Pt-$WO_3-Si_3N_4-SiO_2$ -Si-Al 캐패시터를 이용한 $NO_2$ 가스 센서
($NO_2$ Gas Sensor Utilizing Pt-$WO_3-Si_3N_4-SiO_2$ -Si-Al Capacitor)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
- /
- pp.105-108
- /
- 1998