• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.306-306
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• 2013

본 연구에서는 저가격, 대면적화를 위한 롤투롤 스퍼터를 이용하여, Index matching (히가시 야마 $125{\mu}m$)의 PET 기판 위에 ITO 박막을 성막 시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 투명 전극에 대하여 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 분석하였다. ITO 타겟은 미쓰이사(일본의) 주석 함량 5 wt%을 사용하였으며, 롤투롤 스퍼터는 degassing챔버와 스퍼터 챔버가 한 시스템에 구성되었고, Degassing 챔버는 좌우측의 Rewinder/Unwinder 롤러에 의해 감고 풀어지는 PET 기판의 수분 및 가스를 중앙부에 위치한 히터를 통해 제거하며, 수분 제거 후 스퍼터 챔버로 옮겨진 1,250 mm폭의 PET기판을 Unwinder/Rewinder 롤러에 장착하며, Unwinder 롤러로부터 풀려진 PET 기판은 guide 롤러를 거쳐 cooling drum과의 물리적 접촉에 의해 PET 기판의 냉각이 일어나게 된다. ITO 캐소드 전에 장착된 할로겐 히터 상부로 기판이 지나가면서 열처리가 진행되고 열처리 후 두 개의 ITO 캐소드 상부를 지나면서 연속적으로 ITO 박막이 PET 기판에 성막 되게 된다. ITO 박막의 주요 성막 변수인 DC Power, Ar/$O_2$ 가스 유량비, 기판의 속도는 최적으로 고정하고, 성막된 ITO박막의 필름을 각각 고온 챔버에서 $150^{\circ}C$도에서 10 min에서 60 min 동안 각각 열처리를 통한 내열성 테스트를 진행하여 ITO 필름의 특성 향상을 비교 분석하였다. 분석을 위해 전기적 특성은 four-point probe로 측정했고, 투과도는 Nippon Denshoku사(社)의 COH-300A를 이용해 가시광(550 nm)에서 분석했고, FE-SEM으로 ITO박막의 표면 상태를 분석하였다. 또한 Rolling Tester (Z-300)를 이용하여 기계적 안정성을 분석하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.11a
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• pp.56-58
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• 2001

본 논문은 수두증 환자의 체내에 삽입하는 파릴린 막체크 밸브의 제작과 시험에 관한 것이다. 파릴린 막 체크밸브는 세 가지 특징을 가지고 있다. 박막의 초기 인장응력에 따라 특정한 압력 이상에서 밸브가 열리고, 막과 밸브 입구의 크기에 따라 순방향과 역방향 특성을 서로 다르게 하며, 앤티사이폰 역할을 한다. 파릴린 체크 밸브는 상부 기판과 하부 기판으로 구성되어 있다. 하부 기판은 입구, 출구, 유로, 두 개의 완충챔버로 이루어져 있고, 상부 기판은 입구 박막과 두 개의 완충 챔버 박막으로 이루어져 있다. 하부 기판에는 밸브 구멍 주위에 밸브 시트를 두어 두 기판을 조립할 때 밸브 시트가 막을 변형시키면서 박막에 초기 인장 응력을 주도록 되어 있다. 또, 하부 기판에 특정한 각을 가진 유로 및 완충 챔버를 형성하여 역류 발생시 유체를 완충 챔버 쪽으로 흐르게 한다. 유한요소법(FEM)을 이용하여 박막과 밸브 입구의 크기, 박막의 두께 등을 변화시켜가며 박막의 응력과 변형을 해석하였고 해석 결과로부터 밸브 시트의 높이를 결정하였다. 마이크로머시닝으로 두 기판을 제작하고 조립한 후, 순방향과 역방향의 압력에 대한 유량을 측정하여 파릴린 체크 밸브의 특성을 시험하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.416-416
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• 2010

본 연구에서는 저가격, 대면적화를 위한 롤투롤 스퍼터를 설계&개발하고, 성막직전 PET 기판의 열처리 유무를 통한 ITO 박막을 성막 시킨 저항막 방식의 터치 패널용 투명 전극에 대하여 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 분석하였다. 롤투롤 스퍼터는 degassing챔버와 스퍼터 챔버가 한 시스템에 구성되었고, Degassing 챔버는 좌우측의 Rewinder/Unwinder 롤러에 의해 감고 풀어지는 PET기판의 수분 및 가스를 중앙부에 위치한 히터를 통해 제거하며, 수분 제거 후 스퍼터 챔버로 옮겨진 1250 mm폭의 PET기판을 Unwinder/Rewinder 롤러에 장착하며, Unwinder 롤러로부터 풀려진 PET 기판은 guide 롤러를 거쳐 cooling drum과의 물리적 접촉에 의해 PET 기판의 냉각이 일어나게 된다. ITO 캐소드 전에 장착된 할로겐 히터 상부로 기판이 지나가면서 열처리가 진행되고 열처리 후 두 개의 ITO 캐소드 상부를 지나면서 연속적으로 ITO 박막이 PET 기판에 성막 되게 된다. ITO 박막의 주요 성막 변수인 DC Power, Ar/$O_2$ 가스 유량비, 기판의 속도는 최적으로 고정하고, 성막 직전 기판의 열처리에 유무에 따른 ITO박막의 필름을 각각 고온 챔버에서 $140^{\circ}C{\times}90min$ 동안 열처리를 통한 내열성 테스트를 진행하여 ITO 필름의 특성 향상을 비교 분석하였다. 분석을 위해 전기적 특성은 four-point probe로 측정했고, 투과도는 Nippon Denshoku사(社)의 COH-300A를 이용해 가시광(550nm)에서 분석했고, FE-SEM으로 ITO박막 의 표면 상태를 분석하였다. 또한 Bending Tester(Z-100)를 이용하여 기계적 안정성을 분석하였다. 성막직전 PET 기판의 열처리를 하지 않은 ITO박막은 고온의 챔버 에서 $140^{\circ}C{\times}90min$ 동안 내열성 테스트 후 면저항이 511($\omega/\Box$)에서 630($\omega/\Box$)으로 높아졌으나, 성막직전 열처리를 통한 ITO 박막인 경우에는 465($\omega/\Box$)에서 448($\omega/\Box$)로 안정화 되었고, 투과율은 성막직전 열처리를 통해 1%향상되어 89%를 보였고, 유연성 또한 보다 우수한 특성을 보였다. 표면 조도는 평균 0.416 nm의 낮은 값을 보였다. 이는 PET 기판의 degassing 공정 중 충분히 제거되지 않은 가스나 불순물을 성막직전 열처리 공정으로 충분히 제거하여 깨끗한 PET 기판 상에 ITO 박막을 성막시키고, 열처리시 기판에 주어진 열에너지에 의해 보다 밀도가 높은 ITO 박막이 성장했기 때문으로 사료 된다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2000.04a
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• pp.242-247
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• 2000

In this study, the Rayleigh's energy method and the Rayleigh-Ritz method on the basis of Flugge's shell theory was used to analyze the dynamic characteristics of the scroll compressor housing with clamped boundary condition. The frequencies and mode shapes from theoretical calculation were compared with those of commercial finite element code, ANSYS. In order to validate the theory, modal test was also performed by impact test and FFT analysis.

• The Journal of the Petrological Society of Korea
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• v.28 no.2
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• pp.71-83
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• 2019

The volcanic rocks in Saryangdo area are composed of Witseom Andesite, Punghwari Tuff, Araetseom Andesite, Obido Formation, Namsan Rhyolite and Saryangdo Tuff in ascending order. The volcanic rocks has a range of andesite-rhyodacite-rhyolite, which indicates calc-alkaline series and volcanic arc of orogenic belt. In Harker diagrams for trace element and REE pattern, these are also distinguished into so three groups(Witseom Andesite, Araetseom Andesite and Saryangdo Tuff) that each unit is interpreted to have originated in different magma chamber. The Saryangdo Tuff exhibits systematically(chemical zonations that gradually change) from lower dacite to upper rhyolite in section. The systematic sequence of compositional variations suggests that the tuffs were formed by successive eruptions of upper to lower part of a zoned magma chamber in which relatively dacitic magma is surrounded around rhyolitic magma of the central part. The zoned magma chamber was formed from marginal accretion and crystal settling that resulted form magmatic differentiations by fractional crystallization.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2005.11a
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• pp.61.2-61.2
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• 2005

• Journal of Animal Environmental Science
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• v.17 no.3
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• pp.155-162
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• 2011

This study was conducted to suggest the measurement procedure and to build up national greenhouse gas inventory database of animal agricultural sector by assessing methane and nitrous oxide emissions according to IPCC guidelines for national greenhouse gas inventory report in order to correspond to the Climate Change Convention. Ten house-made steady-state Half dome floating chambers were used to collect air samples emitted from slurry stored in the pit under the slat. Those chambers were spread out in order that air samples might represent the whole area of slurry under the slat. Fresh air was pumped into the chambers by $5{\sim}9{\ell}/min$ and air inside the chambers was sampled by $1{\ell}/min$. Surplus air by the higher flow rate of fresh air than sampling flow rate was passed through a hole on the top of chambers. Nitrous oxide fluxes measured from 10 locations would be negligible as concentrations between background air and sampled air from the chambers were within the error range. However, mean $CH_4$ fluxes were $0.15{\sim}1.02mg/m^2{\cdot}s$. The application of continuous greenhouse gas measurement techniques would be preferred if the patterns of greenhouse gas emissions are considered.

• Economic and Environmental Geology
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• v.35 no.1
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• pp.75-95
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• 2002

The Andong pluton in the Andong Batholith is composed of comagmatic plutonic rocks, in which the lithofacies comprise hornblende biotite tonalite in the central paft biotite granodiorite in the marginal paft and porphyritic biotite granite at the topside (noJthea~tern paft) of the pluton. The pluton is petrographically and petrochemically zoned, having more mafic center than margin and topside. Distribution pallern of the lithofacies represents a reverse zoning in the pluton. Modal and chemical data in the pluton show progressive and gradual compositional variations from the centrer via the margin to the topside. Quartz and K-teldspar increase toward the topside of the pluton, whereas hornblende, biotite and color index increase toward the center. The bulk composition in the pluton is also reversely zoned, with high $Si0_2$ and $K_{2}O$ in the topside facies, and high MnO, CaO, $Ti0_2$, $Fe_{2}O_{3}$t, MgO and $P_{2}O_{5}$ in the central facies. The reverse zoning is also evident in higher Cr. V, Ni, Sc and Sr of the more mafic tonalite in the interior. The reversely zoned pluton results from remobilization (resurgence) of the lower more mafic compositional zone into the upper more felsic zones of the pluton modified by thennogravitational diffusion and fractional crystallization. In the initial stages of evolution, the pluton was a petrochemical system that fonned chemical compositional zonation with mafic tonalitic magma in the lower. granodioritic one in the middle and granitic one in the upper paft of the magma chamber. Periodic influxes of more mafic magma from the ba~e resulted in mingling of liquids and redistribution of minerals, and may have triggered the remobilil.ation of the lower compositional zone into the upper more felsic zones.

• The Journal of the Petrological Society of Korea
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• v.17 no.3
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• pp.166-178
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• 2008

The modal analyses on the phenocryst phases and the normative mineralogies from the bulk chemical analyses record that the volcanic rocks related to the Yangsan caldera might been derived from compositionally zoned magma. The volcanic rocks show linearly continuous mineralogical gradients, not only totally in the relations between $SiO_2$ and proportion of phenocryst content, but also within each rock unit in the relations between total phenocryst content and the proportion, Q-Ab-Or and Q-An(Ab-Or) diagrams. The roughly gradational modal variations of the phenocryst phases are shown upward within each rock unit. However, the contents and proportion of the phenocrysts in the Yangsan Tuff and the Hwajeri Formation represent the zigzaggedly undulatory variations. The continuous mineralogical gradients without large gaps define a large zoned magma system in the pre-eruptive, later precollapse and postcollapse magma chambers respectively. The zigzagged variations reflect the intermittent eruptive pulses representing any time gaps.

• The Journal of the Petrological Society of Korea
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• v.28 no.2
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• pp.111-128
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• 2019

Ulleung Island is the top of an intraplate alkalic volcano rising 3200 m from sea floor in the East Sea (or Sea of Japan). The emergent 984.6 m consist of eruptive products of basaltic, trachytic and phonolitic magmas, which are divided into Dodong Basaltic Rocks, and Ulleung, Seonginbong and Nari groups. The Maljandeung Tuff in the Nari Group consists of thick pyroclastic sequences which are subdivided into 4 members (N-5, U-4, 3, 2), generating from explosive eruptions during past 18.8~5.6 ka B.P. From chemical data, the Member N-5, phonolitic in composition, is considerably enriched in incompatible elements and REE patterns with significant negative Eu anomalies. The members 4, 3 and 2 are phonolitic to tephriphonolitic in composition, and their REE patterns do not have significant Eu anomalies. In variation trend diagrams, many elements show abrupt compositional gaps between members, and gradual upward-mafic variations from phonolite to tephriphonolite within each member. It suggests a downward-mafic zonation that were evolved into phonolitic zone in the lower part to tephriphonolitic zone in upper part of magma chamber. It is supposed that the chemical stratification generated from multiple mechanisms of thermal gravidiffusion, crystal fractionation, and gradual melting and sequential emplacement. The stratified magmas were explosively erupted to generate a small caldera during short period (11 ka B.P.). Especially both members (U-3, 2) were accumulated by gradually erupting from the upper phonoltic zone to the lower tephriphonoltic zone of the stratified chamber in 8.4 ka B.P. and 5.6 ka B.P. time, respectively.