• Title/Summary/Keyword: 분광법

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Qualitative and Quantitative Analysis of Space Minerals using Laser-Induced Breakdown Spectroscopy and Raman Spectroscopy (레이저 유도 분해 분광법과 라만 분광법을 이용한 우주 광물의 정성 및 정량 분석 기법)

  • Kim, Dongyoung;Yoh, Jack J.
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.46 no.6
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    • pp.519-526
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    • 2018
  • In order to analyze space resources, it had to be brought to earth. However, using laser-induced breakdown spectroscopy(LIBS) and Raman spectroscopy, it is possible to analyze qualitative and quantitative analysis of space minerals in real time. LIBS is a spectroscopic method in which a high energy laser is concentrated on a material surface to generate a plasma, and the emitted light is acquired through a spectroscope to analyze the atomic composition. Raman spectroscopy is a spectroscopic method that analyzes the molecular structure by measuring scattered light. These two spectroscopic methods are complementary spectroscopic methods for analyzing the atoms and molecules of unknown minerals and have an advantage as space payloads. In this study, data were analyzed qualitatively by using principal component analysis(PCA). In addition, a mixture of two minerals was prepared and a quantitative analysis was performed to predict the concentration of the material.

화학적 기상 증착법으로 제작된 얇은 이황화 몰리브덴 박막의 전자구조

  • Seo, Seong-Won;Mun, Ji-Hun;Gang, Sang-U;Kim, Jeong-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.126.2-126.2
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    • 2015
  • 대표적인 금속 칼코지나이드 2차원 물질인 이황화 몰리브덴($MoS_2$)의 대면적 합성을 위해 화학적 기상 증착 (Chemical Vapor Deposition) 방법을 이용하였다. 몰리브덴을 포함한 $Mo(CO)_6$ 전구체와 황이 포함된 $H_2S$ 가스를 적절한 비율로 반응시켰고, 증착 속도를 조절하여 한 층부터 다섯 층까지의 얇은 $MoS_2$ 박막을 제작할 수 있었다. $MoS_2$ 박막들이 층별로 균일 하게 증착 되었는지 확인하기 위해 라만 분광법을 이용 하였고, x-선 분광법을 통해 몰리브덴과 황의 정확한 정량비를 알 수 있었다. 뿐만 아니라, 우리는 두께 의존성을 갖는 이차원 물질인 $MoS_2$ 각 층마다 나타나는 전자 구조적 특성 분석을 위해 자외선 분광법, 역광전자 분광법, 전자 에너지 손실 분광법을 사용하였다. 그 결과, $MoS_2$ 박막의 두께 별 일함수, 가전자대 최대값, 전도대 최소값, 밴드갭의 변화를 관찰할 수 있었다. 이는 기존 계산 결과와 비교하여 잘 일치함을 알 수 있다.

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펨토초 적외선 분광법

  • 김성흔;임만호
    • Optical Science and Technology
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    • v.8 no.3
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    • pp.18-25
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    • 2004
  • 왜 펨토초 적외선 분광법인가\ulcorner 분광학이란 빛과 물질의 상호작용을 이용하여 물질에 대한 정보를 얻어내는 학문이다. 평형상태에 있는 물질을 구성하는 분자의 성질을 얻어내기 위해서는 보통의 분광학이 이용되지만 변화하거나 움직이고 있는 분자의 특성을 밝혀내기 위해서는 시분해 분광법이 주로 사용된다. 분자의 변화를 수반하는 화학적 변화는 거시세계에서는 상상을 초월할 정도로 매우 빨리 일어난다. (중략)

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New Research Tool for Understanding of Surfaces - Sum Frequency Generation Vibrational Spectroscopy (표면의 이해를 위한 새로운 연구 방법 - 합 진동수 발생 진동 분광법)

  • Kim, Hak-Jin
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.50 no.6
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    • pp.429-439
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    • 2006
  • vibrational spectrum of molecules on surfaces can be measured with high selectivity and sensitivity using sum frequency generation vibrational spectroscopy (SFG-VS). Selectivity and sensitivity of this non-linear spectroscopy have made it an effective experimental tool in surface research. Surface systems studied with SFG_VS are surveyed, and experimental and theoretical background of SFG-VS is briefly reviewed.

Basic theory of Dielectric Relaxation Spectroscopy and Studies of Electrolyte Structure (유전체 이완 분광법의 원리 및 이를 이용한 전해액 미시구조 연구)

  • Koo, Bonhyeop;Hwang, Sunwook;Lee, Hochun
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.53-59
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    • 2019
  • To examine the solution structure of electrolytes, it is very important to understand ion-ion and ion-solvent interactions. In this review, we introduce the basic principle of dielectric relaxation spectroscopy (DRS) and studies of electrolyte structure. DRS is a type of impedance method, which measures the dielectric properties of electrolytes over a high frequency domain at levels of tens of GHz. Therefore, DRS provides information on the different polar chemical species present in the electrolyte, including the type and concentration of free solvents and ion pairs with dipole moments. The information of DRS is complementary to the information of conventional analytical techniques (Infrared/Raman spectroscopy, nuclear magnetic resonance (NMR), etc.) and thus enables a broad understanding of electrolyte structure.

The Study of Two-dimensional Chemical Distribution about Soil using Laser Spectroscopy (레이저 분광법을 활용한 토양 2차원 화학적 분포도 검출 연구)

  • Yang, Jun-Ho;Yoh, Jai-Ick
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.45 no.6
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    • pp.523-530
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    • 2017
  • Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) which a plasma is irradiated at a specific wavelength depending on the material when a high-energy laser is irradiated, and a Raman spectroscopy which measures rotation and vibration in molecules as light-scattering phenomenon occurs, are attracting attention as a space exploration technology because of the advantages of high accuracy and real-time analysis, and the ability to perform long-range detection. In this study, the tendency of the laser spectrum according to the change of the soil component was analyzed by laser spectroscopy and the two - dimensional chemical distribution was conducted based on the trend of laser spectrum. We have also established the environment of Mars (4-7 torr) and lunar atmosphere (<1 torr) in experimental setup, to prove that it is possible to measure by difference of soil chemical composition using LIBS and Raman spectroscopy even in artificial space environment.

새로운 분석법으로서의 2D NMR 분광법에 관한 이론적 배경 및 고찰

  • Kim, Taek-Je;Jeong, Min-Hwan;Lee, Gang-Bong
    • Analytical Science and Technology
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    • v.5 no.2
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    • pp.1096-1113
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    • 1992
  • 분자구조, 동력학, 그리고 분자들의 화학분응에 관한 정확한 지식은 분자들의 기능과 성질을 이해하는 데 중요한 정보를 제공한다. 2D NMR 분광법의 개발은 용액상의 분자들에 관한 이러한 의문을 해결하는 데 결정적인 역할을 하게 되었다. 그동안 아주 다양한 NMR기술들이 개발되어 왔으며 현재 그들에 대한 이용이 활발하게 진행되고 있다. 그러나 성공적인 2D NMR 분광법의 적용을 위해서는 적당한 기계뿐만 아니라 실험실의 정확한 선택 및 최적 조건의 변수들을 선택해야 하며 스펙트럼의 세밀하고도 정확한 해석을 필요로 한다. 곱연산자 방식(product operator formalism)의 도입은 펄스 FT NMR 분광학을 정성, 정량적으로 이해하도록 하는 것을 가능케 했으며, 이번 해설은 연속적으로 주어지는 펄스의 이해를 위해서 필요로 하는 상의 순환(phase cycle) 및 곱연산자 방식을 이용하여 다양한 2D NMR 기술의 이해를 돕고, 분석기기로서 2D NMR 분광법이 널리 사용 및 활용되어지고자 하는 데 목적이 있다.

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동시계수 도플러 방법과 양전자 수명 분광법에 의한 BaSrFBr:Eu의 결함 연구

  • Kim, Ju-Heung;Lee, Jong-Yong;Bae, Seok-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.259-259
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    • 2010
  • 본 연구는 양전자 소멸 측정 분광법을 통하여 BaSrFBr:Eu 형광물질의 결함 농도 분석을 시도하였다. LABO를 이용한 동시계수 도플러 방법과 Fast - Slow - Coincidence 시스템으로 구성한 양전자 수명 분광법을 통하여 에너지의 변화에 따른 양성자 조사에 의한 시료 결함에 따른 동시 계수 도플러법과 양전자 수명의 변화를 측정 하였으며, SRIM 시뮬레이션을 통한 에너지에 따른 양성자 투과 깊이의 변화를 연구하였다.

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Study on Frequency Modulation Spectroscopy (주파수 변조 분광학 연구)

  • 서호성;류갑열
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1991.07a
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    • pp.23-31
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    • 1991
  • 최근 레이저 분광학에 있어서 고감도 분광법으로 알려져 있는 주파수 변조 분광법(frequency modulation spectroscopy)과 레이저 광 주파수 안정화 응용에 대한 원리와 특징을 살펴본다. 또 super-cavity을 이용한 단일모드 He-Ne 레이저를 사용하여 FM 분광신호를 검출하고 그 신호특성에 대하여 기술하였다.

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반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기

  • O, Chang-Hun;Ryu, Hun-Cheol;Lee, Hyeong-U;Kim, Se-Yeon;Lee, Heon-Jeong;Han, Jae-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.412-412
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    • 2010
  • 플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

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