• 제목/요약/키워드: 센서 감도

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수소감지를 위한 고감도의 금속 나노선 센서에 관한 연구 (A study on the highly sensitive metal nanowire sensor for detecting hydrogen)

  • 안호명;서영호;양원재;김병철
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제18권9호
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    • pp.2197-2202
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    • 2014
  • 본 연구에서는 팔라듐 (Pd) 나노선으로 구성된 센서의 고감도 수소검지능력에 대해서 조사하였다. 팔라듐 나노선은 알루미늄 양극 산화막 (AAO : anodic aluminum oxide) 채널에 전기도금법을 이용하여 성장시켰으며, 수산화나트륨 수용액을 이용하여 나노선을 분리한 후 포토 리소그래피와 전자빔 리소그래피 공정 및 리프트오프 공정을 사용하여 금속나노선 수소센서를 제작하였다. 2%의 수소에서는 1.92% 의 민감도가, 0.1% 의 수소에서는 0.18% 의 민감도가 변하는 고감도 특성을 얻었으며, 이는 팔라듐 나노선의 저항은 수소의 흡착과 탈착에 의존하기 때문이다. 따라서 상온에서 고감도 수소 가스 검출을 위하여 팔라듐 나노선이 응용될 수 있을 것으로 기대한다.

압전형 가속도 센서의 개발과 특성평가에 관한 연구 (Development of Piezoelectric Accelerometers and Their Performance Evaluation)

  • 이두희;임병덕;이용봉;김정태
    • 대한기계학회논문집
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    • 제16권4호
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    • pp.811-818
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    • 1992
  • 본 연구에서는 정밀진동 측정에 사용하기 위한 압전형 가속도계의 설계 제작 기술과 가속도계의 특성평가 기술을 개발하는데 주안점을 두고 세가지 크기의 가속도 계 9개를 설계 제작하여 특성평가를 하였다. 제작된 압전형 가속도계는 압축형(com- pression type)으로 산업체 현장에서 수요가 많은 40gram 정도의 무게를 가진 중형급 이면서 사용주파수 범위가 20kHz 이상인 실용적인 진동측정용 센서가 되도록 하였다. 개발된 가속도계의 성능을 평가하기 위해서 가속도계의 대표적인 특성인자인 운동방 향에 대한 감도, 선형성, 횡방향 감도 및 음압감도를 측정하여 기존의 가속도계와 비 교하였다.

양방향성 전달특성을 갖는 반도체소자에 관한 연구 (Semiconductor Device with Ambipolar Transfer Characteristics)

  • 오데레사
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2018년도 추계학술대회
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    • pp.193-194
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    • 2018
  • 일반적인 실리콘 트랜지스터는 단방향성특성을 갖는다. 도핑 물질에 따라서 p형 혹은 n형 반도체 물질로 케리어가 달라지고 동작 영역도 달라지기 때문에 반도체 소자는 조건에 따라서 한쪽 방향으로만 동작한다. 이러한 특성은 문턱전압에 의해서 구분된다. 반도체소자인 트랜지스터의 안정성은 문턱전압의 의존도가 높아서 문턱전압이 너무 낮을 경우 한쪽방향으로 동작하는 단방향성 반도체소자를 만들기가 어려워진다. 트랜지스터의 안정성은 반도체센서의 감도에 직접적인 영향을 미치게 되며 현재까지 나와 있는 전자센서들의 감도를 높이기 위해서는 다양한 형태의 화합물의 감지를 전기신호로 변환할 때 얼마나 낮은 전기신호를 감지할 수 있는지에 따라서 달라지며 고감도 센서로써 전자소자의 안정성이 결정된다. 트랜지스터의 안정성을 높이기 위하여 ~ nA 수준의 전기신호에 대한 반응성을 조사 분석하여 고감도의 신호 반응을 나타내는 소재 물질의 양방향성 전달특성에 대하여 분석하고 조사하였다.

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Cobalt Phthalocyanine 탄소유기 전극을 이용한 농약 잔류량 측정 센서개발 (Development of Electro-Biosensor for the Residual Pesticides using Organic Carbon and Cobalt Phthalocyanine)

  • 유영훈;조형준;박원표;현해남
    • 한국환경농학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.72-76
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    • 2010
  • 본 연구에서는 탄소 유기물과 CoPh를 혼합하여 농약 잔류량을 측정 할 수 있는 바이오센서를 구현 하였다. 작동 전극은 탄소유기물과 CoPh를 섞어 사용하였고 비율은 CoPh를 7%로 제작하였다. CoPh가 7%인 경우 저농도 thiocholine 농도에서도 민감하게 반응하였다. 대표적인 농약인 카보후란에 대하여 센서의 감도 한계는 약$0.5{\mu}g/L$ 수준이며, 농약 농도에 따른 전극의 출력이 선형적인 결과를 얻었다. 또한 EPN 및 클로로피리포스 농약에 대하여 실험 한 결과 카보후란과 같이 농도에 따라 효과적으로 반응하는 것을 확인하였다. 이러한 센서는 현재 농약 잔류량 측정에 사용되는 비색법과 비교하여도 감도 및 선형성 면에서 뒤떨어지지 않으며, 간이 농약 잔류량 측정기 센서로 사용가능성이 있다.

생체분자와 필드의 동시국소화를 통한 플라스몬 센서의 감도향상 연구 (Enhanced Detection Sensitivity of Surface Plasmon Resonance Biosensing Based on Colocalized Target Molecules and Evanescent Fields)

  • 이원주;오영진;김동현
    • 한국광학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.198-203
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    • 2011
  • 본 논문에서는 국소화된 플라스몬 필드 내에 분자를 동시국소화 시키는 방법으로 플라스몬 센서의 감도를 향상시키기 위한 이론적 연구를 수행하였다. 플라스몬 필드의 국소화는 나노격자를 통하여 이루어 졌으며, 측정하고자 하는 분자 반응은 유전체 박막의 기울임 증착을 통하여 국소화되는 것으로 가정하였다. 근접장 기반의 필드와 분자 분포 간의 중복적분 값을 통하여 중복도가 플라스몬 센서의 감도와 밀접한 관련이 있는 것을 확인하였으며, 계산된 플라스몬 센서 특성에 근거하여 동시국소화된 플라스몬 센서의 경우, 동시국소화되지 않은 경우에 비하여, 10배 정도의 감도개선 효과가 있는 것을 확인하였다.

다종 감마선 공간분포 측정을 위한 고감도 검출센서 및 탐지모듈 개발 (Development of High-Sensitivity Detection Sensor and Module for Spatial Distribution Measurement of Multi Gamma Sources)

  • 황영관;이남호
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2017년도 추계학술대회
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    • pp.705-707
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    • 2017
  • 스테레오기반의 공간방사선 탐지장치는 방사선원에 대한 공간분포정보 뿐만 아니라 탐지장치로부터 선원까지의 거리정보를 얻을 수 있어 기존 방사선 영상화 장치보다 선원에 대한 효율적인 정보를 제공한다. 또한 감마선원의 스펙트럼 및 종류에 대한 정보를 고속으로 제공하기 위해서는 감도가 높은 고감도 검출센서가 필요하며 고선량에서의 포화되는 현상을 해소할 수 있는 기법이 필요하다. 본 논문에서는 다종 감마선 공간분포 측정을 위해 고감도 센서를 구성하고, 검출모듈의 기능을 개선하여 고선량에서의 포화상태를 해소함으로써 단일센서로 탐지범위 증대를 위한 연구를 수행하였다. 본 논문의 결과는 향후 스테레오기반의 감마선 탐지장치의 성능개선을 위해 활용될 것이다.

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Air cavity가 맨드릴형 광-음향센서의 감도특성에 미치는 영향 (Influences of Air Cavity on the Sensitivity of a Mandrel Type fiber Optic Acoustic Sensor)

  • 임종인;노용래
    • 한국음향학회지
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    • 제19권2호
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    • pp.3-7
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    • 2000
  • 본 논문은 air cavity가 삽입된 중공 층상복합체 맨드릴형 광-음향센서의 감도특성에 관한 것이다. 유한요소법으로 air cavity의 두께, 포밍(foaming)층의 두께 및 맨드릴의 내경/외경비 등의 형상변수에 따른 광-음향센서의 감도특성을 분석하였다. 그 결과, 두꺼운 air cavity 및 얇은 포밍층이 설치되고, 상대적으로 높은 내경/외경 비를 갖는 맨드릴을 사용하는 것이 음향감도의 향상을 위하여 바람직하다. Air cavity를 삽입한 중공 층상복합체 맨드릴을 사용할 경우, 음향감도는 air cavity가 없는 중공 층상복합체 맨드릴형 센서에 비해 약 0.8dB 정도 향상되는 것으로 나타났다.

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$SnO_2$ 마이크로 가스센서의 CO가스 감지특성에 관한 연구 (A Study on CO Gas Sensing Behaviors of $SnO_2$ Micro Sensor)

  • 김창교;이주헌;이병욱;이근우;이종하;이태성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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    • pp.267-268
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    • 2006
  • 전력소모를 감소시키기 위해 MEMS 기술을 이용하여 마이크로 히터를 제작하고 그 위에 감지물질을 도포하여 마이크로 센서를 제작하였다. 마이크로 가스센서는 $SnO_2$를 모물질로 하였으며 가스 감도를 향상시키기 위해 Pd와 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$, $V_2O_5$를 첨가하여, CO 가스 강도를 조사하였다. $SnO_2$에 촉매로서 Pd만을 첨가하였을 때보다 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$. $V_2O_5$등을 첨가하였을 때 CO가스에 대한 감도 반응이 우수하였다. 마이크로 가스센서의 소비전력은 42mW이었다.

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해석적 방법에 의한 맨드릴형 광-음향센서의 감도특성 분석 (Sensitivity Analysis of a Mandrel Type Fiber Optic Acoustic Sensor Using an Analytical Method)

  • 임종인;노용래
    • 한국음향학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.92-99
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    • 2000
  • 본 논문에서는 외부 음향신호에 대한 맨드릴형 광-음향센서의 반응특성을 이론적으로 해석하고, 재질변수 및 형상변수에 따른 음향감도를 해석적으로 분석하였다. 그리고 유한요소법으로 분석한 결과와 비교하여 해석적 분석결과의 타당성을 검증하였다. 그 결과, 대부분 일치하는 경향성을 보여주고 있으므로 해석적인 방법으로 대략적인 경향성 분석을 행하고, 필요한 영역에서 유한요소법을 이용하여 정밀한 해석을 하는 것이 광-음향센서의 최적구조를 설계하기 위한 경제적인 방법인 것으로 나타났다.

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Pt/$SnO_2$복합체 박막의 CO 가스감지특성 (Sensing Characteristics of Thin Pt/$SnO_2$Composite Film to CO Gas)

  • 김동현;이상훈;송호근;김광호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제37권12호
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    • pp.1135-1139
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    • 2000
  • 본 연구에서는 Pt/Sn $O_2$박막의 CO 감지특성을 향상시키기 위하여 표면 형상을 제어하였다. Pt/Sn $O_2$계 박막센서의 최적 동작온도는 175$^{\circ}C$이었다. Pt가 12초 동안 증착된 Sn $O_2$가 200ppm의 CO 가스에 대하여 1.23의 최대감도를 나타내었고, 그 이상의 Pt 증착시간 증가에 따라 Sn $O_2$위의 Pt의 coverage가 증가하여 센서의 감도를 감소시켰다. 다층박막(multi-layer thin film)의 단층의 Pt/Sn $O_2$복합체 위에 다시 Sn $O_2$및 Pt의 cluster 층들을 연속적으로 증착함으로서 제작되었다. 단지 하나의 Pt 층만을 증착한 Sn $O_2$막보다 다층의 Pt/Sn $O_2$막이 더욱 우수한 감도( $R_{air}$/ $R_{co}$=1.72, CO: 200 ppm)를 나타내었다. Pt/Sn $O_2$다층박막의 우수한 감도의 원인은 Pt와 Sn $O_2$사이의 계면적 증대 때문인 것으로 생각되어 진다.다.

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