• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.562-562
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• 2013

산소 플라즈마는 음이온을 발생시키는 음전성 플라즈마로서 감광제 세정이나 금속, 폴리실리콘 등의 식각을 위해 할로겐 가스와 혼합하여 반도체나 디스플레이 공정에 광범위하게 사용되고 있다. 산소 플라즈마는 아르곤 플라즈마와 그 특성이 상이하고, 다량의 음이온이 국부적으로 만들어지므로 음이온의 공간분포 진단이 중요하다. 본 연구에서는 평판형 부유형 탐침에 고조화파 분석법을 적용하여 양이온의 밀도를 구하고, 직류 차단 커패시터를 제거하여 접지전위에서 전자 전류 측정을 통하여 위치에 따른 전자의 상대적인 공간 분포를 얻었다. 이러한 방법으로 측정된 양이온과 전자의 공간 분포로부터 음이온의 공간 분포를 구할 수 있었다. 가스 압력, 산소 첨가량, 인가 전력 등 여러 조건에서 측정된 음이온의 분포는 이론적인 경향성과 유사함을 확인할 수 있었다.

• 한국재료학회지
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• 제2권2호
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• pp.119-125
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• 1992

수평자장을 건 Czochralski(HMCZ) 방법으로 자장강도(B)와 도가니 회전속도(C)가 실리콘 단결정의 산소편석에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. B=2, 3, 4kG와 C=4-15rpm에서 <100> 방향으로 성장시킨 57mm 직경의 단결정들 내의 산소분포는 대체로 축을 따라서 불균일하였고 톱니모양을 나타내었다. 종래의 CZ 방법과 비교할 때, 이러한 산소분포의 불균일성은 위 강도의 수평자장이 결정성장계면으로의 산소전달에 불안정한 요소로 작용했음을 나타낸다고 볼 수 있다. 반면에 C의 증가는 산소분포의 불균일성의 약화와 산소농도의 전반적인 증가를 유도하였다. 이 결과를 토대로 B=2kG에서 27-36ppma인 산소분포를 가진 단결정이 프로그램된 C에 의해서 얻어졌다. 소자제조공정을 모의한 열처리 과정에서 HMCZ 실리콘의 산소석출은 종래의 CZ 실리콘의 산소석출에 비해서 상대적으로 불균일하였고, as-grown 상태에서의 고르지 못한 HMCZ 실리콘의 산소분포가 주요 원인임이 밝혀졌다.

• Ocean and Polar Research
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• 제32권4호
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• pp.439-448
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• 2010

CTD를 이용하여 용존산소의 농도에 대한 연속적인 관측이 이루어지면서 용존산소 농도 분포의 fine structure에 대한 연구가 가능해졌다. 뿐만 아니라 altimeter로부터 해저 퇴적물 표면에 최대한 가까이 까지 관측이 가능해짐에 따라 해저 경계면에서의 용존산소 농도 분포에 대한 정보를 얻을 수 있게 되었다. 지금까지 동해 울릉분지의 용존 산소 농도의 수직 분포는 동해 북부의 일본 분지와는 수심 300 m 이하에서는 수심에 따라 지속적으로 감소하는 형태를 보이는 것으로 알려져 있다. 그러나 2005년부터 2006년까지 6회에 걸쳐 수심이 1000 m보다 깊은 지역에서 해저퇴적물 상부 100 m 이내의 수심까지 용존산소를 관측한 결과, 울릉분지 내의 용존 산소 농도의 수직분포형태는 3가지로 분류된다. 첫 번째는 지금까지 알려진 바와 같이 수심에 따라 지속적으로 감소하는 형태(Type-1), 두 번째는 Type-1과 같은 형태를 보이다가 해저 경계면 근처에서 급격히 산소의 농도가 줄어드는 형태(Type-2), 세 번째는 해저 경계면 상층에 용존산소 농도의 최소층이 존재하는 형태(Type-3)이다. 울릉분지 수심 1000 m 이상되는 지역에서는 분지 전반에 걸쳐 Type-2 형태로 분포하고 Ulleung Interplane Gap을 포함하여 일본 분지와 가까운 지역에서는 Type-1, 독도 인근 해역에서는 Type-3 형태의 분포를 보인다. 표층 퇴적물에서 유기물 분해를 전제로 해저 경계면의 용존 산소 분포를 이용하여 계산된 표층 퇴적물의 산소 소모율은 $0.2{\sim}5.8\;mmol\;m^{-2}d^{-1}$로 실제 퇴적물 배양을 통해 얻은 산소 소모율 약 $1{\sim}9\;mmol\;m^{-2}d^{-1}$(정 등 2009; 이 등 2010b)와 일치하는 것으로 미루어 볼 때, 울릉분지의 전반에 걸쳐 Type-2와 같은 형태의 분포를 보이는 것은 울릉분지의 표층 퇴적물에서 높은 농도를 보이는 유기물의 분해가 일차적으로 중요한 역할을 하는 것으로 판단된다.

• 한국세라믹학회지
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• 제38권8호
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• pp.698-704
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• 2001

Doped ceria의 전기전도도는 도핑 원소의 종류와 양에 큰 의존성을 가지고 특정 조성에서 최대 전도도 값을 가지며 높은 dopant 농도에서는 전기전도도는 감소한다. 이런 현상은 dopant와 산소 빈자리 사이의 회합 형성과 관련이 있다고 알려져 있다. 그러나 Gd 이온이 도핑된 ceria의 경우 주된 회합종이 (2G $d_{Ce}$ $V_{o}$ )인지 (G $e_{Ce}$ $V_{o}$ ) 인지는 명확하게 알려져 있지 않다. 본 연구에서는 회합분포가 전기전도도에 미치는 영향을 연구하기 위해 결함의 회합종과 분포가 다른 3가지 경우에 대해서 시뮬레이션을 행하였다. 분자동력학법을 이용하여 다양한 온도와 다른 회합분포의 경우에 대해 산소 확산계수가 계산되어졌으며, 계산된 산소 확산계수는 실험적으로 결정된 bulk 전도도로부터 얻어진 산소 확산계수와 비교되어졌다. 그 결과 (2G $d_{Ce}$ $V_{o}$ )와 (G $e_{Ce}$ $V_{o}$ ) 회합이 공존하며 이들이 통계학적으로 이항 분포를 가지는 경우가 실험적으로 보고된 값과 가장 일치하는 결과를 얻을 수 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.561-561
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• 2013

볼츠만 관계식을 아르곤과 산소 플라즈마에서 공간상의 전자 전류 측정과 전자에너지 분포함수의 측정을 통해 실험적으로 검증하였다. 전자의 에너지 분포가 볼츠만 관계식을 따를 때, 탐침의 전위를 고정시켜 각 위치마다 측정 할 경우 탐침과 플라즈마 간의 전위차의 감소와 플라즈마 밀도 감소가 서로 상쇄되는 효과로 인해 공간상에서 전자전류가 일정하게 측정이 된다. 또한 볼츠만 관계식을 전자역학적으로 해석할 때, 전자에너지 분포함수의 비국부적 특성을 의미하기 때문에 공간상에서 전자에너지 분포함수가 일정하게 측정된다. 낮은 압력에서 전자전류는 공간상에서 일정하였고, 전자에너지 분포함수 또한 전체 에너지 상에서 일치하는 것을 확인할 수 있었다. 이는 전자가 아르곤과 산소 플라즈마에서 각각의 경우에 볼츠만 관계식을 따르는 것으로 볼 수 있다. 하지만 압력이 높을 때, 산소 플라즈마인 경우 볼츠만 관계식 따르지 않았지만 아르곤 플라즈마에서는 여전히 볼츠만 관계식을 따르는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 차이는 산소기체의 경우 분자기체에서 비탄성 충돌을 유발하는 반응들이 다양한 전자에너지 영역에 대해서 존재하여, 전자의 에너지 특성이 비국부적 영역에서 국부적 영역으로 전이가 되기 때문인 것으로 해석할 수 있다. 또한 챔버 벽면으로 빠져나가는 전자에 대해서도 볼츠만 관계식을 실험적으로 검증을 해 보았고, 플라즈마 내에서의 결과와 유사한 경향성을 관찰할 수 있었다.

• 한국해양학회지
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• 제14권2호
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• pp.67-70
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• 1979

해양에 있어 용존산소의 분포는 해양의 생화학적 구조의 특성을 나타내고 수괴의 이동이나 혼합과정을 설명하는데 중요한 인자중의 하나이다. 한국동해는 지형상으로 보아 다른 해역에 비해 특이한 형태를 가지고 있어 해양물리학, 화학, 생물학적인 여러 가지 특성을 가지고 있다. 이중 해양물리학적 및 생물학적인 특성에 관한 연구는 지금가지 많이 이루어져 왔으나 해양화학적인 특성에 관한 연구는 별로 이루어지지 않았다. 동해의 용존산소분포에 관한 연구는 Ichiye(1954) 및 Fukuoka(1962)등의 연구가 있었으나 이들은 주로 동해북부 및 일본서해안에 관한 것이었고 우리 나라 동해안에 인접한 조사연구는 없었다. 그래서 한국동해의 용존산소 분포의 특성을 규명하기 위해 국립수산진흥원 해양관측자료를 이용하여 분석 검토했다.

• 한국결정성장학회지
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• 제10권2호
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• pp.91-95
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• 2000

8인치 쵸크랄스키 실리콘 단결성 성장에 있어서, 계면에서의 온도기울기, 산소, 농도 및, 반경방향의 산소농도 분포에 미치는 아르곤 가스 유동의 영향을 조사하였다. 아르곤의 유입량을 증가시킴에 따라 계면 근처 결정내 온도기울기가 증가하였으며. 결정내 산소농도는 감소하였다. 한편, 반경방향의 산소농도 균일성은 악화됨이 관찰되었다. 실험 결과를 종합하여 볼 때, 아르곤 유동이 산소 농도 및 균일 분포성 등의 결정 특성에 중요한 영향을 미치는 성장 공정변수임을 확인할 수 있었다.

• 한국수산과학회지
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• 제16권3호
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• pp.291-297
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• 1983

고온${\cdot}$고염수인 대마난류는 동해에서 하계에 염분 최대층을 형성한다. 또 이 염분최대층의 용존산소($4.0{\sim}5.5\;ml/l$)는 고산소인 동해고유수 ($6.0{\sim}8.5\;ml/l$)에 비해 적은 값을 보이고 있는 것이 특징이다. 하계 동해에서 대마난류가 변동함에 따른 용존산소의 분포특성과 그 변동을 파악하기 위하여, 용존산소의 연직구조에 따라 그 분포역을 구분하고 염분 최대층에서 용존산소를 조사하여 연직단면구조의 변화를 검토하였다. 그 결과는 다음과 같다. 용존산소의 분포역은 해에 따라 다소 변동은 있으나 크게 셋으로 구분되었다. 즉 쿠로시오의 성질을 거의 그대로 보이는 $36^{\circ}N$ 이남해역, 동해 고유수의 성질을 보이는 해역($40^{\circ}N$ 이북해역) 및 그 중간해역인 대마난류역($36^{\circ}N{\sim}40^{\circ}N$)이었다. 염분최대치가 나타나는 층에서의 용존산소 및 ${\delta}_T$(thermosteric anomaly)의 범위는 대체로 $4.9{\sim}6.5\;ml/l,\;210{\sim}240\;cl/t$ 이었으나, 그 최대빈도는 각각 $5.5{\sim}5.7ml/l,\;230{\sim}240\;cl/t$ 이었다. 대마난류가 한국 동해안쪽으로 치우쳐 북상한 해의 경우에는 냉수와의 경계역에서 사행이 심하나 일본 연안쪽으로 주류가 북상한 해의 경우는 냉수와의 경계역이 매우 남하해 있고 비교적 전자에 비해 사행도 적었으며, PM 선상의 단면도로 볼 때 주축이 외해쪽으로 좀 더 이동해 있는 것으로 나타났다. 한편 용존산소의 분포상태로써 대마난류의 복상한계를 파악할 수가 있었다.

• 한국결정성장학회지
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• 제7권3호
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• pp.406-417
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• 1997

초크랄스키법들 의한 8인치 실리콘 단결정 성장계에 대칭과 비대칭 커스프 자장을 인가하여 결정을 성장시켰을 때 축방향으로 일정한 산소농도분포를 가질 수 있는 적절한 인가 자장의 크기와 비대칭도에 대한 수치해석적 연구를 수행하였다. 결정이 성장할 때 커스프 자장의 형태가 유지되는 방법으로 도가니의 위치를 변화시키는 방법과 인가코일의 위치를 변화시키는 방법을 비교하였다. 대칭 커스프 자장이 인가된 경우, 축방향으로 일정한 산소농도를 얻을 수 있는 자장의 강도변화는 결정이 성장함에 따라 아래로 볼록한 형태를 띠었다. 축밟향으로 일정한 산소농도분포를 갖기 위해 도가니의 위치를 변화시키는 방법과 코일의 위치를 변화시키는 방법을 비교한 결과 비슷한 산소농도의 표준편차값을 가짐을 알 수 있었다. 비대칭 자장이 인가된 경우, 축방향으로 일정한 산소농도 분포를 얻기 위해서는 비대칭도는 결정이 성장함에 따라 점차 증가하는 양상을 보였다.

• 한국수산과학회지
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• 제24권5호
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• pp.303-314
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• 1991

반폐쇄만이며 하계동안 저층 빈산소수괴(Hypoxic bottom area)가 형성되는 진해만 일대 해역중의 하나인 원문만에서 해양세균의 계절적 분포와 해양세균이 용존산소소모에 미치는 영향을 알기 위하여 하계동안 미소생물의 전자전달계 활성도(Electron transport system activity)로서 잠재적 산소소모량(potential consumption of oxygen)을 구하였다. 해양세균의 계절별 우점종은 추계('89년 10월)에는 Pseudomonas spp., 동계 ('90년 2월)에는 Serratia spp., 춘계('90년 5월)에는 Acinetobacter spp., 하계('90년 8월)에는 Flavobacterium spp.가 우점하였다. 조사기간동안 생균수는 하계('90년 8월)에 표층, 저층, 저질의 평균치가 각각 $2.12\times10^6cells/ml,\;1.34\times10^6cells/ml,\;1.55\times10^7cells/ml$로 높은 분포치를, 동계에는 표층, 저층, 저질의 평균치가 각각 $2.08\times10^5cells/ml,\;1.54\times10^5cells/ml,\;1.28\times10^6cells/ml$로 낮은 분포치를 보여주었다. 또한 전자전달계 활성(Electron Transport System Activity)으로 잠재적 산소소모량을 조사한 결과 하계동안 수괴에서 미소생물군집의 잠재적 산소소모량은 $232.4-637.5{\mu}l/O_2/l/day$, 이중 세균의 잠재적 산소소모량은 $142.6-432.4{\mu}l/O_2/l/day$로서 수괴의 미소생물군집의 잠재적 산소소모량의 약 $55\%$를 차지하여, 하계동안 저층의 산소소모에 큰 영향을 미침을 알 수 있었으며, 세균의 잠재적 산소소모량은 생균수와 밀접한 관계가 있었다.