Feasibility Study of General-purpose Precision Stage Using A Novel Contact-Free Surface Actuator Based on Magnetic Suspension Technology (자기 흡인식 부상 원리에 기초한 비접촉식 서피스 액추에이터의 초정밀 범용 스테이지에의 적용 가능성)
-
- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
- /
- v.26 no.3
- /
- pp.452-460
- /
- 2002