• 제목/요약/키워드: 성장온도

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300 mm 길이의 사파이어 단결정 대한 CZ성장공정의 수치해석: Part I. 핫존 구조 변경이 결정 온도에 미치는 영향 (Numerical analysis of CZ growth process for sapphire crystal of 300 mm length: Part I. Influence of hot zone structure modification on crystal temperature)

  • 신호용;홍수민;김종호;정대용;임종인
    • 한국결정성장학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.265-271
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    • 2013
  • Czochralski(CZ) 성장공정은 LED 기판용 고품질의 사파이어 단결정을 성장시키기 위한 중요한 기술 중 하나이다. 본 연구에서는 300 mm 길이의 사파이어 단결정 위한 유도 가열방식의 CZ 성장공정을 FEM으로 수치적 해석하였다. 또한 도가니의 형상 및 상부 단열재 보강 등 hot zone 구조를 변경하고, 결정의 온도 변화를 분석하였다. 본 연구의 결과, 고-액 계면의 높이는 성장 속도의 균형이 이루어져 초기에 80 mm 부터 중기 이후 40 mm 정도까지 감소하였다. 또한 CZ 성장로의 최적 입력 전력은 도가니 형상 변경 및 상부 단열재 보강에 의한 보상효과로 기존 300 mm 용 CZ 성장로 조건과 유사하다. 그리고 Hot zone 구조를 변경한 CZ 성장로를 이용해 성장시킨 결정의 온도는 기존 보다 약 10 K 정도 상승 되는 것으로 분석되었다. 본 연구에서 도출된 결과를 CZ 성장공정에 적용하여 300 mm 길이를 갖는 c-축 사파이어 단결정을 성공적으로 성장시킬 수 있었고, 단결정 성장공정에 대한 시뮬레이션 분석기법의 타당성 및 유용성을 확인하였다.

고분자 절연재료의 특성연구 -DGEBA/MDA/Nitrile계에서 절연파괴 거동- (Characteristics of Polymer Insulator Materials -Behavior of Dielectric Breakdown in DGEBA/MDA/Nitrile System-)

  • 안현수;이홍기;심미자;김상욱
    • 한국재료학회지
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    • 제7권11호
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    • pp.929-933
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    • 1997
  • 에폭시 수지 DGEBA/MDA/GN계의 트링 열화에 미치는 전압과 온도의 영향에 대한 고찰을 통하여 고분자 절연재료의 절연파괴 거동을 연구하였다. 전압 인가시간에 따라 트리의 성장속도은 역S자의 형태로 나타났다. 인가전압과 온도가 증가함에 따라 트리의 성장속도는 증가하였으며 트리형상의 복잡함, 즉 국부적인 트링열화의 정도는 인가전압이 감소하거나 온도가 증가한 경우에 높게 나타났다. 절연파괴 강도는 유리 전이온도 이상에서 급격히 감소하였다.

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세라믹 건조로 온도 제어를 위한 가중계수를 갖는 일반형 예측제어 (Generalized predictive control with exponential weight to control tempera-tures in ceramic drying furnace)

  • 임태규;성원준;금영탁;송창섭
    • 한국결정성장학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.284-289
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    • 2003
  • 내부에 열을 가하여 원하는 온도를 유지하는 전기로는, 정확하게 제어하고 모델링을 하기 힘든 시스템이다. 왜냐하면 시스템 변수와 응답 지연 시간이 온도와 위치가 변함에 따라 변하기 때문이다. 이번 연구에서 항상 폐루프 시스템에서 안정성을 보증하고, 내부가 불안정한 시스템에 효과적으로 적용될 수 있는 가중계수를 갖는 일반형 예측 제어가 세라믹 전기로에 적용되었고, 실험을 통해 온도 추적 이행을 보임으로서 확인하였다.

Sol-Gel 공정을 이용한 $ErMnO_3$박막 제조 및 전기적 특성 (Preparation and Electrical Properties of $ErMnO_3$Thin Film Using Sol-Gel Process)

  • 류재호;김유택;김응수;강승구;심광보
    • 한국세라믹학회지
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    • 제37권10호
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    • pp.981-986
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    • 2000
  • Er(NO$_3$)$_3$.5$H_2O$, Mn($CH_3$$CO_2$)$_2$.4$H_2O$를 출발원료로 사용하여 졸-겔법으로 제조한 ErMnO$_3$박막의 열처리 온도 및 기판 배향성에 따른 박막 배향성과 누설 전류 특성에 관하여 연구하였다. ErMnO$_3$박막은 75$0^{\circ}C$ 이하의 온도에서 1시간 열처리 시비정질상태였으나, 78$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서 hexagonal pahse인 ErMnO$_3$로 결정화되었다. 열처리 온도가 증가할수록 기판 배향성과 무관하게 모든 방향으로 결정이 성장함을 알 수 있었다. 결정화 정도와 결정 성장 축에 따라 누설 전류 값이 변화함을 알 수 있었고, 80$0^{\circ}C$에서 열처리한 시편에서는 누설 전류 변화가 비선형적인 경향으로 증가하였으며, $10^{-5}$ A/$ extrm{cm}^2$ 이하로 유지되었다.

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CdS/CIGS 박막의 열처리 온도에 따른 Photoluminescence 특성

  • 조현준;김대환;최상수;배인호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.295-295
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    • 2011
  • CIGS박막을 동시 증발법(co-evaporation)으로 몰리브덴이 증착된 소다라임 유리 위에 성장시켰다. CdS 박막은 화학적 용액 성장법 (chemical bath deposition: CBD)을 이용하여 약 60 nm를 증착하였다. 열처리는 가열판 (hot-plate)을 사용하여 공기중에서 하였다. 열처리 온도는 0~350$^{\circ}C$까지 변화하였으며, 열처리 시간은 각각 5분이었다. 시료의 표면 및 계면의 변화를 SEM측정을 통하여 관측하였다. CdS/CIGS 박막의 열처리 온도 변화에 따른 photoluminescence 특성을 조사하였다. 여기 레이저는 488 nm ($Ar^+$ laser)와 632.8 nm (He-Ne laser)를 사용하여 결함의 근원을 조사하였다. 온도 의존성 실험을 통하여 CIGS 박막의 띠 간격 에너지를 확인할 수 있었으며, 결함 준위의 활성화 에너지 및 특성을 알 수 있었다. $Ar^+$ laser에서만 관측되는 신호의 근원은 CdS에 기인한 것이었다.

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세라믹 애자 건조공정의 유한요소 시뮬레이션 (Finite element simulation of drying process for ceramic electric insulators)

  • 정준호;금영탁;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.347-352
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    • 1999
  • 세라믹 애자 건조공정의 유한요소 시뮬레이션으로 건조공정중 애자의 온도분포, 습도분포, 습열응력분포, 그리고 변형형상을 예측하였다. 유한요소 수식화에서 온도구배, 습도구배, 전도, 대류 및 증발을 고려하여 불소성 세라믹의 온도분포와 습도분포를 구하였고, 온도 및 습도변화로 인한 체적 변화로부터 습열응력을 구하였다. 유한요소 수식화를 기초로 컴퓨터 프로그램을 개발하고, 개발된 프로그램을 사용하여 세라믹 애자의 건조공정을 시뮬레이션 하였다.

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Si(111)$7{\times}7$ 표면에서 Mg 성장양상 연구 (Growth Mode Study of Mg on the Si(111)$7 {\times}7$ Surface)

  • 안기석;여환욱;이경원;이순보;조용국;박종윤
    • 한국진공학회지
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    • 제2권4호
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    • pp.399-403
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    • 1993
  • Si(111)7 $\times$ 7 위에 Mg를 흡착시켜 표면구조의 변화를 RHEED(Reflection High Energy Electron diffraction) 와 XPS(X-ray PhotoelectronSpectroscopy)를 이용하여 연구하였다. RT ~20$0^{\circ}C$까지의 기판온도에서 증착량의 증가에 따라 표면구조는 (7$\times$7)에서 diffused (1$\times$1) 그리고 (2 3 3 $\times$2√3√3-R30$^{\circ}$) 구조로 변화하였다. 또한, 기판온도를 증가시킴에 따라 (1$\times$1), three domain(3$\times$1) 등의 구조를 볼 수 있었고, 특히 , $450^{\circ}C$의 기판온도에서는 single domain (3$\times$1) 구조를 최초로 관측하였다. 이렇게 형성된 각 구조에 대한 Mg KLL과 Si2p의 XPS peak intensity ratio를 증착량의 증가에 따라 측정하여 각기 다른 온도에서의 Mg 성장에 대한 메카니즘을 제시하였다.

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RAPID THERMAL ppROCESS시 실리콘 웨이퍼 온도 분포와 열 응력 해석

  • 안강호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1993년도 제4회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.38-40
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    • 1993
  • 급속 열처리 시스템내에서의 비정상상태 온도분포, 가스유동형태, 웨이퍼내 열응력등을 여러 가지 작동조건하에서 2차원 유한 차분법으로 계산하였다. 계산결과는 실험에서 얻은 에피성장률 데이터와 비교 검증하였다. RTpp내 가스 유동이나 온도분포는 압력 및 주위 구성요소에 크게 의존하는 반면, 웨이퍼의 온도분포는 wafer edge loss가 큰 고온에서 온도 불균일도가 가장 크다. 저온에서는 대류에 의한 열 손실이 웨이퍼내의 온도 불균일도에 큰 영향을 미치고 있다. 웨이퍼상의 열응력을 가장 크게 받는 시점은 transient condition에서 나타났다.

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NIR을 이용한 쇠고기의 신선도 측정센서 개발 (Development of Beef Freshness Measurement Sensor Using NIR Spectroscopy)

  • 조성인;김유용;박두산;황규영
    • 한국농업기계학회:학술대회논문집
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    • 한국농업기계학회 2003년도 동계 학술대회 논문집
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    • pp.185-191
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    • 2003
  • 냉장육은 냉동육에 비해 온도관리를 통해 육질이 부드럽고, 맛이 좋다는 이유로 냉장육의 소비가 증가하고 있다 그러나, 냉장육은 냉동육에 비해 저장온도가 높아 유통 및 저장시 미생물 성장에 적합한 환경이다. 미생물의 일부는 직접적 또는 간접적으로 그들이 생성하는 독소를 통하여 식중독을 일으킬 뿐만 아니라, 이러한 미생물 성장으로 인한 단백질의 분해와 미생물의 대사작용은 육류의 부패 원인이 되고 있다. (중략)

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수열법에 의한 calcite$(CaCO_3)$ 단결정 성장 (Growth of calcite$(CaCO_3)$ single crystal by hydrothermal method)

  • 이영국;유영문;박로학
    • 한국결정학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.30-35
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    • 1996
  • 수열법에 의해 고온 고압용 autoclave내에서 calcite 단결정을 성장하였으며, 자외-가시영역에서의 투과율 등을 측정하였다. Calcite 단결정 성자에 관해 보고된 광화제로는 6M의 M2CO3(M=K, Rb)와 chloride등이 있는데 강알카리의 경우 성장속도는 크나 autoclave를 백금으로 내장해야 하며 chloride의 경우 자발 핵생성에 의한 성장(spontaneous nucleation and growth)의 경향이 강하여 종자결정위에서 성장하는 것에 비해 autoclave 벽면 위에서 자발 핵생성에 의한 성장이 더 우세한 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 autoclave의 내장재료로 고가의 백금대신 테프론을 사용하고자 성장온도가 테프론의 내온(280℃)에서 NH4Cl을 광화제로 사용하여 calcite 단결정을 성장하였다. 연구결과 NH4Cl 수열용액으로 calcite 단결정을 성장할 때 자발 핵생성을 억제하려면 NaCl 또는 CH3COOH가 소량 첨가된 수열용액에서 온도구배를 6-7℃ 이하로 유지하여 성장하여야 함을 확인하였다. 성장된 calcite의 자외 및 청색 가시영역에서 투과율은 80% 정도로 천연보다 약 10% 높았다.

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