• Title/Summary/Keyword: 세정방법

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A Study on the Development of Activated Carbons from Sewage Sludge (하수슬러지를 이용한 활성탄 개발에 관한 연구)

  • Lee, Taek-Ryong;Chung, Chan-Kyo;Joe, Young-Cheon
    • Clean Technology
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    • v.15 no.1
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    • pp.31-37
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    • 2009
  • This study deals with the production process of activated carbons from the sewage sludge char by chemical activation reaction. KOH and NaOH were used as activating agents, which react well with carbon. From the experiments, it was found that activated carbons made with KOH treatment had better physicochemical properties in terms of iodine number and BET value than those made with NaOH treatment. It was also found that the optimal deposition ratio of an activating agent to the sewage sludge char was 75 wt% of KOH and 50 wt% of NaOH. Activated carbons were washed out by distilled water after neutralization with 5 M hydrochloric acid solution. The activated carbons that were produced from a sewage sludge char at this optimal conditions have BET surface areas of approximately $600m^2/g$.

A Study on Batch-Type Remote Plasma Dry Cleaning Process for Native Oxide Removal (배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정)

  • Park, Jae-Young;Yi, Wook-Yeol;Hyung, Yong-Woo;Nam, Seok-Woo;Lee, Hyeon-Deok;Song, Chang-Lyong;Kang, Ho-Kyu;Roh, Yong-Han
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.247-251
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    • 2004
  • 반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

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A Novel Analysis Of Amorphous/Crystalline Silicon Heterojunction Solar Cells Using Spectroscopic Ellipsometer (Spectroscopic Ellipsometer를 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 박막 분석)

  • Ji, Kwang-Sun;Eo, Young-Ju;Kim, Bum-Sung;Lee, Heon-Min;Lee, Don-Hee
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2008.05a
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    • pp.378-381
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    • 2008
  • 고효율 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지를 얻기 위해서는 우수한 c-Si wafer 위에 고품질의 비정질 실리콘박막을 통한 heterointerface를 형성하는 것이 매우 중요하다. 이를 달성하기 위해서는 공정중에 오염되기 쉬운 Si wafer 표면 상태를 정확히 검사하고 잘 관리하여야 한다. 본 연구에서는 세정 및 표면산화에 따른 Si wafer 상태를 Spectroscopic Ellipsometry 및 u-PCD를 이용하여 분석하였으며, <$\varepsilon$2> @4.25eV 값이 Si wafer 상태를 잘 나타내고 있음을 확인하였고 세정 최적화 할 경우 그 값이 43.02에 도달하였다. 또한 RF-PECVD로 증착된a-Si:H 박막을 EMA 모델링을 통해 분석한 결과 낮은 결정성과 높은 밀도를 가지는 a-Si:H를 얻을 수 있었으며, 이를 이종접합 태양전지에 적용한 결과 Flat wafer상에서 10.88%, textured wafer 적용하여 13.23%의 변환효율을 얻었다. 결론적으로 Spectroscopic Ellipsometry가 매우 얇고 고품질의 다층 박막이 필요한 이종접합 태양전지 분석에 있어 매우 유용한 방법임이 확인되었다.

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Flow Field across Multiple Fluid Sphere in the Low Kundsen Number Regime (저 누드센 영역에서의 복합 유체구의 유동장)

  • 정창훈;이규원
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.05b
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    • pp.397-398
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    • 2003
  • 대기 중 분진을 제거하는 방식으로 여과 이론을 적용할 수 있는 경우는 섬유 여과기, 입자상 여과기, 액적에 의한 습식 세정기 그리고 기포를 이용한 분진 제거 방법 등을 들 수 있다. 이러한 여과 원리를 이용한 집진 설비를 설계하는데 있어, 액적 또는 기포 주위의 유동장을 정확히 파악하는 것은 매우 중요하다. 특히, 포집구의 크기가 작아지고 화학적으로 반응성을 갖는 고온의 함진가스가 유입되는 경우 및 저압에서 운영되는 경우에 누드센수(Knudsen number)의 영향을 무시할 수 없는데 이러한 영역을 저 누드센 영역(low Kundsen number regime)이라고 한다(Lee et al., 1978). (중략)

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Scouring and washing technology using electrolytic water (전해수를 이용한 정련 및 수세)

  • 최용철;홍영기;손영아;배기서
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2002.04a
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    • pp.127-130
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    • 2002
  • 섬유공업에서 섬유원료단계의 세정을 출발로 실 및 직물제조 단계를 거쳐 제조된 직물의 가호, 탈호, 정련ㆍ표백, 염색ㆍ가공 공정 등의 모든 공정에 수세공정이 포함되어 있다. 이러한 공정에는 많은 양의 물이 사용될 뿐만 아니라 환경 오염의 원인이 되는 약제들 또한 다량 사용되므로, 섬유공업의 발전 초기단계부터 부수적으로 발생되는 환경 폐수를 줄이거나, 오염 물질의 발생을 유발하지 않는 방법에 대하여 활발한 연구가 이루어져 왔으나 현재까지도 크게 실효를 거두지 못하고 있다. (중략)

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Study on Design Factors of Methanol Synthesis Catalyst and Syngas Cleaning from Gasification of Municipal Solid Waste (도시폐기물 가스화공정에서 합성가스 세정 및 메탄을 합성촉매 설계인자에 관한 고찰)

  • 추수태;이계봉;유영돈;윤용승
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.633-638
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    • 2003
  • 현재, 각종 산업공정에서 발생하는 부생가스, 도시폐기물, 폐플라스틱, 바이오매스 등의 미활용 에너지원이나 석탄, 폐유 등을 가스화 혹은 열분해 하여 합성가스를 발생시켜 재활용하려는 연구가 활발히 진행하고 있다. 합성가스는 공업적으로 중요한 에너지원 및 화합물을 제조하는 가장 기초적인 반응가스인데, 합성가스를 제조하는 방법 중 가장 잘 알려진 천연가스 개질반응 이외에도 열분해/가스화 반응공정을 통해 제조되기도 한다.(중략)

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위생관리의 열쇠, 세정

  • Korea Dairy Industries Association
    • 우유
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    • s.44 spring
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    • pp.49-55
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    • 1991
  • 본 내용은 식품산업 84년 6월호(74호)에 게재된 내용으로서 유가공 공장의 위생관리에 도움이 되는 내용을 편집하여 소개하고자 한다. 미생물에 의한 식중독 발생은 소비자뿐만이 아니라 식품 관계 업무에 종사하고 있는 사람들에도 중요한 문제가 되며 그 방지책으로서 식품첨가물을 첨가하거나 미연에 방지하는 방법 등이 취해져 왔다. 위생관리를 하기 위해서는 품질이 좋고 미생물의 오염이 적은 원료를 선택해야 할 것이며 이 원료를 가공할 경우에는 제조환경, 설비, 자재 등에서부터 종업원 한 사람 한 사람에 이르기까지 철저한 미생물관리와 개인위생, 설비관리에 철저를 기해야 할 것이다.

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Investigation of duplicated cicada wing structure by nano imprint lithography (나노 임프린트 리소그래피를 이용한 매미 날개의 기능성 구조 복제 및 분석)

  • Hwang, Jae-Yeon;Hong, Seong-Hun;Lee, Heon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.139-139
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    • 2008
  • 나노 임프린트 리소그래피 방법을 이용하여 매미 날개의 표면구조를 열가소성 고분자 시트 위에 역상으로 전사하였다. 그 후 표면구조가 형성된 시트의 UV-가시광선 투과도와 증류수의 접촉각을 측정함으로써 표면구조 형성을 통해 난반사 효과와 자가 세정 효과를 부여하였음을 확인하였다.

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Study on the Improvement of Measuring Accuracy for Equivalent Salt Deposit Density (등가염분부착밀도 계측 정밀도 향상에 관한 연구)

  • Lee, Won-Kyo;Park, Chan-Hyeong;Lee, Ho-Kwon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.543-544
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    • 2011
  • 오손에 의한 송전선로 사고 발생 피해를 최소화하기 위해서는 오손시점을 정확히 진단하고 대비하는 것이 필요하다. 송전선로의 오손 정도는 등가염분부착밀도(ESDD) 측정값을 통해 분류하고 있으며, 오손 정도에 따라 철탑과 송전선로 도체의 절연을 담당하는 애자(Insulator)의 수량 설계 및 청소 주기가 결정되어 운영되고 있다. 그러므로 정밀한 측정이 필수적인데, 기존 필세법에 의한 오손 측정방법은 세정 및 측정 방법에 따라 결과 값의 편차가 발생할 요소가 많아 개선이 필요하다. 이에 본 논문은 기존 필세법에 의한 측정 방법을 분석하여 개선 요소를 확인한 후 실험계획법에 따라 분석하여 측정 정밀도를 향상하는 방법을 제시하고자 한다.

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A Low-power CIC Filter Bank Structure Using Modified Comb Filters and Generalized Comb Filters (Modified Comb 필터와 Generalized Comb 필터를 사용한 저전력 CIC 필터 뱅크 구조)

  • 양세정;서희정;장영범;장영건
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.26 no.10B
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    • pp.1367-1374
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    • 2001
  • 본 논문은 무선 통신 시스템에 사용될 수 있는 저전력의 Cascaded Integrator-Comb(CIC) 필터 뱅크 구조를 제안한다. 필터 뱅크를 만들기 위해서 CIC 필터의 적분기 섹션을 변화시켜 구성하는 방법을 제안하였으며, 원하는 채널별 중심주파수를 정확히 맞추기 위하여 Modified CIC Filter(MCF)를 사용하는 방법을 제안하였다. 이 방법으로 채널별 중심주파수가 원하는 주파수에 위치하도록 필터 뱅크를 구현할 수 있음을 보였다. 또한 각 채널별 통과대역 주파수응답특성을 개선할 수 있는 새로운 Generalized Comb Filter(GCF)를 제안하였다. 한 개의 GCF와 두 개의 GCF를 각 채널에 적용하는 방법과 그때 통과대역의 주파수응답특성이 얼마나 향상되는지를 보였다. 또한 본 논문이 제안한 CIC 필터 뱅크와 일반 FIR 필터를 사용한 필터 뱅크의 구현 소자의 수를 비교하여 구조의 우수함을 입증하였다.

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