• Membrane Journal
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• v.3 no.1
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• pp.1-11
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• 1993

막분리 공정의 응용범위 및 시장규모가 증가함에 따라 최근 기능성 멤브레인의 개발에 대한 많은 연구가 시도되고 있으나 아직까지도 매우 한정된 범위의 유기질 분리막만이 실용화되고 있을 뿐이다. 막분리 공정의 응용성은 분리막의 특성에 의하여 좌우될 수 있는데 현재 주로 사용되고 있는 유기질막은 열적, 기계적, 화학 및 생물학적 안정성이 낮고 세척에 의한 재생성이 용이하지 않기 때문에 차후 이들을 대체하여 모든 조업조건하에서 효율적으로 장기간 사용될 수 잇는 세라믹 멤브레인의 개발이 요구되고 있는실정이다. 특히 2000년도 초반부터는 종래의 유기질막으로서는 기대할 수 없는 고기능성을 부여할 수 있는 세라믹 멤브레인의 공업적 수요가 급증하여 분리막 공정에서 상당한 비중을 점유하게 될것으로 예상되고 있으나 현재 막의 제조 및 응용에 대한 기술이 확립되어 있지 않아서 공업적인 실용화가 이루어지지 못하고 있다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1993.04a
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• pp.34-34
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• 1993

세라믹 분리막은 유기질 막에 비하여 열적, 기계적 및 화학적으로 안정하기 때문에 기존의 유기질 막을 사용하기 어려운 작업 조건 하에서도 응용의 잠재성을 가지고 있다. 본 실험은 disk형태의 다공성 $Al_2O_3$ 담체위에 CVD 법과 Evaporation Oxidation 법에 의해 $Al_2O_3$를 코팅하여 세라믹 분리막을 제조하였다. CVD법에 의한 제조는 Al-isopropoxide를 350$\circ$C에서 담체위에 증착시켜 제조하였으며, Evaporation-Oxidation 법에 의한 제조는 Al을 담체위에 evaporation 시킨 후 dry oxidation 시켜서 제조하였다.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.34 no.9
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• pp.637-643
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• 2012

This study was carried out to investigate how reversible and irreversible fouling were distributed in the filtration using ceramic membrane of 300 kDa pore size for secondary effluent of wastewater. It was performed by calculating fouling as numerical method for diverse TMPs and measured F-EEM and SEC for raw water, treated water and backwashed water. Water quality was also checked to know whether treated water quality was stable or not. The results showed that reversible fouling formation was increased when lower TMP was applied and it is caused by protein like organic matters having higher molecular weights. The secondary wastewater effluent had diverse molecular weight materials, especially contaminants lower than 0.5 kDa and bigger than 12 kDa. Decreasing TMP induced contaminants above 12 kDa and below 1 kDa to become reversible fouling.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.118-118
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• 2010

현재 반도체 제조 공정 중 많은 비중을 차지하는 식각 및 증착 공정에는 대부분 플라즈마를 사용하고 있으며, 이러한 반도체 장비내의 공정 부분품들은 수율과 생산성을 향상시키기 위하여 내플라즈마 특성이 우수한 세라믹 또는 세라믹 코팅막으로 구성되어 있다. 더욱이 최근에는 미세공정을 위해 고밀도 플라즈마 공정이 요구되면서, 노출된 세라믹 층이 침식되어 파티클이 떨어져 나오거나 모재와 세라믹 막 사이의 박리현상과 같은 심각한 문제들이 발생되고 있다. 따라서 보다 우수한 내플라즈마 특성을 갖는 세라믹 코팅 기술 개발이 시급한 실정이다. 현재 내플라즈마성 세라믹 코팅막 제조를 위한 코팅기술로서는 주로 용사법이 이용되고 있으나 기공률이 높고 치밀하지 못한 등의 문제점으로 인하여 사용수명이 짧다는 한계에 봉착하였다. 이에 본 연구에서는 상온에서 치밀하고 고속으로 세라믹 후막 형성이 가능한 Aerosol Deposition (AD)법과 AD법의 단점인 edge, corner, hole에서 코팅이 잘 안 되는 점을 보완할 수 있는 Arc Plasma Anodizing (APA)법을 조합하여, 상용화된 Al 모재위에 APA법을 사용하여 $Al_2O_3$ 후막 중간층을 형성한 뒤 그 위에 AD법으로 치밀한 $Al_2O_3$ 후막 성막함으로써 내 플라즈마 향상을 위한 새로운 개념의 제조기술개발을 시도하였다. 이를 위해 우선 Al 모재 위에 APA를 사용하여 중간층인 $Al_2O_3$막을 제조하였으며, 중간층의 두께에 따른 특성을 확인한 결과, $Al_2O_3$중간층의 두께가 두꺼워질수록 표면조도가 증가함을 확인 할 수 있었다. AD법으로 $Al_2O_3$중간층 위에 치밀한 $Al_2O_3$막을 제조하는데 있어 중요인자를 확인하기 위해, AD법으로 중간층 위에 $Al_2O_3$막을 제조한 후 성막특성을 관찰하였다. 그 결과, 중간층의 표면조도가 $0.8-1\;{\mu}m$인 경우에는 수 ${\mu}m$의 두께로 성막 되었으나, 표면조도가 $1\;{\mu}m$ 이상인 $Al_2O_3$중간층 위에서는 성막 되지 않았다. 이를 통해 AD법으로 치밀하고 두꺼운 $Al_2O_3$ 후막을 $Al_2O_3$중간층 위에 성막하기 위해서는 표면조도가 중요인자임을 확인하였다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1993.04a
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• pp.35-35
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• 1993

튜브형 $\alpha-Al_2O_3$ 담체에 졸-겔 침지코팅법과 가압코팅(pressurized coating) 법으로 boehmite 졸과 극미세 입자 SiO$_2$ 및 TiO$_2$ 졸을 코팅한 후 200$\circ$C~500$\circ$C 에서 열처리하여 복합분리막을 제조하였다.

• Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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• v.3 no.2
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• pp.149-157
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• 2005

PFC(Perfluorocarbon) decontamination process is one of best methods to remove hot particulate adhered at inside surface of hot cell and surface of equipment in hot cell. It was necessary to develop a particulate filtration equipment to reuse PFC solution used on PFC decontamination due to its high cost and to minimize the volume of second wastewater. Contamination characteristics of hot particulate were investigated and then a filtration process was presented to remove hot particulate in PFC solution generated through PFC decontamination process. The removal efficiency of PVDF(Poly vinylidene fluoride), PP(Polypropylene), Ceramic(Al$_{2}$O$_{3}$ filter showed more than 95$\%$. The removal efficiency of PVDF filter was a little lower than those of other kiters at same pressure(3psi). A ceramic filter showed a higher removal efficiency with other filters, while a little lower flux rate than other filters. Due to inorganic composition, a ceramic filter was highly stable against radio nuclides in comparison with PVDF and PP membrane, which generate H$_{2}$ gas in e-radioactivity atmosphere. Therefore, the adoption of ceramic filter is estimated to be suitable for the real nitration process.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1995.04a
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• pp.67-67
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• 1995

Metal-working lubricants, metal-finishing bath wastes, mechanical oil-water emlsion 등과 같은 공업 폐수들은 보통 0.1 $\mu$m 이하의 크기를 가지는 oil-in-water 에멀젼이 약 2 wt% 정도 포함되어 있어, oil의 함량이 30 wt% 이상이 되도록 농축시킨다면 재사용이 가능하게 되며, 정밀여과막이나 한외여과막으로 oil을 분리할 수 있다. 본 실험에서는 압출성형법으로 제조한 튜브형 다공성 $\alpha-Al_2O_3$ 담체(평균 기공 크기 = 0.7 $\mu$m, 길이:200,600mm, 직경:8mm, 두께:0.8mm) 위에 슬립 캐스팅법을 이용하여 TiO$_2$ 막을 코팅한 후 925$\circ$C에서 2시간 동안 열처리하여 정밀여과용 세라믹 막을 제조하였다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1996.10a
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• pp.59-59
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• 1996

막분리에 의한 폐윤활유 재생공정을 개발하기 위한 기초 연구로써 폐윤활유 분리/재생용으로 적합한 복층(multilayer)세라믹 복합막의 제조와 합성막의 폐유 분리 효율등이 연구되었다. 결함이 없고 두께가 균일한 지르코니아 복합막 (기공크기 0.07 $\mu$m 이하)은 압출 성형법으로 제조한 튜브형 $\alpha$-알루미나 담체 (외경 7.8 mm, 두께 0.6 mm, 기공크기 0.7 $\mu$m)내부표면에 역침지 인상법(reverse dip-drawing technique)에 의하여 지르코니아 슬러리를 코팅 한 후 950$\circ$C에서 1시간 열처리하여 제조 되었다. 또한 지르코니아 복합막 위에 니타니아 졸-겔 코팅을 한 후 450$\circ$C에서 2시간 열처리하여 기공크기가 15 nm정도인 3층 복합막을 제조 하였다. SEM, Bubble Point Test, Mercury Porosimeter 그리고 분획 분자량 측정등에 의하여 복합막의 코팅층 두께, 결함유무 및 막의 기공크기등을 분석하였다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1991.04a
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• pp.40-42
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• 1991

최근에 분리 농축 그리고 정제 등의 분야에서 세라믹 분리막은 내열성, 내약품성 및 우수한 기계적 강도와 같은 특성으로 인해 기존의 유기고분자막으로는 사용할수 없던 영역까지 그 응용 범위를 확대시키고 있다. 이러한 세라믹 분리막 중 기공크기가 0.1-0.001 $\mu$m 정도로 미세한 한외여과막의 경우, 최근에는 주로 졸-겔법을 이용하여 제조되는 것으로 보고되고 있는데, 이는 졸-겔법이 기존 분리 공정과 비교하여 볼대 다음과 같은 장점이 있기 때문이다.

• Membrane Journal
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• v.24 no.3
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• pp.201-212
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• 2014

This study was performed to discover the optimum operation conditions for the advanced water treatment using the ceramic membrane, introduced the first in the nation at the Y water treatment plant (WTP). The result of investigation to find the optimum operation conditions which can continue preserving the filtration performance as well as satisfying both the economics and the water quality is as follows. In the ordinary water quality condition of the Y WTP, the optimum filtration time(the backwash period), which can minimize the production of backwash waste and preserve the membrane performance was examined to be 4.0 hours on basis of institution capacity ($16,000m^3/day$). Examining the recovery rate of TMP from the chemical cleaning (CIP) discovered that the inorganic contaminants, which cause membrane fouling, such as iron, manganese, aluminum, were removed through the acidic cleaning using citric acid, whereas the membrane recovery rate was found to be low. But, on the other hand, the TMP was recovered to the initial value from the alkali cleaning using the NaOCl. Therefore, the main contaminant causing the fouling was determined to be hydrophilic organic compound( biopolymer). The membrane recovery rate is highly influenced by the temperature of the cleaning chemical. That is, the rate increased with increasing temperature.