• Title/Summary/Keyword: 성막

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대면적 터치스크린용 Index Matching ITO Galss 개발

  • Jeong, Dong-Hwa;Jeong, Jong-Guk;Kim, Chang-Gyu;Jo, Won-Seon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.339.2-339.2
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    • 2014
  • 터치패널은 저항막 방식, 정전용량 방식, 적외선방식, Camera방식 등을 사용하고 있으며 현재 널리 상용화 되어 있는 방식은 정전용량 방식이다. 최근 터치스크린의 면적이 점점 커지게 되면서 점차 저저항, 고투과율을 가지는 IM ITO (Index matching ITO)를 요구하고 있다. 본 연구에서는 중대형 사이즈(15inch 이상)의 Cover glass 일체형 터치센서 구현을 위한 저저항(60ohm/sq이하), 고투과(88% 이상)의 IMITO Glass를 제작하여 전기적,광학적 특성을 분석하여 IMITO 성막조건을 최적화시키는 연구를 하였다. 또한 TSP의 Pattern 시인성을 향상시키기 위해 Index matching층을 고굴절재료와 저굴절 재료를 사용한 다층박막을 형성하여 반사율(0.5% 이하)을 최소화시켜 구현하였다.

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The Rheological Characteristics of Polymer Sensitive Materials for Organic Gas (유기가스에 대한 고분자 감응성막의 유변학적인 특성)

  • 김정명;김용성;장정수;권영수
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1996.05a
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    • pp.31-34
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    • 1996
  • In this paper, the rheological chances in sensitive materials was investigated by using QCA(Quartz Chemical Analyzer). Langmuir-Blodgett method was used to transfer sensitive material to the quartz crystals because of its facility to control that amount, and deposited sensitive material has uniformity to compare with other methods respectively. For the gas sensor using mass loading effect of quartz crystal microbalance, generally the Sauberary equation has been believed to represent the only mass loading effect. But when the organic gas is adsorpted into sensitive material, the rheological changes are occurred with different pattern as to the kinds of gases. Thus, much simpler method to identify the organic or hazard gas will be obtained by the consideration of resonant frequency changes and resonant admittance changes simultaneously.

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이종 금속 입자를 도핑한 이산화 티타늄박막의 굴절률 및 광학 특성 변화

  • Lee, Jae-Hyeok;Lee, Su-Min;Kim, Seon-Min;Seo, Mun-Seok;Sim, Gwon-U;Han, Jong-Hun;Kim, Tae-Geun;Jo, Jin-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.233-233
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    • 2011
  • 건물 내부의 에너지 효율을 높이기 위해 창호의 단열 효율을 높이는 연구가 최근 큰 주목을 받고 있다. 특히 고굴절률과 저굴절률의 소재를 이용한 다층 박막 구조를 형성하여 높은 광투과율을 유지하면서도 적외선 에너지를 선택적으로 차단하는 창호의 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 고굴절률 특성을 가진 TiO2박막을 이종 금속 이온을 sol-gel법을 이용해 첨가 복합화한 후 유리 기판에 스핀 코팅후 열처리하여 성막하였다. 생성된 막은 atomic force microscopy (AFM), 전계 방출 전자현미경, UV-vis를 이용해 각각의 금속 이온에 대한 박막 표면의 형상 변화와 광학적 특성 변화를 확인하였다.

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Analysis of Response Characteristics for Organic Gas of Polymeric Sensitive Films by Using Q. C. M. (수정진동자에 의한 감응성막의 유기가스 응답특성 분석)

  • 김경철;김정명;장상목;권영수
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1996.11a
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    • pp.409-412
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    • 1996
  • In this paper, the response characteristics of organic gases were investigated by using quartz crystal microbalance(Q.C.M) with different polymeric sensitive materials. The new linear parameter was discussed in order to develope gas sensing system using neural network and pattern recognition. We analyzed the response characteristics by the area of resonant frequency shift of quartz crystal, which mean affinities of organic gases for polymeric sensitive firm. The experimental results shows that the parameter made by the area of frequency shift which was linear with injection amount of organic gases has possibility to be used for pattern recognition and neural network. And they have different normalized pattern.

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A study on the growth and characterization of $\alpha$ -Sexithienyl thin films by OMBD(Organic Molecular Beam Deposition) technique (유기 분자빔 성막법을 이용한 $\alpha$-Sexithieny1 박막의 성장 및 특성 연구)

  • 박용인;박주강;권오관;김영관;최종선;신동병;손병청;강도열
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1996.11a
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    • pp.187-190
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    • 1996
  • Conducting polymers have band structures similar to those of inorganic semiconductors such as silicon. Several electronic devices have been constructed with conjugated polymers, mainly Schottky diodes and Metal-Insulator-Semiconductor Field-Effect Transistors (MISFET's). Organic semiconductor has been reported as active materials in MISFET's.$^{1.4}$ In our laboratory, $\alpha$-Sexithiencyl ($\alpha$-6T) has been synthesized and purified by sublimation method. In this study, thin films of $\alpha$-Sexithienyl were prepared on various substrates in ultra-high vacuum chamber by vacuum evaporation method, so called OMBD(Organic Molocular Beam Deposition).$^{7.9}$ The $\alpha$-Sexithienyl thin films were deposited with various deposition conditions. The crystalline structure, and molecular orientation of these films have being studied by using UV/Vis. spectroscopy and X-Ray Diffractometry.

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Effect of SiN Underlayeer on the Recording Characteristics of Magneto-Optical DISK (광자기 디스크의 기록특성에 SiN 하지층이 미치는 영향)

  • Choe, G.
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.2 no.1
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    • pp.56-60
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    • 1992
  • 광자기 디스크의 자기 및 기록특성에 SiN 하지층이 미치는 영향에 대해서 연구하였다. PC기관에 4층구조막의 디스크를 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 성막하였으며 스퍼터링 압력이 증가함에 따라 SiN 박막의 표면이 거칠어 지고 주상형성장이 현저하게 나타났다. SiN 하지층의 비세조직의 변화는 자기기록막의 보자력, 수직이방성 등에는 영향을 미치지 않았지만 지구의 형 성과정은 SiN 하지층의 조직에 따라 민감하게 변화하였다. SiN 하지층이 Porous 할수록 광자기 디스크의 기록이 이루어 지는 임계파우워 값이 작고, 또한 자구의 형성이 이루어 지는 임계외자 계의 크기도 넓은 범위에서 나타났다. 광자기 디스크의 기록특성을 증대시키기 위해서는 자기기 록막의 성능과는 관계없이 치밀하고 표면이 평할한 SiN 하지층을 증착하는 것이 필수적임을 관 찰하였다.

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정밀여과막의 공경 및 분포 제어

  • 홍재민;하성룡;강용수;안규홍;김은영
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • 1994.10a
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    • pp.76-76
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    • 1994
  • 일반적으로 다공성 비대칭막은 상분리법에 의하여 제조하는데, 분리막을 구성하는 고분자를 적절한 용매에 녹인 제막용액을 일정한 두께로 casting하고 이를 비용매에 담가서 binodal/spinodal decomposition이 일어나도록 하여 제조한다. 이 방법으로 제조된 다공성 분리막의 성능은 표면층에 존재하는 pore의 크기와 그 분포 및 porosity에 의해 결정된다. Casting된 고분자 용액을 비용매에 침지시켜 다공성막을 형성시킬 경우 막의 표면과 비용매 사이의 계면에서 용매와 비용매의 교환이 일어난다. 용매-비용매 교환이 일어나면 제막된 고분자 용액내의 비용매의 양이 증가되어 열역학적으로 불안정해져 상분리가 일어난다. 그런데, 이때 용매-비용매의 교환이 매우 빠른 속도로 일어나므로 pore-size 및 그의 분포를 조절하기가 매우 어렵다. 표면층의 pore size와 분포를 조절하기 위하여 그간 고분자 용액내의 고분자 농도조절, 첨가제의 사용, 비용매의 조성을 바꾸는 등의 여러가지 방법에 대한 연구가 진행되어 왔다.

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Physical and electrical characteristics of Pentacene thin films prepared by (유기 분자선 증착법에 의해 성막된 Pentacene 박막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구)

  • 김대엽;김대식;최종선;강도열;김영관
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.605-608
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    • 1999
  • We report investigations on a Pentacene thin film as a component for active layer of Organic thin film transistors. Pentacene film was deposited by Organic Molecular Beam Deposition(OMBD) and Al electrode was deposoted by vacuum evaporation. Electrical characterization of Pentacene films were measured by the three-terminal contact resistance methods, as the results contact resistance between pentacene films and the Aluminium electrode is 5.064G$\Omega$. The Al contact with the pentacene shows the bottom contact resistance. From the current-voltage characteristics, electrical conductivity of the Pentacene film is found as ~ 10$^{-4}$ /cm. physical characterization of pentacene films were measured by UV-spectrum and Cyclic-Voltammetry method.

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Study on Optimization of the Vacuum Evaporation Process for OLED (Organic Electro-luminescent Emitting Display) (유기EL 디스플레이의 진공 성막 공정의 최적화에 관한 연구)

  • Lee, Eung-Ki
    • Journal of the Semiconductor & Display Technology
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    • v.7 no.1
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    • pp.35-40
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    • 2008
  • In OLED vacuum evaporation process, the essential requirements include good uniformity of the film thickness over a glass substrate. And, it is commercially significant to improve the consuming efficiency of material of the evaporant which is deposited on the substrate because of high price of organic materials. In this paper, to achieve the better thickness uniformity and the better organic material consuming rate, a process optimization algorithm was developed by understanding vacuum evaporation process parameters that affect the material consuming efficiency and the uniformity of film thickness. Based on the method developed in this study, the vacuum evaporation process of OLED was successfully controlled. The developed method allowed the manufacture of high quality OLED displays with cheaper fabrication cost.

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