• 전기의세계
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• 제27권6호
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• pp.30-32
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• 1978

1947년 트랜지스터의 발명과 더불어 시작된 반도체산업은 과거 어느 산업분야에서도 볼 수 없었던 초스피드로 발전하여 겨우 30년이 지난 오늘날에는 콩알만한 실리콘 조각위에 전자 계산기를 올려 놓을 수 있을 만큼 발달 되었다. 우리나라에서도 급속히 발전하는 전자산업과 더불어 반도체 부품 생산이 개시되어 본격적인 기반을 구축하고 있다. 현재 국내 유일의 반도체 부품 제조회사이며 바이폴라 트랜지스터를 순국내 기술만으로 개발 1년만에 국내 수요의 20%를 공급하기에 이른 삼성 반도체(주)의 바이폴라 트랜지스터 기술을 살펴본다.

• 한국산업보건학회지
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• 제29권2호
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• pp.208-216
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• 2019

Objective: The aim of this study is to control residual chemicals or by-products generated in chambers during preventive maintenance (PM) in the semiconductor manufacturing industry. We designed local exhaust ventilation using computational fluid dynamics (CFD). Methods: The air flow characteristics and capture efficiency between rectangular and slot hoods were compared numerically. The software Fluent 18.1 was used to estimate uniform velocity distribution and capture efficiency for contaminants. A metal from group 15 in the periodic table was released at the bottom of the chamber to simulate emissions. Results: The slot hood had a higher capture efficiency than a rectangular hood under the same conditions because the slot hood provided uniform air flow and higher face velocity. Also, there was no rotating swirl in the plenum for slot, that is why slot had better efficiency than rectangular even though they had similar face velocity. With less than 10 slots, the capture efficiencies for contaminants were nearly 95%. The optimum conditions for a hood to achieve high efficiency was 8 to 10 slots and a face velocity over 1 m/s. Conclusions: Well-designed ventilation systems must consider both efficiency and convenience. For this study, a slot hood that had high capture efficiency and no work disturbance was designed. This will contribute to protection of the worker's health in a PM area and other areas as well. Also, this study confirms the possibility of the application CFD in the semiconductor fabrication industry.

• 과학과기술
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• 제16권3호통권166호
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• pp.8-27
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• 1983

- 핵심거점 기술개발에 주력 - 첨단기술 개발에 총력경주 - 과기처 '83 사업계획 - 기술개발 성공사례 . 마이크로컴퓨터 시스템개발-금성사 . 컴퓨터 수치제어선반개발-대우중공업 . 특고압애자 개발-고려애자공업 . 전자식 구내교환기 개발-삼성반도체통신 . 메탈베어링의 국산화-국제특수금속 - 세계 최첨단의 벨연구소 기술도입-금성반도체

• 전자진흥
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• 제10권6호
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• pp.98-103
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• 1990

• 전자진흥
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• 제5권7호
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• pp.94-97
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• 1985

• 전자진흥
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• 제16권1호
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• pp.79-86
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• 1996

• 환경기술인
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• 제6호통권262호
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• pp.42-43
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• 2008

• 전자진흥
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• 제2권3호
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• pp.20-21
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• 1982

• 전자진흥
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• 제5권9호
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• pp.76-78
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• 1985

• 전자진흥
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• 제9권8호
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• pp.60-64
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• 1989