和維生素及微量原素的不足), 출현말초신경병증(出現末稍神經病證). 재(在)${\ulcorner}$동의수세보원(東醫壽世保元)${\lrcorner}$적약물중(的藥物中), 야유능량화유생소급미량원소등성분(也有能量和維生素及微量原素等成分), 소이인위대태양인적처방(所以認爲對太陽人的處方), 종영양학각도진행분석연구시유가치적(從營養學角度進行分析硏究是有價値的).

• 한국정밀공학회지
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• 제13권2호
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• pp.62-66
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• 1996

Since 1980, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) have performed 8 round robin tests in gauge block measurement in order to evaluate the measurement capability and the state of environment control of National Calibration and Test Institutions. Two sets of five gauge blocks (nominal size : 1, 3, 10, 25, 100 mm) having different thermal expansion coefficients for each set were circulated for the measurement, and the measurement results were collected and analyzed to evaluate the traceability to the standard of KRISS. The method and results of the test are presented.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전력기술부문
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• pp.403-405
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• 2003

본 논문에서는 대전류 표준측정에 대한 STL TC의 Ad-Hoc Working Group의 최종방안에 대해 자세히 소개하여 이를 계기로 국내에서도 필요한 사전준비에 만전을 기하고자 한다. 향후 연속적으로 해야 할 업무, Shunt의 소유, 경비 지불방법 등에 대한 사항과 함께 우리나라 대전류 표준측정시스템의 구축절차를 제안하였으며, 이를 통해 대전류 측정에 있어서 국제표준과의 소급성을 확보할 수 있기 때문에 국내에서 시행하는 각종 시험에서 대전류 측정이 국제적으로 유효하게 될 것이다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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• pp.43-48
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• 2005

In order to facilitate technical exchange among nations and/or institutes through the establishment of mutual recognition and the reliability guarantee of testing results by testing standards standardization, the interlaboratory comparison tests on brake discs and linings between KRRI and CARS were conducted. So far, two ways of comparison tests were performed for a better understanding of mutual recognition and standardization in railroad brake linings between Korea and China. In this paper, the first and second comparison testing results have been summarized, and the suggestions for the future research work are also presented to encourage extensive research on comparison study of railroad brake discs and linings between KRRI and CARS. Eventually, the final goal of the current research will be the establishment of standardization of railroad testing standards.

• 대한소아치과학회지
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• 제45권1호
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• pp.65-74
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• 2018

본 연구의 목표는 측방 두부계측방사선 사진의 분석에 이용되는 소프트웨어의 소급성 확보와 측정값의 불확도를 계산하는 것이다. 또한 이를 이용해 소아에서 교정치료를 위한 계측값의 참고 표준을 얻기 위한 기반을 마련하고자 하였다. 교정치료를 위해 서울대학교 치과병원 소아치과에 내원한 6세에서 13세 사이 환아 중 1급 부정교합으로 진단 받은 환아 100명의 데이터를 수집하였다. 소급성 확보를 위해 방사선 촬영이 가능한 phantom 장비를 제작하였으며, 현재 사용중인 계측 소프트웨어를 이용하여 phantom 장비의 길이와 각도를 측정하여 소프트웨어의 교정값을 계산하였다. 불확도 계산을 위해 100명의 측방두부방사선영상 계측값과 반복측정에 의한 불확도와(A형 불확도) 최소분해능과 두부의 위치에 의한 불확도를(B형 불확도) 계산하였다. 이를 통해 합성표준불확도를 얻었으며 최종적으로 확장불확도를 계산하였다. 본 연구 결과 현재 사용중인 측방두부방사선사진 계측 프로그램이 높은 정확성과 신뢰도를 가지는 것을 확인하였다. 또한 교정값을 이용하여 계측값을 교정하였으며, 6 - 13세 한국인 소아에서의 교정계측치의 불확도를 계산하여 1급 부정교합 환아의 교정계측값의 95% 신뢰도를 가지는 분포범위를 제시하였다.