• Title/Summary/Keyword: 산소확산

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The Effects of Deposition Temperature of Pt Top Electrodes on the Electrical Properties of PZT Thin Films (Pt 상부 전극 증착온도가 PZR 박막의 전지적 특성에 미치는 영향)

  • Lee, Kang-Woon;Lee, Won-Jong
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.8 no.11
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    • pp.1048-1054
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    • 1998
  • The effects of deposition temperature of Pt top electrodes on the electrical properties of Pb(Zr,Ti))$O_3$, (PZT) thin film were investigated. When the Pt top electrodes were deposited at substrate temperatures of $200^{\circ}C$ or above,the ferroelectric properties of the PZT thin film under the Pt electrode were severely degraded. Whereas those of the PZT film where the Pt electrodes were not deposited were not degraded. Water vapors which remained in the vacuum chamber were dissociated into hydrogen atoms by the catalysis of Pt top electrode, and those hydrogen atoms diffused into the PZT film and produced oxygen vacancies at high substrate temperature, resulting in the degradation of the ferroelectric properties of the PZT film located under the Pt electrode. Since the water vapors could not be dissociated into hydrogen atoms without the catalysis of Pt. the degradation of the PZT film did not take place where the Pt electrode were not deposited. The degraded feroelectric properties could be recovered by rapid thermal annealing (RTA) treatment. On the other hand. leakage current characteristics were improved with increasing the deposition temperature of Pt top electrodes.

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Electrocatalytic Performances of La0.6Ca0.4CoO3 and Pb2Ru2O6 prepared by Amorphous Citrate Precursor Method (Amorphous Citrate Precursor 법으로 제조한 La0.6Ca0.4CoO3와 Pb2Ru2O6의 전기화학적 촉매능)

  • Lee, Churl Kyoung;Sohn, Hun-Joon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.10 no.3
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    • pp.331-335
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    • 1999
  • The transition metal oxides have been of interest as bifunctional electrocatalysts for bifunctional air electrodes. The amorphous citrate precursor (ACP) process has been optimized to prepare perovskite (La0.6Ca0.4CoO3) and pyrochlore (Pb2Ru2O6) powders with high surface area, and consequent improvement of The electrocatalytic performance in an air electrode with thermal treatment. PTFE -bonded gas diffusion electrodes loaded with perovskitc and pyrochlore catalysts showed good bifunctional performances. The electrodes were fairly stable up to 100 hour in the galvanostatic mode at ${\pm}25mA/cm^2$, from which these electrodes offer promise as practical bifunctional air electrodes.

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FTS (Facing Target Sputtering)장비를 이용한 알루미늄 무기산화막 박막에 관한 연구

  • Bang, Seung-Gyu;Lee, Dong-Uk;Bae, Gang;Kim, Hwa-Min;Son, Seon-Yeong;Jeong, Sang-Gwon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.169-169
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    • 2012
  • 현재 디스플레이 시장은 LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) 등과 같이 평판 디스플레이가 주류를 이루고 있으며 현재에는 기존의 디스플레이와는 달리 잘 휘어지고 높은 투과성을 가지는 플렉시블 디스플레이에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 하지만 이러한 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플라스틱 기판의 경우 용제에 대한 화학적 저항성 및 기계적인 안정성이 취약한 점과 대기중의 수분이나 산소가 플라스틱 기판을 통하여 소자내로 침투하게 되어 금속전극을 산화시키거나 기포 또는 흑점 등과 같은 비 발광 영역이 확산되어 소자의 수명을 단축시키는 치명적인 단점을 가진다. 이에 본 실험에서는 고밀도 플라즈마 형성이 가능하고 저온공정이 가능한 FTS (Facing Target Sputtering) 장비를 이용하여 Polyethylene terephthalate (PET) 기판위에 낮은 수분 투과율 또는 산소 투과율을 갖는 양질의 무기 산화막을 적층하기 위해 저 투습도 및 기계적인 경도 향상을 위한 비 반응성 박막으로 $Al_20_3$층을 Ar분위기에서 증착하였고 그 위에 박막의 stress 감소, 유연성 향상을 위한 반응성 박막으로 Al을 Ar과 $O_2$를 비율별로 증착하여 비교 실험하였다. 이와 같이 제작된 무기산화막들을 Uv- spectrophotometer를 이용하여 광학적 특성을 조사한 결과 가시광 영역에서 모두 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 그 외 XRD (X-ray Diffraction)를 사용하여 결정성을 확인, SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 이용하여 박막의 구조와 표면향상 및 표면조도를 측정한 결과 모든 박막에서 밀집도가 좋으며 거칠기가 작은 것으로 확인되었다. 마지막으로 수분 투과율(WVTR)을 알아보기 위해 Mocon (Permatran W3/31)장비를 이용하여 측정한 결과 $1.0{\sim}3.0{\times}10^{-3}g/m{\cdot}day$의 낮은 수분 투과율을 볼 수 있었다. 이러한 측정 결과로 볼 때 향후 FTS 장비를 이용하여 양질의 플라즈마를 형성하여 알루미늄 무기산화막을 이용한 고밀도 다층막을 형성하면 더욱 낮은 수분투과율을 갖는 가스차단막을 제작할 수 있을 것으로 보여지며 반도체 소자 및 디바이스의 Pachaging으로도 사용가능 할 것이라 사료된다. 본 연구는 한국산업기술진흥원에서 지원하는 2011년도 지역산업기술개발사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

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Conductivity Improvement of Polyaniline/Nylon 6 Fabrics (폴리아닐린/나일론 6 복합직물의 전기 전도도 향상 연구)

  • 오경화;성재환;김성훈
    • Polymer(Korea)
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    • v.24 no.5
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    • pp.673-681
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    • 2000
  • Electrically conductive composites have been prepared by treating fabrics with oxidizing agent and exposing them to aniline, which deposited a substantial amount of conductive polymer within the interstices of the material. However the conductivity of the composite fabrics was limited by the irregular deposition of the conductive polymer layer. To improve the conductivity of polyaniline/nylon 6 composite fabrics, we modified the surface characteristics of nylon 6 fabrics by various plasma treatments and increased diffusion and adsorption of aniline by ultrasonic treatments. By the oxygen plasma treatment, attachment of functional groups such as C-O and C-OH increased on the surface of nylon 6 fiber, which promoted adhesion to polyaniline resulting in the higher add-on and electrical conductivity. Electrical conductivities of polyaniline/nylon 6 composite fabrics were highly increased by ultrasonic treatment, which assisted the diffusion of aniline into the inside of nylon fabrics by cavitation and vibration. Also, the effects of monomer concentration and the number of deposition cycles on the nylon 6 fabric conductivity Were investigated. As a result, the fabric conductivity increased with the monomer concentration and the number of polymerization deposition cycles.

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WN 박막을 이용한 저항 변화 메모리 연구

  • Hong, Seok-Man;Kim, Hui-Dong;An, Ho-Myeong;Kim, Tae-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.403-404
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    • 2013
  • 최근 scaling down의 한계에 부딪힌 DRAM과 Flash Memory를 대체하기 위한 차세대 메모리(Next Generation Memory)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. ITRS (international technology roadmap for semiconductors)에 따르면 PRAM (phase change RAM), RRAM (resistive RAM), STT-MRAM (spin transfer torque magnetic RAM) 등이 차세대 메모리로써 부상하고 있다. 그 중 RRAM은 간단한 구조로 인한 고집적화, 빠른 program/erase 속도 (100~10 ns), 낮은 동작 전압 등의 장점을 갖고 있어 다른 차세대 메모리 중에서도 높은 평가를 받고 있다 [1]. 현재 RRAM은 주로 금속-산화물계(Metal-Oxide) 저항 변화 물질을 기반으로 연구가 활발하게 진행되고 있다. 하지만 근본적으로 공정 과정에서 산소에 의한 오염으로 인해 수율이 낮은 문제를 갖고 있으며, Endurance 및 Retention 등의 신뢰성이 떨어지는 단점이 있다. 따라서, 본 연구진은 산소 오염에 의한 신뢰성 문제를 근본적으로 해결할 수 있는 다양한 금속-질화물(Metal-Nitride) 기반의 저항 변화 물질을 제안해 연구를 진행하고 있으며, 우수한 열적 안정성($>450^{\circ}C$, 높은 종횡비, Cu 확산 방지 역할, 높은 공정 호환성 [2] 등의 장점을 가진 WN 박막을 저항 변화 물질로 사용하여 저항 변화 메모리를 구현하기 위한 연구를 진행하였다. WN 박막은 RF magnetron sputtering 방법을 사용하여 Ar/$N_2$ 가스를 20/30 sccm, 동작 압력 20 mTorr 조건에서 120 nm 의 두께로 증착하였고, E-beam Evaporation 방법을 통하여 Ti 상부 전극을 100 nm 증착하였다. I-V 실험결과, WN 기반의 RRAM은 양전압에서 SET 동작이 일어나며, 음전압에서 RESET 동작을 하는 bipolar 스위칭 특성을 보였으며, 읽기 전압 0.1 V에서 ~1 order의 저항비를 확보하였다. 신뢰성 분석 결과, $10^3$번의 Endurance 특성 및 $10^5$초의 긴 Retention time을 확보할 수 있었다. 또한, 고저항 상태에서는 Space-charge-limited Conduction, 저저항 상태에서는 Ohmic Conduction의 전도 특성을 보임에 따라 저항 변화 메카니즘이 filamentary conduction model로 확인되었다 [3]. 본 연구에서 개발한 WN 기반의 RRAM은 우수한 저항 변화 특성과 함께 높은 재료적 안정성, 그리고 기존 반도체 공정 호환성이 매우 높은 강점을 갖고 있어 핵심적인 차세대 메모리가 될 것으로 기대된다.

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Fabrication of $Yb_2O_3$ film on metallic substrate by MOCVD method (MOCVD 법을 이용한 금속 기판 위에 $Yb_2O_3$ 박막 제조)

  • Jung, Woo-Young;Jun, Byung-Hyuk;Park, Hae-Woong;Hong, Gye-Won;Kim, Chan-Joong
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2006.06a
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    • pp.268-268
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    • 2006
  • YBCO 초전도 박막을 제조하기 위해 일반적으로 사용되는 RABiTS공정을 통해 제조된 양축 정렬된 Ni 선재 위에 직접 YBCO를 증착시키려는 시도가 많이 이루어졌다. Ni 위에 직접 증착시킨 YBCO 박막은 c-축으로 정렬되는 온도에서 Ni이 확산되어 YBCO와 반응하여 초전도 물성을 약화시킨다. 이것을 방지하기 위하여 완층층을 먼저 증착을 하는 연구를 시행하였다. 본 연구는 Ni-5at.%W(100) 기판위에 hot-wall type MOCVD (metal organic chemical vapor deposition)를 이용하여 증착을 실시하였다. 완층층으로는 Ni, YBCO와 각각 4.70%, 3.32%의 lattice mismatch를 갖는 $Yb_2O_3$를 선택하였으며, 증착 조건으로는 온도 $800\;{\sim}\;1000^{\circ}C$, 시간 3 ~ 10min, 증착압력 10 Torr의 조건에서 증착을 행하였다. $Yb_2O_3$를 형성하기 위해 산소를 이용하였으나 $Yb_2O_3$(200) 형성을 방해하는 NiO(111)이 형성되었다. 산소를 대신해 수증기를 이용하여 NiO 상이 없는 $Yb_2O_3$(200)을 형성하였다. 증착 시간과 수증기 압력에 따른 $Yb_2O_3$$I_{(200)}/(I_{(111)}+I_{(200)})$의 상대 회절강도비를 XRD (X-ray diffraction)를 이용하였고, 증착된 표면 형상은 SEM(scanning electron microscopy)을 통해 관찰하였다.

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Chemical Fluxes at the Sediment-Water Interface Below Marine Fish Cages on the Coastal Waters off Tong-Young, South Coast of Korea (남해안 통영지역 가두리양식장 해수-퇴적물 경계면에서의 chemical fluxes)

  • Shim, Jeong-Hee;Kang, Young-Chul;Choi, Jin-Woo
    • The Sea:JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY OF OCEANOGRAPHY
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    • v.2 no.2
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    • pp.151-159
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    • 1997
  • Benthic respiration and chemical fluxes were measured at the sediment-water interface underlying the marine fish cages floating on the open coastal waters off Tong-Young, the South Coast of Korea. The effects of cage farming on coastal benthic environment and on mass balance of organic carbon in the benthic boundary layer under the marine fish cages are addressed. In a growing season of caged fishes of June, 1995, benthic chambers and sediment traps were deployed on the sediment-water interfaces of the two sites chosen for this study: 1) Cage Site, directly underlying the fish cages of the farm at 18 m water depth, and 2) Control Site, about 100 m away from the farm at 32 m water depth. Benthic respiration rates and chemical fluxes were calculated from the evolution of dissolved oxygen and chemicals in the chamber water, and mass balance of organic carbon in the benthic boundary layer was constructed based on the vertical flux of particulate organic matter (POM) and chemical fluxes out of the sediment. High organic dumping (6400 mg C $m^{-2}d^{-1}$) and high benthic respiration (230 mmol $O_2\;m^{-2}d^{-1}$) were observed at the Cage Site. Equivalent to 40% of vertical flux of organic carbon into the Cage Site seemed to be decomposed concurrently and released back to overlying waters (2400 mg C $m^{-2}d^{-1}$). Consequently, up to 4000 mg C $m^{-2}d^{-1}$ of organic carbon could be buried into the farm sediment (equivalent to 60% of organic carbon flux into the Cage Site). At the Control Site, relatively less input of organic carbon (4000 mg C $m^{-2}d^{-1}$) and low benthic respiration rate (75 mmol $O_2\;m^{-2}d^{-1}$) were observed despite short distance away from the cages. The influence of cage farming on benthic chemical fluxes might be restricted and concentrated in the sea bottom just below the fish cages in spite of massive organic dumping and high current regime around the fish cage farm.

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Electro chemical characteristics of $(MnX)O_2$ electrode prepared by thermal decomposition method (열분해법으로 제조된 $(MnX)O_2$ 전극의 전기화학적 특성)

  • Kim, Hyun-Sik;Lee, Hae-Yon;Huh, Jeoung-Sub;Kim, Jong-Ryung;Lee, Dong-Yoon
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.348-351
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    • 2003
  • 산소 과전압이 낮은 $MnO_2$를 촉매로 사용하여 반도체 산화물계의 산소선택성 전극을 제조하고 산화물 coating층의 미세구조와 전기화학적 특성을 분석하였다. Ti 기판에 열분해 법을 이용하여 $MnO_2$ 피막을 형성하였고, 또한 PVDF : $MnO_2$의 함량비를 1 : 1에서 1 : 40까지 정량적으로 변화시키고 DMF의 함량을 각각의 고정된 PVDF : $MnO_2$의 함량비에서 변화시켜 Pb전극에 1.5 mm/sec의 속도로 5회 dipping하여 $MnO_2$ 피막층을 형성 하였다. $450^{\circ}C$에서 1시간 열분해하여 약 $1\;{\mu}m$$MnO_2$ 피막층이 형성되었으나 Ti 기판과의 접착력이 약하여 피막자체에 대한 전기화학적 특성을 관찰할 수 없었다. PVDF : DMF = 4 : 96인 경우 pb 전극의 피막층이 얇기 때문에 박리현상이 일어났으며 이는 산화물 용제의 낮은 점도 때문인 것으로 판단된다. 또한 PVDF : DMF = 10 : 90의 경우는 5회 dipping 하여 약 $150\;{\mu}m$의 피막층을 형성하였다. PVDF : $MnO_2$의 함량비가 1:1에서 1:6 까지는 DMF의 함량에 무관하게 전극 특성이 나타나지 않았지만 $MnO_2$의 양이 상대적으로 증가하면 cycle이 증가하더라도 거의 일정한 전류 값을 갖고 $MnO_2$와 PVDF의 비가 20:1 이상의 조성에서는 균일한 CV 특성을 나타냈다. 이는 $MnO_2$가 효과적으로 촉매 작용을 한 것으로 판단되며 anodic polarization에 의한 산소 발생 과전압도 약 1.4V 정도로 감소되었다.동등한 MSIL 코드를 생성하도록 시스템을 컴파일러 기법을 이용하여 모듈별로 구성하였다.적용하였다.n rate compared with conventional face recognition algorithms. 아니라 실내에서도 발생하고 있었다. 정량한 8개 화합물 각각과 총 휘발성 유기화합물의 스피어만 상관계수는 벤젠을 제외하고는 모두 유의하였다. 이중 톨루엔과 크실렌은 총 휘발성 유기화합물과 좋은 상관성 (톨루엔 0.76, 크실렌, 0.87)을 나타내었다. 이 연구는 톨루엔과 크실렌이 총 휘발성 유기화합물의 좋은 지표를 사용될 있고, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌 등 많은 휘발성 유기화합물의 발생원은 실외뿐 아니라 실내에도 있음을 나타내고 있다.>10)의 $[^{18}F]F_2$를 얻었다. 결론: $^{18}O(p,n)^{18}F$ 핵반응을 이용하여 친전자성 방사성동위원소 $[^{18}F]F_2$를 생산하였다. 표적 챔버는 알루미늄으로 제작하였으며 본 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확산적 사고의 요소인 유창성, 독창성, 유연성 등에 각각 어떤 영향을 미치는지 20주의 프로그램을 개발, 진행하여 그 효과를 검증하고자

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Effect of Impressed Current System for Corrosion Protection of Rebars in Concrete (콘크리트 중의 철근 부식 억제를 위한 외부전원법의 효과)

  • Moon, Han-Young;Kim, Seong-Soo;Kim, Hong-Sam
    • Magazine of the Korea Concrete Institute
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    • v.11 no.2
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    • pp.221-230
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    • 1999
  • Corrosion of rebars can occur if there are cracks, moisture and availability of oxygen or carbonation proceeds, chloride penetrates and diffuses in concrete. Once rebars in concrete corrodes, subsequently accompanied with scaling, spalling in concrete cover. As a result of them, the RC structure is seriously deteriorated. In this study, theoretical review and experiments for cathodic protection(CP) have been performed to control corrosion of rebars in concrete contained chlorides and pre-crack. For CP the impressed current system was applied, the protection effect was investigated when rebars was directly contacted with salt water due to crack and open to much chlorides in concrete. In order to investigate the effect of protection, when CP was energized for 1 year, half-cell potential, potential-decay with current density, corrosion ratio, etc. were measured. With the cathodic protection by impressed current system, the depolarized values of all specimen were met NACE Standard, the effect of 34~84% of the ratio of corrosion area and 84~86% of cross-section reduction were calculated.

Characteristic analysis of The Catalyst Layer and Gas Diffusion Layer Model for FEMFC optimal design (FEMFC 최적설계를 위한 촉매층모델과 기체확산층 특성해석)

  • Kwon, Kee-Hong
    • Journal of IKEEE
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    • v.21 no.2
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    • pp.123-129
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    • 2017
  • Proton Exchange Membrane Fuel Cell (FEMFC) is a strong candidate for future automobile and power generation because of its high power density, low emission and low operation temperature. The major concerns of the gas diffusion layer (GDL) inside a FEMFC is water management. The GDL is typically comprised of carbon for electrical conductivity and PTFE for Hydrophobicity. In this simulation, GDL flooding was investigated using a simplified approach method of an established equation models(Fick' Law, Darcy, Law, Stefan-Maxwell diffusion). The performance of GDL was shown using result of the inner heat, water density and oxygen density of the cell using model equations. The catalyst layer mode in FEMFC showed results of effectiveness factor, Butler-volmer and hydrogen flux density. These results are interesting because the influence of several factors has been shown and the information will be helpful for fuel cell design.