• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.241-241
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• 2010

적외선 센서는 빛의 유무에 관계없이 물체 또는 인체에서 발산하는 적외선을 감지한다. 이러한 센서를 전자 및 디스플레이 시스템과 연동하면 열영상 시스템이 되는데, 이는 전방 감시, 플랜트 감시, 보안, 방범용으로 많이 사용되며, 특히 자동차 야간 운전자 보조용으로 사용되어 최첨단, 고부가가치를 지니고 있는 핵심부품이다. 비냉각형 적외선 센서인 마이크로볼로미터는 상온에서 작동하므로 극저온 Cooler가 불필요하며, 무게와 부피가 작아 각종 시스템에 부착가능하다. 특히 볼로미터형 적외선 센서는 용량이 적은 TE cooler로 상온으로 안정화를 시키며, 진공으로 유지되는 금속 또는 세라믹 패키지를 사용하게 된다. 본 연구에서는 마이크로 볼로미터용 진공패키지를 제작하여 패키지 조립 및 측정기술에 대해 조사하였다. 패키지는 금속재질인 kovar를 사용하여 제작되었고, 내부에 TE Cooler와 장수명 진공유지를 위한 getter, 그리고 온도센서 및 볼로미터 센서 칩을 장착하여 조립하였다. 패키지 Cap ass'y와 base envelop의 솔더링 공정은 약 $200^{\circ}C$에서 수행하였으며, evacuation system을 이용하여 5일 동안 패키지 bake-out 공정을 수행하였다. 이 후 getter를 활성화시키고, seal-off 공정으로 진공 기밀을 유지하였다. 진공 패키지의 기밀성은 $6{\times}10^{-9}\;std.cm^3/sec$로 기밀성을 유지하였다. 볼로미터 센서의 반응도는 $10^2\;V/W$ 이상을 나타내었으며, 탐지도는 $2{\times}10^8\;cm-Hz^{1/2}/W$를 나타내었다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• v.25 no.1
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• pp.191-198
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• 2001

In order to comprise a basic closed-loop control system for hydraulic systems it is necessary to detect the piston rod stroke of a hydraulic cylinder. There are many conventional type sensors which can detect the displacement of cylinders. However, they cannot reveal the original performance normally or they cannot be applied at all where the operating circumstance of cylinders is beyond specifications of sensors. Especially, for the purpose of detecting the strokes of cylinders mounted on heavy equipments, a special exclusive sensor must be used because the operating circumstances of heavy equipments are so severe that general purpose sensors cannot endure such circumstance as shock and a residual vibration induced by rough works. In this paper, an exclusive method for detecting the piston rod stroke for heavy equipments is suggested, which adopts a remote detecting technique using optical fiber sensors. Several experiments using the prototype are executed for verifying the effectiveness of the suggested method and the possibility of the accurate detection of stroke.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.7 no.1
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• pp.73-79
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• 1994

페로브스카이트형 강유전체의 활발한 연구는 제2차 세계대전중 미국과 구 소련등에서 TiO$_{2}$ 고체 콘덴서를 개량하던 중에 Ba 이 첨가된 BaTiO$_{3}$를 발견하면서부터 시작되었고, 일본에서는 PbZr$_{0.5}$Ti$_{0.5}$O$_{3}$의 morphotropic phase boundary를 발견하면서부터 이루어졌으며, 그것이 지니는 특성때문에 고체콘덴서, 초전형 적외선 센서, 초음파 발생과 검출기, 압전 점화기 및 표면파필터기 등 여러방면에 실용화 되고 있다. 따라서, 본 보고에서는 지금까지 연구된 페로브스카이트형 강유전체 세라믹 재료의 물성을 소개하고 앞으로의 연구동향 등에 관하여 서술하고자 한다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.39 no.9
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• pp.840-845
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• 2002

As an ozone gas sensor, the semiconductor gas sensor which is cheap, portable and simple in use and has a high sensitivity and an excellent selectivity, has been known as an alternative. In the present study, ITO ($In_2O_3 95%,\;SnO_2$ 5%) thin films were deposited on the alumina substrate by using R.F. magnetron sputtering method. The substrate temperature was 300$^{\circ}C$ and 500$^{\circ}C$, respectively and then some specimens were annealed at 500$^{\circ}C$ for 4h in air. ITO gas-sensing films formed crystallines before and after annealing. As results of gas sensitivity measurements to an ozone gas, the sensor deposited at 300$^{\circ}C$ and then annealed has the highest sensitivity (sensible below 1 ppm). As the operating temperature increased gradually, the sensitivity decreased but the response time and stability improved.

• Ceramist
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• v.12 no.4
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• pp.78-88
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• 2009

• The Science & Technology
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• v.29 no.6 s.325
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• pp.18-19
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• 1996

각종 기능을 갖춘 센서와 컴퓨터로 자동항법장치를 한 미래의 자동차가 눈 앞에 다가오고 있다. 단단하고 충격을 줄여주는 특수 플라스틱, 밤에 운전시야를 넓혀주는 적외선 감지장치, 자동으로 펑크를 때워주는 로열티 타이어, 고온에 견디는 세라믹 엔진, 수소를 연료로 하는 공해없는 자동차 등의 개발이 한창 진행중이다.

• Ceramist
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• v.7 no.3
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• pp.48-54
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• 2004

반도체 집적화 공정 기술을 바탕으로 기계적 구조물(Micromachined mechanical structure)구현을 가능하게 한 Microelectromechanical systems (MEMS) 기술은 최근 들어 새로운 연구분야로서 크게 각광받고 있다. 이러한 MEMS 기술은 자동차, 산업, 의공학, 정보과학 등에 폭넓게 응용되고 있으며 실리콘 가공 기술 및 미세전기소자 (Microelectronics) 기술이 융합되어 전기$.$기계적인 미세소자를 제작하는데 널리 이용되고 있다. (중략)

• Ceramist
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• v.7 no.3
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• pp.62-67
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• 2004

세계 각국의 경쟁적인 산업화는 인간 환경에 있어서 많은 변화를 가져왔다. 이러한 환경의 변화에는 보다 편리한 삶이라는 긍정적인 측면 이외에 산업화에 수반되는 각종 유해 물질에 의한 환경 오염이라는 부정적인 측면이 공존한다. 여러 가지 형태로 극 미량 존재하는 유해 공해 물질의 검출은 인간 삶의 질적 향상을 위해 중요한 분야가 되고 있다. (중략)

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.13 no.4
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• pp.55-62
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• 2009

Fracture behavior of ceramic dome port cover on air breathing engine using liquid and solid fuel propulsion system was carried out in this study. Fracture characteristics was tested and estimated using scaled model of ceramic dome port cover by Shock tube. Fracture behavior was obtained by the fracture pressure from pressure sensor and observed the scattering phenomena of fracture specimen using high speed camera. Results obtained from this study can be used in the base data of dome port cover design for an air breathing engine.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.28 no.1
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• pp.41-46
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• 2019

In order to develop novel thermal imaging materials for microbolometer applications, $[(Ni_{0.3}Mn_{0.7})_{1-x}Cu_x]_3O_4$ ($0.18{\leq}x{\leq}0.26$) thin films were fabricated using metal-organic decomposition. Effects of Cu content on the electrical properties of the annealed films were investigated. Spinel thin films with a thickness of approximately 100 nm were obtained from the $[(Ni_{0.3}Mn_{0.7})_{1-x}Cu_x]_3O_4$ films annealed at $380^{\circ}C$ for five hours. The resistivity (${\rho}$) of the annealed films was analyzed with respect to the small polaron hopping model. Based on the $Mn^{3+}/Mn^{4+}$ ratio values obtained through x-ray photoelectron spectroscopy analysis, the hopping mechanism between $Mn^{3+}$ and $Mn^{4+}$ cations discussed in the proposed study. The effects of $Cu^+$ and $Cu^{2+}$ cations on the hopping mechanism is also discussed. Obtained results indicate that $[(Ni_{0.3}Mn_{0.7})_{1-x}Cu_x]_3O_4$ thin films with low temperature annealing and superior electrical properties (${\rho}{\leq}54.83{\Omega}{\cdot}cm$, temperature coefficient of resistance > -2.62%/K) can be effectively employed in applications involving complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) integrated microbolometer devices.