• Title/Summary/Keyword: 비 균일

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450mm 웨이퍼 공정용 system의 기하적 구조에 따른 플라즈마 균일도 수치 모델링

  • Yang, Won-Gyun;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.256-256
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    • 2010
  • 최근 반도체 공정을 위한 증착이나 식각장비에 있어서 웨이퍼 크기의 증가는 새로운 연구 분야를 발생시켰다. 웨이퍼의 크기가 200 mm에서 300 mm, 450 mm로 커지지만, 같은 특성 혹은 더 좋은 특성을 필요로 하는 플라즈마를 이용하는 진공장비의 기하적 구조는 비례적으로 증가하지 않는다. 이런 이유로 450 mm의 웨이퍼 공정용 장비의 제작에 있어서 진공 부품과 플라즈마 발생 소스는 더 이상 시행착오로 실험하기에는 막대한 돈과 시간, 인력의 투자가 필요하기 때문에 불가능하게 되었다. 이런 시행착오를 줄이기 위함의 일환으로 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 챔버 구성에 따른 플라즈마 균일도를 수치 모델링으로 예측했다. 챔버를 구성함에 있어서 baffle의 형상과 위치, 배기 manifold에 따른 유동분포, 플라즈마 균일도를 위한 안테나의 구조 등 중요한 요소들이 많이 존재하지만, 일단 전체적인 챔버의 종횡비가 결정되어야 가능한 일들이다. 첫째, 기판홀더와 챔버 벽면 간의 거리, 기판홀더와 배기구까지의 거리, 기판과 소스와의 거리가 인입되는 가스 분포와 플라즈마 균일도에 가장 큰 영향을 끼칠 것으로 판단된다. 즉, 위의 세 가지 챔버 내부 구조물의 크기 비에 따라 기판 바로 위에서의 플라즈마 균일도가 가장 좋은 디자인을 최적화하는 것이 본 계산의 목적이다. 기판 표면에서의 플라즈마 밀도 균일도는 기판홀더와 벽면과의 거리, 기판과 소스와의 거리가 멀수록, 기판홀더와 배기구와의 거리가 짧을수록 좋아졌으며, 그림과 같이 안테나의 디자인이 4 turn으로 1층인 경우, 두 turn의 안테나만 사용하여 기판표면에서 20~30%의 플라즈마 균일도를 4.7%까지 낮출 수 있었다

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유산균 이용식품:미생물을 이용한 건강식품의 개발현황과 전망

  • 백영진
    • The Microorganisms and Industry
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    • v.19 no.3
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    • pp.46-48
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    • 1993
  • 현재 유산균은 요구르트, 치즈, 케피어(kefir), 에시도필러스 밀크(acidophilus milk), 비피더스 밀크(bifidus milk), 쿠미스(kumiss), 발효버터(fermented butter), 유산균음료, 빵 등 식품의 천연 방부제, 채소절임, 발효두유(fermented soy milk), 정장제, 구강염증치료제, 사료 첨가제 등등 다양하게 이용되고 있다. 이것은 유산균에 대한 동결건조, 유전자 조작 등 첨단기술이 산업화로 연결되면서 그 이용성이 더욱 확장되고 있다. 유산균을 이용한 건강보조식품도 최근 몇년 사이에 선을 보이고 있지만 아직은 초보적인 단계이며 현재로선 유산균 발효식품과 유산균제제(의약품) 사이에서 뚜렷한 자기자리를 찾지 못하고 있는 실정이다.

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Finite element analysis of laminar combined free and forcedconve3ction through a duct with peripheral heat flux variation (벽에서의 열플러스가 비균일한 덕트내 층류조합대류열전달에 대한 유한요소법에 의한 해석)

  • Choi, In Kyu;Park, U Yong
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.5 no.3
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    • pp.230-237
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    • 1981
  • 임의의 기하학적형태 단면을 가진 수직덕트내 층류조합대류열전달에서 벽온일정인 경계조건에 대하여는 Nayak[12], Giuidice[13]의 유한요소법해가 있다. 본 연구는 경계조건으로 벽에서의 열플러스가 비균일(균일한경우 포함)한 경우를 대상으로 유한요소법에 의한 해석을 시도한 것으로 예시에서 보는 바와 같이 수직해는 벽해밀과 좋은 일치를 보이고 있다.

Liner Performance Analysis on the DS/CDMA Communication System using the Approximated Analytical Chip Waveforms (근사화된 해석적 칩파형을 사용한 DS/CDMA 통신 시스템의 선형 성능 분석)

  • 홍현문;김용로
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.18 no.4
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    • pp.160-164
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    • 2004
  • In DS/CDMA(direct sequence code division multiple access) system using the approximated analytic chip waveforms are applied. Proposed chip waveforms are classified into 2 types: uniform chip waveforms with uniform envelope and non-uniform chip waveforms with non-uniform envelope. It has confirmed that the similarity of the approximated analytical chip waveforms is compared using chip waveforms, envelope, phase, correlation, and bandwidth properties.

Black Body Design and Verification for Non-Uniformity Correction of Imaging Sensor and Uncertainty Analysis (영상센서의 비균일 응답특성 보정을 위한 흑체 설계 및 성능검증과 보정오차 분석)

  • Shin, Somin
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.41 no.3
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    • pp.240-245
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    • 2013
  • Each pixel of InfraRed(IR) sensor differently responds to IR light as time elapses or the sensor on/off operation is repeated. As a result, the quality of IR sensor image is deteriorated, and therefore NUC(Non-uniformity Correction) is periodically needed for IR sensor. In this paper, in order to perform NUC in the Satellite, on-board V-grooved blackbody is designed with a baffle so that the emissivity of black body is to be higher than 0.995 as well as the temperature deviation is less than $1^{\circ}C$ in the range of the infrared wave length from 3.3 to $5.2{\mu}m$. To check its performance, the emissivity and the surface temperature of the blackbody by TRT(Transfer Reference Thermometer) and IR Micrometer scanner are measured, respectively. From the results, black body design is verified and the uncertainty of NUC is estimated through the measurement results.

Bactericidal Effects of Hypochlorous Acid Water against Vibrio parahaemolyticus Contaminated on Raw Fish and Shellfish (어패류에 오염된 장염비브리오균(Vibrio parahemolyticus)에 대한 차아염소산수의 살균효과)

  • Kim, Hee-Yun;Choi, Jin-Kyung;Shin, Il-Shik
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.47 no.6
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    • pp.719-724
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    • 2015
  • The bactericidal effects of strongly acidic hypochlorous acid water (StAHA) and slightly acidic hypochlorous acid water (SlAHA) against Vibrio parahaemolyticus contaminated on surface of raw fish and shellfish were examined. V. parahaemolyticus contaminated with about 7.0 log CFU/g on the meat chunk of olive flounder (Paralichthys olivaceus), and yellow tail (Seriola quinqueradiata), and 4.0 log CFU/g on the shucked scallop (Patinopecten yessoensis) were not detected after washing with StAHA and SlAHA at a ratio of 30:1 on a sample weight basis. However, 1.0 log CFU/g of V. parahaemolyticus was survived on shucked oyster (Crassostrea gigas) under same treatment conditions. The bactericidal effects of acidic hypochlorous acid water against V. parahaemolyticus contaminated on surface of shucked oyster were not as effective as those against V. parahaemolyticus contaminated on surface of meat chunk of olive flounder, yellow tail, and shucked scallop. Such differences can be attributed to the complicated surface conformation of oyster.

Phagocytosis of Drug-Resistant Mycobacterium Tuberculosis by Peripheral Blood Monocytes (결핵균의 약제내성과 말초혈액단핵구의 결핵균 탐식능에 관한 연구)

  • Park, Jae-Seuk;Kim, Jae-Yeal;Yoo, Chul-Gyu;Kim, Young-Whan;Han, Sung-Koo;Shim, Young-Soo
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • v.44 no.3
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    • pp.470-478
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    • 1997
  • Background : Phagocytosis is probably the first step for mycobacteria to be virulent in host because virulent strains are more readily phagocytosed by macrophage than attenuated strains. According to the traditional concept, multi-drug resistant strains have been regarded as less virulent. However, this concept has been challenged, since recent studies(reported) showed that the degree of virulence and drug-resistance is not related. The purpose of this study is to evaluate whether the phagocytic activity of M.tuberculosis by peripheral blood mononuclear cells(PBMC) is different according to drug-resistance or host factor. To evaluate this, we estimated the difference of phagocytic activity of drug-resistant and drug-sensitive M.tuberculosis and also estimated the phagocytic activity of PBMC from intractable tuberculosis patients and healthy controls. Methods : PBMC from ten intractable tuberculosis patients and twelve healthy control, and three different strains of heat-killed M.tuberculosis, ie, ADS(all drug sensitive), MDR(multi-drug resistant), and ADR(all drug resistant) were used. After incubation of various strains of M.tuberculosis with PBMC, the phagocytic activity was evaluated by estimating proportion of PBMC which have phagocytosed M.tuberculosis. Results : Drug-resistant strains of M.tuberculosis were phagocytosed easily than drug sensitive strains(Percentage of PBMC phagocytosed M.tuberculosis in healthy control : ADS : $32.3{\pm}2.9%$, ADR : $49.6{\pm}3.4%$, p = 0.0022, Percentage of PBMC phagocytosed M.tuberculosis in intractable tuberculosis patients : ADS : $34.9{\pm}3.6%$, ADR : $50.7{\pm}4.5%$, p = 0.0069). However, there was no difference in phagocytic activity of PBMC from healthy control and intractable tuberculosis patients. Conclusion : Drug-resistant strains of M.tuberculosis were phagocytosed easily than drug sensitive strains and host factors does not seems to influence the phagocytosis of M.tuberculosis.

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Laser 방식 및 CCD 방식 Film Digitizer의 균일도 비교평가

  • 강원석;정해조;민덕기;김새롬;이상호;김희중
    • Proceedings of the Korean Society of Medical Physics Conference
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    • 2003.09a
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    • pp.80-80
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    • 2003
  • 디지털 의료영상 획득기술과 컴퓨터 및 네트워크 기술의 발달로 현재 각 병원에서는 PACS(Picture Archiving and Communication System)를 설치하여 필름을 사용하지 않고 진단과 진료를 하는 병원이 증가하고 있으며, 이에 따라 기존 필름상태의 의료영상은 필름디지타이저로 디지털 영상화한 후 모니터를 통하여 판독과 진료에 이용하고 있다. 본 연구에서는 현재 세브란스병원에서 사용되고 있는 CCD 방식 필름디지타이저와 레이저 스캐너방식 필름디지타이저의 픽셀값 균일도에 대해 중점적으로 비교, 분석하고자 한다. 픽셀값 균일도 측정을 위해 필름프린터를 이용하여 균일한 광학밀도를 가진 필름을 출력하였다. 그 테스트 필름은 각 사분면에 각기 다른 광학밀도를 가지고 있었으며, 그 광학밀도 값은 각각 0.19, 0.71, 1.41, 그리고 3.10 이었다. 제작된 필름은 레이저 (Model 2905, Array Corp., Japan) 방식과 CCD 방식 (SEDAS Media Film Scanner, Kodak, japan) 디지타이저에 의해 디지털화 되었다. 그 영상들은 다시 분석을 위해 PACS를 통해 PC로 전송되어졌고 자체 제작된 소프트웨어를 이용하여 균일도에 대한 분석을 수행하였다. 하나의 사분면 영상에 대하여 일정한 간격과 크기로 20개의 ROI를 만들고, 그 내부의 픽셀값들의 평균값을 구하여 그 영역의 대푯값으로 하였다. 그 대푯값들 중 최대값과 최소값의 차이에 대한 백분율로써 균일도를 표시하였다. 그 결과 광학밀도가 0.19인 사분변의 영상에서의 균일도는 레이저 방식 및 CCD 방식 각각에서 99.8%, 94.3%였으며, 0.71인 사분면에서는 99.4%, 75.6%, 1.41 일때는 97.9%, 62.96%, 그리고 3.1인 사분면에서는 82.7%, 53.7%였다. 같은 광학밀도를 가진 사분면에서는 레이저방식의 균일도가 CCD 방식에 비해 더 우수함을 알 수 있었으며, 같은 방식에서 얻은 영상이라 할지라도 광학 밀도값이 높은 사분변에서 얻은 영상일수록 균일도가 떨어짐을 알 수 있었다. 결론적으로, 레이저 방식 필름 디지타이저는 균일도 면에서도 CCD 방식에 비해 우수함을 알 수 있었으며 CCD 방식은 백라이트의 균일도가 영상의 균일도에 영향을 미칠수도 있는 만큼 향후 거기에 대한 연구도 이루어져야 할 것으로 생각된다.

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A Kinetic Study of Non-uniform Thermal Conductive Reaction Block (비균일 열전도성 반응블럭의 반응특성 연구)

  • Park, Seong Ho;Yoon, Yea Il;Kim, Sung Hyun
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.8 no.5
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    • pp.872-879
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    • 1997
  • The nonuniform thermal conductive reaction blocks were manufactured by impregnation of metal salts on the expanded graphite to improve the heat and mass transfer ability of reaction block for the chemical heat pump using the reaction of ammonia and metal salts(halide). The nonuniform blocks were designated to increase apparent density, like 165, 222, 279, 337, $394kg/m^3$ radially The experimental results showed that the heat transfer characteristics of nonuniform blocks were better than uniform blocks. As the reaction of ammonia repeated, the volumetric expansion in the reaction block makes the mass transfer improve, and the reproducibility better.

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D-Alaninepeptidase Increases the Vulnerability of Bacterial Cells to Osmotic Stress and Antibiotics (D-Alaninepeptidase에 의한 세균의 삼투압 및 항생제에 대한 취약성 증가)

  • Song, Jin-Sue;Lee, Young-Nam
    • Korean Journal of Microbiology
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    • v.42 no.4
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    • pp.299-305
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    • 2006
  • D-Alaninepeptidase purified from Bacillus amyloliquefaciene CMB01 caused a reduction of survival of Proteus vulgaris, Klebsiella oxytoca, and Staphylococcus aureus placed under the osmotic pressure. D-Alaninepeptidase caused an increase of susceptibility of bacteria to antibiotics. An increased number of malformed cells in bacterial groups exposed to D-alaninepeptidase was observed by scanning electron microscopy. These data suggested that bacterial cells exposed to D-alaninepeptidase resulted in an increase of vulnerability of bacterial cells toward environmental stress, such as osmotic pressure and antibiotic substances.