• Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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• 2000.11a
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• pp.69-84
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• 2000

교육 시장의 변화 ; 1. 평생 교육법 및 시행령 공포(1995. 9. 5. 평생교육법 선포, 2000. 3. 13 평생교육법 시행령 공포, 200. 3. 31 평생교육법 시행 규칙 제정), 2. 교육 시장의 변화 과외금지 위헌 판결; 30조원 사교육 시장 부상, 온라인 가상 대학 증가 ; 대학 컨소시엄(OCU, KCU, KDU, SDU 등), 가상대학(16개교 81개 과 설립 신청), 직장 내 가상대학(삼성 반도체 공과대학 2개학과).(중략)

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2022.05a
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• pp.477-480
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• 2022

반도체 성능 향상으로 신호를 전달하는 회로의 단위가 마이크로 미터에서 나노미터로 미세화되어 선폭(linewidth)이 점점 좁아지고 있다. 이러한 변화는 검출해야 할 불량의 크기가 작아지고, 정상 공정상태와 비정상 공정상태의 차이도 상대적으로 감소되어, 공정오차 및 공정조건의 허용범위가 축소되었음을 의미한다. 따라서 검출해야 할 이상징후 탐지가 더욱 어렵게 되어, 높은 정밀도와 해상도를 갖는 검사공정이 요구되고 있다. 이러한 이유로, 미세 공정변화를 파악할 수 있는 신규 검사 및 계측 공정이 추가되어 TAT(Turn-around Time)가 증가하게 되었고, 웨이퍼가 가공되어 완제품까지 도달하는데 필요한 공정시간이 증가하여 제조원가 상승의 원인으로 작용한다. 본 논문에서는 웨이퍼의 검계측 데이터가 아닌, 제조공정 과정에서 발생하는 다양한 센서 및 장비 데이터를 기반으로 웨이퍼 제조 결과가 양품인지 그렇지 않으면 불량인지 구별할 수 있는 가상계측 모델을 제안한다. 기계학습의 여러 알고리즘 중에서 다양한 장점을 갖는 XGBoost 알고리즘을 이용하여 예측모델을 구축하였고, 데이터 전처리(data-preprocessing), 주요변수 추출(feature selection), 모델 구축(model design), 모델 평가(model evaluation)의 순서로 연구를 수행하였다. 결과적으로 약 94% 이상의 정확성을 갖는 모형을 구축하는데 성공하였으나 더욱 높은 정확성을 확보하기 위해서는 반도체 공정과 관련된 Domain Knowledge 를 반영한 모델구축과 같은 추가적인 연구가 필요하다.

• The Inventors News
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• no.54
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• pp.1-16
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• 2007

한국여성경제단체연합, 여성경제계 위해 공식 출범/발행인 칼럼/'마드리드 출원제도' 적극 활용 상표 침해 줄여라/일본 특허출원 심사기간 단축된다/기업.연구소 신입사원75%, 특허 관련 지식 전무/'주몽'이계인 씨 산자부 홍보대사 위촉/특허등록세, 신청 다음날 내도 된다/특허청, 6시그마 공공부문 혁신 주도/아듀 2006 한국여성발명협회 결산/자문위원 칼럼/로봇시장에도 브랜드 선점 열풍/농산물도 발명특허 상표 등록 시대/도소매업도 서비스업으로 출원 가능/기름대신 물 사용한 자동차, 항공기 현실화/반도체 배선 기술 특허 출원 상승세/자동차는 모바일 엔터네이너/'적외선 감지기술' 우리 생활속으로/서울반도체.바론테크, 일본 특허분쟁 승소/하나TV, 특허권 침해 피소/삼성전자, 분쟁.경쟁 대응위해 특허조직 통합/신한다이아몬드 일본 MDI 특허분쟁 승소/미니인터뷰/나노기술 응용한 디스플레이 특허출원 급증/미국의 두 배인 '휴면 특허', 대책 마련 시급/특허법원 "사용횟수 적다고 상표취소 못해"/종자번식 유전자 변형식물도 특허출원 가능/변리사 1차 시험 합격자 대폭 축소/역사 속의 발명품/하루 10분 발명교실/특허Q&A/신년인터뷰/화장하는 방법도 특허 받는다/'취업에서 결혼까지' 올인원 시스템 화제/아이디어 착상 및 발명 기법/아줌마의 힘이 발휘될 때까지 발명 또 발명/버뱅크의 식물 품종 개량/미국 청년, 몸짱 선탠용 티셔츠 발명/스위스, 국가경쟁력 1위의 비밀/저지방식,'유방암' 제발 위험 감소/서울대, 세계최초 암캐 복제 성공/국가 R&D 특허조사, 전체 R&D 부처로 확대/전국 초.중생 발명 글짓기.만화현상 공모전/특허청, 공공부문 성과주의 대통령상/한국여성발명협회 회원사 발명품 가이드

• The Inventors News
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• no.45
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• pp.1-16
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• 2006

'2006 여성발명 창의교실' 첫 수료식 개최/2006 대한민국 여성발명품 박람회/제12회 여성발명 우수사례 발표회/신세대 인터넷 용어, 상표 출원 증가/독창성가진 화투, 특허품으로 인정/대학 강의실에도 특허 열풍 분다/차세대 분자전자 메모리 특허 증가/교통카드 특허 이용료 협상 골머리/국제지식재산연수원, WIPO 공식 연수기관 지정/PCT, 국내단계 진입기간 31개월까지로 연장/직무발명 보상에 대한 길 더 넓어져/특허.실용신안, 권리 강화 되다/'특허행정체험단' 통해 고객 감동 실현/신규 발명교실 설치 계획 안내/사랑 확인해 주는 '연인의 잔' 발명/'무공해 플라스틱'으로 환경 사랑 나선다/중국, R&D 기지로 급부상하다/특허출원 실적, 대학별 빈부 격차 심해져/삼성,SDI,OLED 특허 출원 세계 최다/한국여성발명협회, 홈페이지 전면 개편/특허청, 국방과학연구소와 업무협력협정 체결/브랜드 경영 열풍, 지자체에도 분다/'DMB 기술표준과 전략적 특허분석' 발간/지렁이로 화장품, 비누 발명/건강 상식/시중 은행, 월드컵 미끼상품 못판다/역사 속의 발명품/하루 10문 발명교실/특허Q&A/조정숙 코코허브 대표/수원 매현중학교 발명교실/파마머리 발명, 올해로 1백주년/아이디어 착상 및 발명 기법/창의성은 우리의 밥줄이다/야마모토의 추잉껌/PSP진동기술 특허소송 소니패배/내셔널반도체, 특허 장난꾼 잡는다/특허청, '제7회 반도체 설계 공모전' 개최/KAIST 학생들, 특허청에서 '연구노트' 작성법 전수/특허법원, 전국법원 중 처음으로 구술변론 도입/한국여성발명협회 회원사 발명품 가이드/'2006 전국 발명표어 공모대회' 공고

• The Inventors News
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• no.48
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• pp.1-16
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• 2006

축사/발명 유비쿼터스 선도하는 언론 지향/'발명하는 사람들' 창간 4주년 맞다/'발명하는 사람들' 창간 4주년을 축하합니다/반도체 공정분야 특허 출원 급증/운동화에도 웰빙 바람/공기청정기 특허출원 꾸준한 증가/차세대 반도체 특허, 회로.응용 분야에 집중/맥주, 이제 병이 아닌 플라스틱 용기에/특허고객콜센터, 품질인증 획득/특허청,'찾아가는 특허검색서비스' 제공/직무발명보상 개정법 관련 세미나/'쟁점별 특허소송 가이드북'제작/특허청 연구회, 고객감동 경영의 밑거름/한국특허정보원,2006 한국서비스대상 공공부문 대상 수상/현대차, 특허침해 찾으면 로열티 10% 지급/나이키 짝퉁, 한해 3백60만 켤레 적발/특허청, 자동차부품연구원과 업무협약/휴대용 포토 프린터 특허 출원 증가/역사 속의 발명품/하루 10분 발명교실/특허Q&A/한국여성발명협회 13년 발자취/미니인터뷰/이공계 대학교수 대상 특허정보 세미나 개최/실용신안 등록출원, 우선심사 대상 확대/자료 수집을 소홀히 마라/특허청 간부진, 고객 현장 속으로/삼성, 중국 저명상표로/포스코, 특허시스템 가동/도미다의 원너 커트/월마트, 짝퉁 '펜디' 판매로 망신살/일본, '지적재산권 입국' 계획 마련/미국-유럽연합, 짝퉁 퇴치 나선다/특허청, 자체 브랜드 '특허로' 첫상표출원/인청 부평지식재산센터, 발명가 초청강연회 개최/'2006 피츠버그 국제전' 에서 국내 발명가 수상/세계 최고 4대 건강식품/특허법원, 책 제목 출판사 소유로/한국여성발명협회 회원사 발명품 가이드/'2006년 여대생 발명캠프'/

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.22 no.4
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• pp.26-31
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• 2023

We investigated the impact of NF₃ / H₂O remote plasma dry cleaning conditions on the SiO₂ etching rate at different preparation states during the fabrication of ultra-large-scale integration (ULSI) devices. This included consideration of factors like Si crystal orientation prior to oxidation and three-dimensional structures. The dry cleaning process were carried out varying the parameters of pressure, NF₃ flow rate, and H₂O flow rate. We found that the pressure had an effective role in controlling anisotropic etching when a thin SiO₂ layer was situated between Si₃N₄ and Si layers in a multilayer trench structure. Based on these observations, we would like to provide further guidelines for implementing the dry cleaning process in the fabrication of semiconductor devices having 3D structures.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.22 no.4
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• pp.7-12
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• 2023

The edge ring placed on the outside of the electrostatic chuck (ESC) is a key component for protecting the ESC and controlling the etching uniformity of the edge of the wafer. Therefore, it is very important to understand the etching phenomenon of edge rings for edge ring management and equipment homeostasis. In this study, a specimen with SiO₂ hard mask and underlying Si mold was installed on the edge ring surface and the etching results were measured by varying the edge ring 2MHz RF power. By developing PI-VM model with high prediction accuracy and analyzing the roles of key parameters in the model, we were able to evaluate the effect of plasma and sheath characteristics around the edge ring on edge ring erosion. This analysis method provided information necessary for edge ring maintenance and operation.

• 전기의세계
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• v.34 no.7
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• pp.398-403
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• 1985

IC는 수많은 전자부품중에서 가장 기본적인 부품으로서 현재 산업사회에서는 필수 불가결한 존재로 부각되어 있다. IC의 집적도는 SSI로부터 MSI, LSI를 거쳐 현재에는 VLSI의 단계가 실용화 되고 있으며 IC가 새로운 기기의 기능을 주도하고, 전기전자 공업의 발전에 원동력이 되고 있다는 것은 이미 기정 사실로 되고 있다. 최근 IC는 "산업의 핵" 또는 "산업의 공기"라고 불리울 만큼 그 역할 또한 큰 비중을 차지하면서 전 산업분야에서 폭넓게 사용되고 있으며 IC는 그 자체가 고도성장산업분야에 속해 있지만 IC가 산업의 미래상과 같이 중요성을 가졌기 때문에 최근에는 우리나라의 럭키금성, 현대, 삼성 및 대우그룹을 비롯하여 세계규모의 기업간 경쟁이 강화되어 가고 있다. IC시장은 1980년대의 전반기를 통하여 IC기술이 급속한 진보에 의해 다이나믹한 전개를 이룩한 것으로 볼수 있지만, IC시장의 장래를 전망하는 경우 세계적인 시점으로 보는 것은 매우 중요한 것이라 생각된다. 따라서 본 해설에 있어서는 서방자유세계를 중심으로 IC의 수급, 제품종별의 시장및 지역별 시장등에 관하여 1985년까지의 동향을 살펴보고 1980년대 전반기의 IC시장에 관한 흐름을 고찰하여 1980년대 후반기의 시장 및 기술개발의 전망에 관하여 기술하고자 한다.발의 전망에 관하여 기술하고자 한다.

• The Optical Journal
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• s.112
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• pp.46-49
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• 2007

첨단 기술관련 산업의 핵심을 이루는 광산업과 전자산업의 발전상을 직접 확인하고 희망찬 미래상을 제시하고자 기획된 국제광산업전시회와 한국전자전이 성황리에 개최됐다. 지난 9월 4일부터 6일까지 광주 김대중컨벤션센터에서 열린 국제광산업전시회는 올해 아시아지역에서 가장 권위 있고 규모가 큰 아.태광통신콘퍼런스를 유치하는데 성공함으로써 광산업 관련 신기술을 주제로 발표하는 콘퍼런스를 진행하며 관심을 모았다. 10월 9일부터 13일까지 5일간 경기 고양시 킨텍스에서 열린 한국전자전에는 국내 삼성전자와 LG전자, 소니와 중국의 하이얼 등 글로벌 기업들이 대거 참여해 전자제품을 총 망라한 신기술을 선보였다. 한편, 전자전은 단독 전시회로서는 올해를 끝으로, 내년부터 반도체산업대전, 정보디스플레이전과 통합해 '한국전자산업대전'이라는 명칭으로 같은 장소에서 개최될 예정이다.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.20 no.6
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• pp.33-36
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• 1983

This paper briefly describes the hardware side of "Development of a 16 bit computer system, " one of the national projects in which Samsung Semiconductor Telecommunication Inc. '||'&'||' KIET combined their efforts to develop a 16 bit microcomputer system based on IEEE 796 hardware bus structure. In the project CPU, memory and I/O controller boards were developed, tested and integrated into a complete system.m.