• Title/Summary/Keyword: 분위기가스

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Effect of humidity and operating temperature on sensing characteristics of polypyrrole methanol sensors (습도와 온도에 따른 Polypyrrole 센서의 methanol에 대한 반응특성)

  • ;;;Linsh Jiang
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.133-133
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    • 2003
  • 가스센서는 인간의 오감 중에 후각 기능을 대신하는 것으로 사회 여러 분야에 응용범위가 확대되고 있다. 유기화합물(VOC; volatile organic compounds) 가스는 대기환경을 오염시켜 스모그를 발생하며 인체에 발암을 유발하는 물질이기 때문에 많은 문제와 규제가 예상되고 있다. 따라서 VOC를 감지하고 정확히 분석할 수 있는 환경 측정용 센서에 대한 요구가 절실해지고 있다. 최근에는 고온에서 동작하는 산화물 반도체 센서와는 달리 상온에서 유해성 가스를 감지할 수 있는 전도성 고분자의 특성이 알려지면서 센서 물질로 각광을 받고 있으며, 특히 유해성 가스인 VOC 가스를 검지 할 수 있는 센서로서 주목을 받고 있다. 전도성 고분자인 Polypyrrole를 pyrrole monomer, APS, DBSA를 사용하여 $0^{\circ}C$, 1기압에서 화학중합을 하였다. 만들어진 powder를 chloroform과 DBSA를 사용하여 용액을 만들어 전극에 dipping하고 7$0^{\circ}C$, 질소 분위기에서 1시간동안 건조를 하고 methanol에서 1시간동안 soaking 처리를 한 뒤 7$0^{\circ}C$, 질소 분위기에서 4시간동안 열처리 과정을 통해 센서를 제조하였다.

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새로운가공분위기를제어하는벨자타입의 밀폐형CMP 장치와가공특성

  • Korea Optical Industry Association
    • The Optical Journal
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    • s.102
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    • pp.52-55
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    • 2006
  • 본 고의 내용은 가공부의 분위기를 제어하고 가공장치 전체를 벨자(챔버)로 씌워 밀폐하고 그 안에서 가공하는 새로운 벨자형의 폴리싱 장치에 관한 것이다. 필자들이 고안, 시작한 밀폐 벨자형 폴리싱 장치는 벨자내에 각종 가스를 투입함과 동시에 일정 압력 하에서 또는 벨자내를 감압(진공)함으로서 가공부 전체의 분위기를 일정 조건으로 제어하는 것이 가능하다. 이 장치를 적용하여 다양한 가공환경 분위기 하에서 SiC와 사파이어 등의 어려운 가공 재료를 포함하는 각종 기능성 재료의 가공을 시험한 가공 특성을 소개함과 동시에 가공 메커니즘에 대해서 고찰하기로 한다. 한편, 본 원고의 번역에는 (주)그린광학의 김동균 부장이 도움을 주셨다.

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Enhancement of adhesion between Cu thin film and Polyimide modified by ion assisted reaction (이온보조 반응법에 의하여 표면처리된 Polyimide (PI) 표면과 구리박막의 접착력 향상)

  • 석진우
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.4 no.1
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    • pp.19-30
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    • 1997
  • 고분자 Polyimide (PI) film 표면을 반응성 가스 분위기에서 1KeV의 에너지를 가지 는 여러 종류의 이온빔으로 조사하여 표면을 개질하였다. PI표면의 친수성과 표면에너지를 측정하기 위해 접촉각 측정기를 사용하였으며 개질 된 표면의 화학적 변화를 측정하기 위해 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)를 사용하였다. 표면 개질을 위한 이온조사량은 5 $\times$1014 -1$\times$1017 ions/cm2이며 반응가스는 0-8scm까지 변화시켰다. 아르곤 이온빔으로 표면 개질시에는 67。에서 40。까지 감소하였고 표면에너지는 46 dyne/cm에서 64dyne/cm까지 증가하였다. 산소를 6sccm 주입하면서 산소 이온빔으로 표면 개질시 물과의 접촉각은 67。 에서 최대 12。까지 감소하였으며 표면에너지는 46dyne/cm에서 72dyne/cm까지 증가하였고 이때의 이온조사량은 5$\times$1014 -1$\times$1017 ions/cm2 이였다. 여러 종류의 반응성 가스와 이온을 사용하여 개질하여 본 결과 산소분위기에서 산소 이온을 이용하여 개질 하였을 때 접촉각이 8。인 표면을 얻을수 있었다, 산소분위기에서 아르곤 이온빔으로 1$\times$1017 ions/cm2 의 이온 조사량으로 개질 된 Pi 시료를 대기 중에 보관하였을 때에는 110시간 후 65。로 증가하였고 물속에서 보관하였을 때에는 46。로 증가하였다. 그러나 산소 이온빔에 산소분위기에서 개 질 된 시료의 경우 물속에 보관할 경우 접촉강의 증가없이 일정한 값을 나타내었다. 이온조 사로 개질된 시료의 화학적 변화를 확인하기 위하여 XPS 사용하였다. 표면 개질 전의 PI 시료와 산소 분위기에서 1$\times$1017 ions/cm2의 아르곤 이온빔으로 개질한 XPS peak 결과로 보아 Cls의 spectra를 보면 C-C, C-N 그리고 C=O의 결합들은 intensity가 감소하였고 C-O 의 intensity는 증가하였다. Nls peak로 보아 imide N 성분은 이온빔의 조사로 인하여 감소 하였고 C-O의 intensity는 증가하였다. Nls peakk로 보아 imide N성분은 이온빔의조사로 감소하였고 Ols peak로 보아 C-O는 증가하였고 C=O는 약간의 감소가 나타났다. 또한 이온 보조 반응법을 이용하여 처리한 시료의 경우 접착력이 증가하는데 이는 주로 C-O 결합의 산소와 Cu와의 상호작요에 의한 것임을 알수 있었다.

A Study on Effect of Atmospheric Gas on the Surface Cleanliness in the Batch Annealing Furnace (BAF풀림시 분위기가스가 표면 청정도에 미치는 영향에 관한 연구)

  • Yoon, Soon Hyun;Kim, Moon Kyung
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.13 no.2
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    • pp.159-167
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    • 1996
  • The effect of atmospheric gas on the surface cleanliness in the batch annealing furnace(BAF) is presented. It is very important to improve the surface cleanliness to investigate the surface defects such as carbon contamination, smudge and yellow color phenomenon on the surface of steel sheet. In order to study the occurrence of surface defects of steel sheet, the annealing operations were carried out in the H2 BAF with 75% hydrogen and conventional BAF with 4% hydrogen. The hydrogen is important factor that affect the energy saving in the entire annealing cycle and the surface cleanliness. In the conventional BAF, it shows that to protect the yellow color phenomenon the proper finish temperature is $80^{\circ}C$ and in the smudge sample the oxidized thickness has the depth of $120{\AA}$.

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Development of Novel Technique for Determining the Oxygen Tracer Diffusion Coefficients in Oxides I - Measurements of the Time Profiles of $^{18}O_2$ Concentration in the Ambient Gas by Raman Spectroscopy - (산화물에서의 산소추적자확산계수를 결정하는 새로운 방법의 개발 I- 라만분광법에 의한 분위기가스 중의 시간에 따른 $^{18}O_2$ 농도변화 측정 -)

  • 김병국;하마구찌히로오;박순자
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.31 no.11
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    • pp.1369-1377
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    • 1994
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Influence of Dust Environment on the Detection Capability of Ultraviolet Flame Detector (UV 화염감지기의 감지성능에 대한 분진분위기의 영향)

  • Kim Hong;Hu Rui
    • Journal of the Korean Institute of Gas
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    • v.1 no.1
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    • pp.113-119
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    • 1997
  • The detection capability of UV flame detector in dust environment would be impaired. In this study, an experiment was conducted, in an effort to further understand the behavior of UV flame detector and to evaluate its detection capability in industry dust environment. Detergent powder, coal powder and dry extinguishing agent were selected as dust sources. Flaming sources include propane and gasoline flame. Experiment results indicate that dust can cause remarkable attenuation of UV flame radiation. The concentration of dust and the length of air layer where dust dispersed determine the reduction of radiation intensity. On the other hand, the attenuation of UV radiation also depends on the chemical and Physical properties of dust.

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Morphological Effect of Hematite on the Synthesis of Fayalite in Reducing Atmosphere (환원성 분위기에서의 규산철의 합성에 미치는 산화 제2철의 형태학적 효과에 관한 연구)

  • 임응극;권명수
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.12 no.4
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    • pp.37-42
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    • 1975
  • 철(II)이온을 안정화 하기위하여, 2산화 규소와, 구상, 입방체상 및 침상의 서로 다른형태의 산화 제2철로부터 규산철을 합성하였다. 메타놀증기로 포화시킨 질소까스를 튜브로에 도입시켜 얻은 환원성 분위기속에서, 114$0^{\circ}C$에서 11$65^{\circ}C$의 온도범위에서, 가스유속을 0.13 및 0.25l/min. 로서, 환원시간 4-150분동안 교상반응을 진행하였다. 반응생성의 동태를 오르자트 가스분석으로 검토하였으며, 생성물의 확인은 X-선 회절시험 및 감량정량에 의하였으며, 결과는 다음과 같다. 1 : 1.1의 몰비로 혼합한 산화제2철과 2산화 규소의 경우, 가스유속이 0.13l/min일 때, 규산철 합성반응시간은 구상, 입방체상 및 침상산화철에 있어서 각기 8-27분, 10-16분 및 6-7분으로 구상의 경우가 범위가 가장 넓었다. 또한, 반응속도는 산화제2철의 표면적의 평방근에 비례하였고 반응시간의 평방근에 역비례하였다.

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Surface Modification of Polytetrafluoroethylene by Using Low Energy Hydrogen Ion Beam (저에너지 수소 이온빔을 이용한 polytetrafluoroethylene 표면 개질)

  • Lee, Jung-Hwan;Kim, Dong-Hwan;Yeo, Woon-Jung;Han, Young-Gun;Cho, Jun-Sik;Kim, Hyun-Joo;Koh, Seok-Jeun
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.15 no.6
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    • pp.612-618
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    • 2006
  • Surface modification of PTFE by ion irradiation was performed to improve its surface properties, In the case where argon was used to irradiate the PTFE films, an increase in the adhesion strength was observed when the ion fluence was over $1\times10^{15}\;ions/cm^2$, but the surface morphology dramatically changed to a needle-shaped one. However, when we used hydrogen ions under $O_2$ environmental gas, the adhesion strength increased at an ion fluence of $5\times10^{16}\;ions/cm^2$ and the surface morphology by the hydrogen irradiation was not needle-shaped. The surface morphology and adhesion strength of the hydrogen modified PTFE was influenced by the oxygen flow rate. It was confirmed by reflectance measurements that the surface properties of the hydrogen ion irradiated PTFE were superior to those of the argon ion irradiated PTFE.

Ammonia Gas Sensing Characteristics of ZnO Based Thin Film Sensor Doped with $MoO_3$ ($MoO_3$를 첨가한 ZnO 박막 센서의 암모니아 가스 검지 특성)

  • Kim, Sung-Woo;Choi, Woo-Chang;Choi, Hyek-Hwan;Lee, Myong-Kyo;Kwon, Tae-Ha
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.8 no.1
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    • pp.24-31
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    • 1999
  • Ammonia gas sensors were fabricated with ZnO-based thin films grown by RF-magnetron sputtering method. The films which were doped with $MoO_3$ catalysts of various weight percents were grown in different sputtering gases to fabricate the sensors with a high sensitivity, low working temperature and rapid response time. To improve electrical stability, the films were aged in various conditions. The sensors doped with the catalysts and grown in oxygen sputtering gas showed the improvement of sensitivity. These exhibited the increase of surface carrier concentration and electron mobility. The sensor with 0.875wt.% $MoO_3$ catalysts showed the maximum sensitivity of 70 in ammonia gas concentration of 160 ppm at a working temperature of $300^{\circ}C$. The sensor which is aged at $330^{\circ}C$ for 72hrs in oxygen ambient exhibited tourer sensitivity of 57, but more stable properties, excellent linearity.

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